XPS是X射线照在样品的表面上

XPS是X射线照在样品的表面上，样品表面的原子吸收X射线后发射出光电子，不同的原子不同轨道的电子发射出来的光电子强度不同的

因此可以通过检测来测定存在元素的种类、价态以及含量

XPS用于价态的分析也是应用最为广泛的

根据结合能，可以判断元素在样品中的价态，进而判断元素在样品中的结合方式，即以什么化合物形式存在

XPS采测试的各种元素内层电子的结合能是有特征性的，因此可以用来鉴别化学元素。在光电子能谱图中，可以将一个谱峰的峰高或面积求出来作为该谱峰的强度，谱峰强度在样品结构及定量分析中起着重要作用。

1、灵敏度因子有几套，因为是相对量，用那套都可以；

2、提醒各位一下，有灵明度因子和峰积分还是没法算表面元素含量的。简单地用灵敏度因子除峰面积得出的结果不正确。经常有人问这个问题，计划有空的时候写篇普及文章。

半高宽与元素化学态复杂程度有关，半高宽较小，说明元素可能是单一化学态，半高宽较大，说明元素可能存在多种化学态。

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B

A

可以用，xls 表

格的数据主要用来画图，也可以分峰，但是非常麻烦，你要自己去设计函数。 源文件则可直接用casaXPS 或者XPSpeak 处理，非常方便。

在XPS 手册上，对应于每种元素，都有一个峰位与该元素化学键结构的图表，根据这个图标，把你测得的数据进行处理，例如你做的氮化硅，但是里面有少量的氧化硅，那么你的Si2p 峰位就既不是标准的氮化硅，也不是标准的氧化硅，这是需要你利用origin 或者xpspeakfit 等软件对所得的Si2p 峰进行分峰，也就是用2个或者3个或者更多的高斯峰来拟合所得的测试曲线，根据每一个高斯峰的面积，来去定Si 元素中有多少与O 结合形成Si-O 键，有多少与N 结合形成Si-N 键。

XRD 可以表征样品的物相、晶型和粒径（谢乐公式）

XRD 表征的粒径大多指的是晶粒的粒径

而实际上很多催化剂存在团聚等现象 颗粒粒径可以通过SEM 或TEM 进一步进行表征