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清华大学MEMS课程讲义

3/41微电子学研究所

Institute o f Microelectronics

药物释放神经探针组织工程生物传感器

简介

缩氨酸, or DNA

(Implantable microsystems)

Silicon: 10-100 nm pores, uniform and thin membranes;

9/41微电子学研究所

Institute o f Microelectronics

神经探针组织工程生物传感器

生物微胶囊

Temperature

11/41Institute o 神经探针组织工程生物传感器

13/41微电子学研究所

Institute o f Microelectronics

15/41

Institute o 表皮

真皮

皮下脂肪

角质层

药物释放神经探针组织工程生物传感器

17/41微电子学研究所

Institute o f Microelectronics 生物传感器

19/41微电子学研究所

Institute o f Microelectronics

组织工程生物传感器

Diameter: 10 μm density 400 needles on 9mm

21/41微电子学研究所

Institute o f Microelectronics 生物传感器

Intelligent mosquito

23/41微电子学研究所

Institute o f Microelectronics 简介药物释放神经探针组织工程生物传感器

Metal

27/41微电子学研究所

Institute o f Microelectronics

Stress control

Buckling control

1

2

微电子学研究所

Institute o f Microelectronics

Drug reservoir, sensor, pump, valve, microfluidic channels 生物传感器

Water flow permeates into the Top part: PDMS drug reservoir 渗透盐

薄膜膨胀

微流体通道

药物池

PDMS 体通道层半透膜

释放孔

Work

Auxiliary

药物池

药物通道

药物池

微流体通道

药物释放口

PDMS

流体通道

纤维素乙酸酯 半透膜

渗透盐腔

驱动膜

流体腔体

35/41Institute o

衬底

阱 衬底

阱 引线键合

介质层

导电层

测量电极

引线键合

介质层

测量电极

衬底

阱 (a)

(b)

(c)

探针阵列,4点/针

处理电路

(d)

微电子学研究所

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