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光接收机的结构及原理

光接收机的结构及原理
光接收机的结构及原理

第三部分光接收机的结构及原理

在有线电视HFC网络中,光接收机通常位于光纤接点和有线电视的前端位置,它的主要功能是把光信号转变为RF信号,前面已经详细讲述了光探测器、光接收组件的原理及应用。光探测器是实现光/电转换的关键部件,其质量的优劣决定了光接收机的性能指标与档次,光接收组件是光探测器与前置放大器的组合,在光接收机中,无论是分离组件还是一体组件,该部分的成本比重都比较大,与光发射机的激光器一样,不仅决定了光接收机的性能指标,还将决定光接收机的价格。光接收的整机组成主要由光接收组件、功率放大模块及其附属功能电路组成,除光接收组件外,功率放大模块是光接收机的第二大核心元件。即使是采用相同的组件,由于采用不同档次、不同价位的放大模块组合,整机也会有显著不同。有线电视技术发展到今天,光接收机采用分离元件制作放大模块已不多见,基本上全采用集成一体化组件结构。该结构模块大多属于厚膜集成电路,它是用丝网印刷和烧结等工艺在同一陶瓷基片上制作无源网源,并在其上组装分立的半导体芯片或单片集成电路、放大三极管管芯等,另外再外加塑料密封,防止潮气、杂质的进入。

一、光接收机常用的放大模块介绍

能用于光接收机的模块有众多型号,排除品牌命名的差异,根据放大模块的增益划分有14dB、18dB、20dB、22dB、27dB等,用于单模块放大器的34dB的放大模块在光接收机中少有应用,当然也不排除低档光接收机应用的可能。根据放大模块具体放大电路结构的

不同划分:有推挽放大模块、功率倍增放大模块两种,而根据放大元件工艺的不同,放大模块又分为硅放大工艺、砷化镓工艺两种,在光接收机中采用的模块的命名,一般以推挽和功率倍增为主要区分,同时附加增益的差异与器件工艺,如果不说是砷化镓工艺模块则所说的放大模块一般都是指硅工艺。

1.推挽放大模块的原理及结构。在实用的放大电路中,三极管的集电极并非总有电流流过,根据集中极电流导通时间的长短,通常把放大器分成甲类、乙类、丙类等。在输入信号的整个周期中都有电流流过集电极的放大器称为甲类放大器;只有在输入信号的半个周期内有集中极电流的放大器称为乙类放大器;在小于输入信号半个周期内有集中极电流的放大器称为丙类放大器。在许多实用的放大电路中,为了提高放大效率通常都需要把工作点移到截止区,即采用半周导通的乙类工作状态,这时若仍采用一个晶体管,输出信号中将只出现一半波形,将发生严重的截止失真。为了解决这个问题,可采用两只特性完全相同的晶体管,使其中一只晶体管在正半周导通,另一晶体管在负半周导通,最后在负载上合成完整波形,这就是推挽放大电路。下图是推挽放大电路的结构示意图:

输入信号经过高频传输变压器B1,反相加在晶体管VT1和V T2上,被放大后各自在半个周期内产生半个波,在变压器B2上反相叠加,重新合成完整波形输出,由于输出信号反相叠加,其中的直流分量和非线性失真中的偶次谐波互相抵消。降低了直流工作点,使变压器中流过电流减少,从而体积可以做得较小,进一步提高了放大器

的输出功率和效率;更为重要的是,偶次谐波的抵消,减少了放大器的非线性失真,对提高有线电视系统的非线性失真指标具有重要意义。在实际应用中,通常采用两组推挽电路并接的方法,构成桥式结构,则每级推挽电路在负载上的直流电压可抵消,从而简化电路结构。在推挽电路中,两个极性相同晶体管的特性应尽可能一致,两个极性相反晶体管的特性应尽可能互补,才能最大限度的抵消输出信号中的偶次谐波失真,若在电电路中引入负反馈,非线性失真还可进一步减小。

下图是商用化模块常采用的电路结构。

该模块用了共射——共基极放大推挽输出,4个NPN型晶体管两两接成共射—共基极组合放大电路,它们再通过输入、输出变压器接成推挽电路。共射—共基电路的特点是:简单高效,在选定最佳e极电流的情况下,此电路能有效的减小集电极非线性及e—b结非线性。此电路采用低射极电阻和高并联电阻取得高增益,又由于采用了低噪声晶体管使模块的噪声系数降到了尽可能低的程度。总之该电路集中了共射—共基组合电路和推挽电路的优点,电路的工作频率得到提高,最大带宽目前做到1GHZ,对于14—22dB增益的模块基本上采用一级推挽结构,对于27—34dB的高增益放大模块通常采用两极推挽结构组成,两级推挽的放大电路完全类似,这样第一级推挽的放大增益可达22dB,二级放大增益可达34dB以上。

2.功率倍增放大模块的结构及原理。

功率倍增放大模块在光接收机中有大量应用,主要用于光接收

机的输出级,提高整机的带负载的能力。按增益的不同划分,通常有三种功率倍增模块:14dB、18dB、20dB。其中20dB增益功率倍增模块较为常见。功率倍增模块的设计基础是用2个普通的IC放大级并联。其输入端有一个分路器,输出端有一个合成器,理论上其各引入大约3dB的损耗,因而送到每个IC放大级的输入信号比送到这个放大模块的输入信号低3dB,两个并联级各将信号放大,它们的输出再合成起来,因为两个信号是同相位的,是电压相加,因此输出信号电平比用一级的增益提高了6dB,但在合成器中降低了3dB。由于每一个IC级的输入信号因分路器又降低了3dB,因此,所有这些的最终结果是倍功率增益放大器与其中任一个单独的IC放大器的增益完全相同,然而每个IC实际工作在比额定输出低3dB的电平上,失真就降低了6dB。低失真是功率倍增放大技术的优点。但由于采用两个IC放大级并联,功率消耗就加倍了,同增益的功率倍增模块的工作电流是推挽放大模块的2倍,因而功率倍增模块的散热不容忽视,下图是商用化的功率倍增模块常采用的放大电路,供参考。

3.砷化镓工艺与硅工艺的差别

砷化镓工艺放大模块是近几年才发展起来的,用砷化镓金属场效应管设计的模块具有优良的低噪声特性,同时具有优良的低失真特性,其不足之处是抗冲击能力比较弱,静电就能使之损坏,输出能力有欠缺,主要是在高电平输出时出现硬压缩特性。为便于读者理解Si工艺和GaAs工艺,下表从多项技术指标加以比较:

关于两种工艺放大模块压缩特性的比较:一个理想的信号经过不同的放大器件,都会有或多或少、不同类型的失真现象。其压缩波形变化如下图所示:

Si工艺的放大有软压缩,GaAs.MESFET有硬压缩,很显然硬压缩现象对信号本身的影响最明显,即削顶现象,通过傅立叶变换可以看出,这样的波形含有很多失真分量,严重时图像会出现干扰条纹;而对于数字电视信号来讲,误码率会提高,图像会出现马赛克,甚至数据帧丢失。硅的软压缩特性要比GaAs的硬压缩特性好的多,尤其体现在动态幅度较大的数字信号传输中。

鉴于GaAs工艺放大具有优良的低噪声、低失真特性,而同时又有硬压缩的特性,目前GaAs技术在放大模块的应用中,为了克服GaAs技术的弱点,发挥其放大优势,一般都采用GaAs+Si混合技术,并不采用单一的GaAs工艺构建放大模块。当然在光接收组件中的前置放大器由于处于小信号放大状态,可以采用纯GaAs工艺放大。Ga As+Si混合技术通常是在模块的输入级和放大级采用GaAs工艺的管芯或贴片放大管,而在模块的输出级采用Si材料放大管,这种结构的放大模块具有实出的优点:(1)在输入级采用GaAs放大管可以降低噪声的引入获得理想的噪声系数Nf。(2)在放大级采用GaAs 放大管可以保证模块的线性指标和非线性指标。(3)在输出级采用Si材料放大管,可以保证模块的输出能力和抗冲击能力,克服GaAs 放大管负载能力比较低、比较脆弱的缺陷。(4)GaAs+Si混合技术可以有效的改善纯GaAs技术的硬压缩特性,使模块的压缩性能比较

平缓,减少信号失真,特别对于数字信号的传输可以有效的降低误码率。实验表明GaAs MESFET技术在46dBMV时,就会出现拐点,压缩特性急剧变差,CTB、CSO指标明显下降,采用GaAs+Si混合技术可有效提高模块的输出电平。

二、光接收机的结构及原理。

目前市场上的光接收机主要有两个大的分类:光接收机、光工作站;而光接收机又分为两种:一种是二端口光接收机,另一种是四端口光接收机。在HFC网络光接点的设备中,二端口光接收机占有相当大的比重。因而此处以两端口光接收机为例介绍其功能及原理。针对于二端口光接收机是指有2个主输出端口,可能还同时具有一个或二个测试端口。不同品牌的二端口光接收机,其内部功能及工艺相差较大,但其基本功能结构是一致的,常见的二端口光接收机的结构如下图所示:

从上图可以看出两端口光接收机主要由:光接收组件、光功率指示、前后级RF功率放大、频响校正器、正反向增益调节与均衡调节器、回传放大、回传发射组件,输出插件等组成,采用同种上述基本结构的光接收机,其主要差别在整机的工艺水平、各功能组件的布局安排的差异,任何一台二端口光接收机都能找到上述各功能组件。鉴于目前HFC网络光点的覆盖范围越来越小,AGC控制已无用武之地,在市场上具有AGC功能的二端口光接收机已很少见。下面分别讲述光接收机各功能组件的原理及功能。

1.光接收组件。前面已经详细讲述了光接收组件的不同种类及

特点。鉴于光接收组件已完全实现国产化,在光接收的应用中也只有分离组件与集成一体组件的区别,下面为集成一体组件与分离组件的差异。

从上面的比较可以看出,集成一体化组件具有明显的优势,是有线电视技术发展的趋势,除了一般性指标外,集成一体化组件兼有温度控制功能。单从这一功能来说,在分立组件中由于PIN管距离前置放大相对较远,其受前置放大温度的影响相对较轻,温度对PIN 管的影响的矛盾并不十分突出。如果集成一体组件中没有温控电路,由于PIN管与前置放大紧密结合,虽然有模块的底座散热条散热,P IN管的温升仍然比较明显,尤其是组件中配置大电流、高增益的前置放大,温升就越大,目前绝大部分国产组件都没有温控电路,而且有些生产厂家为了寻找卖点,采用大增益的前置放大器,导致组件的工作电流较大,从而使组件的温升变大,影响PIN管的性能。进口的名牌组件目前已有大部分产品采用温控功能电路,保证组件的温升对PIN管的影响最小。带温度补偿电路的光接收模块具有明显的优点:组件性能随温度变化小,噪声系数指标得到较好的改善,相对于指标的优化,成本就非常低。为了说明问题,下面对组件有无温控的性能作一对比:

目前在高档光接收机中都采用具有温度补偿功能的集成组件,以提高整机的环境适应性。

2、光功率指示

光功率指示是光接收机的附属功能电路,虽然有无该电路并不影响光接收机的性能指标,但光功率指示却有助于光接收机的使用者方便的操作与故障判断。显示准确的光功率指示功能电路起到了光功率计的作用,对于系统维护具有重要的意义,尤其是对于没有光功率计的用户,有光功率指示意义非同一般。目前光功率指示电路有三种不同的档次:(1)用一只发光二极管指示光功率的有无。其显示原理是:光功率指示单元功能电路(一般为集成运放构成的比较器)自动跟踪检测光探测器的工作电流,并将它转换成电压,该电压与基准电压进行比较,一旦检测电压高于基准电压,就说明有光功率指示,即驱动发光二极管点亮,指示有光功率。基准电压的设置各厂家并不一致,有的设置为-5dB,也有的可能设置的更低。针对于-5dB的情况作一说明,由于输入光功率大,PIN管的工作电流变大,将电流的变化转换成电压的变化,如果光接收机的输入光功率在-5dB时对应的检测电压为0.5V,则基准电压就设置为略低于0.5V的值(如设置为0.48V,设置值低是考虑比较器的精度),一旦检测电压大于基准电压0.48V,比较器就驱动发光二极管发光,表明有光功率输入,如果输入光功率太低(小于-5Db),指示电路将指示无光功率输入。这种光功率指示比较粗糙,如果设置基准光功率为-5dB,只要输入光功率大于-5dB,指示发光二极管就一直点亮,无法判断光功率的真实值,后期维护中光功率是否变化浮动也无从知道。在低档光接收机中都采用这一种光功率指示。

(2)用多只发光二极管粗略的指示光功率的变化。其显示原理是,采用多只比较器跟踪检测电路检测到的工作电压,驱动各档的发光二极管点亮,以指示光功率的变化,这种功率指示采用的发光二极管越多,指示精度相对就越高。有的产品采用4只发光二极管分别指示-5dB、-2dB、0dB、2dB,也有的产品用8只发光二极管,分别对应指示光功率的值为-5 dB、-4 dB、-3 dB、-2 dB、-1 dB、0 dB、+1 dB、+2 dB,即便是采用多只发光二极管指示光功率也有两种档次。第一种指示是采用简单的比较器构成指示电路,如指示-5 dB、-2 dB、0 dB、2 dB,当光功率大于-5dBm、小于-2dBm时,只有-5 dBm指示亮,如果光功率大于-2dBm,则-5、-2指示二极管全点亮,如果此时光功率在0dBm左右,则-5、-2、0三只发光管全点亮。第二种指示是采用相对复杂的窗口比较器,设定一定的电压范围作为比较的指示范围,针对于8只发光二极管的指示,其设定依据通常是:在光功率值在-4.5—5.5范围时,-5指示二极管点亮,表示此时的光功率在-5dBm左右,在光功率值在-3.5—-2.5范围时,-2指示二极管点亮,表示此时的光功率在-2dBm左右,依次类推;实际使用时,在任意时刻只有一只发光二极点亮,粗略的指示光功率的范围。而前一种指示通常是多只二极管点亮。给人的感觉好像是显示不准确。其实这两种显示虽然原理差不多,但应用于光接收机整机,效果却大不一样。

(3)用数码管或液晶显示屏精确显示光功率。该种显示的原理是:检测单元电路检测到PIN管的准确工作电流值并把其转换成电

压,此电压经过模、数转换集成电路,变成可供数码管或液晶屏显示的数字量(a、b……g七个分量),然后进入驱动电路最后到达数码管或液晶屏精确显示即时的光功率值,该种显示精度相当高,一般显示精度在0.01,显示单位因厂家产品不同而不同,有的以MW为单位,有的以dBm为单位。该种功率显示电路相对于前面用发光二极管指示的两种电路,既有技术含量又有方便实用性。该种显示电路的成本相对较高,一般都应用于高档光接收机中,有些厂家为了吸引用户眼球,在中低档光接收机中也有应用。如果光接收机中采用这种功率指示电路,无论对施工调试还是后期的系统维护都有帮助,相当于预置了一台光功率计在光接收机中。从实用性的角度出发,用户在选择光接收机时,也应对光功率指示有所注重,尤其是对那些无光功率计的用户,数码管指示光功率确有重要意义。

3.光接收机的功率放大

在光接收机中,功率放大都采用集成一体化模块,依据信号的放大流程,前面一级放大通常都采用低噪声、推挽放大模块,后面一级都采用功率倍增模块。在光接收机中,放大模块的质量好坏对光接收机的影响较大,放大模块的选择也决定了光接收机的档次与价位,光接收机的输出电平的设定是由放大模块的增益决定的。由于后级功率倍增模块的增益可选的范围比较小,一般增益为18dB或20dB。因而光接收机的RF增益主要由前级推挽放大模块决定,其模块增益从18dB到30dB不等。在光接收机模块的选择上有多种方式:可采用硅放大模块、GaAs放大模块、进口模块、国产模块等诸多配置。

当光接收机在低电平输出时,放大模块的指标对光接收机的整机指标影响不大,如果光接收机实现高电平输出则放大模块的影响将是主要因素。前面已对各种不同种类的放大模块作了介绍。在选用光接收机时一定对模块的种类与档次有所选择,才能买到即符合系统需要又货真价实的产品。

4.光接收机的增益调节。光接收机的增益调节都是通过衰减器来实现,在实用化的产品中有两种形式的衰减器:固定衰减器、可调衰减器都有应用,还有的产品采用电调衰减器。(1)固定衰减器,固定衰减器是采用不同的固定电阻,通过一定的电路形式实现衰减值的变化,按具体电路的不同有T型衰减器、π 型衰减器、H型衰减器等多种实用产品。最常用的是T型和π 型两种。固定衰减器发展到现在,虽然电路形式没有改变,但从工艺外型上已有了质的飞跃,单从外型上看,不看标志你一定把它当成工艺品而非衰减器,在光接收机中,凡是增益调节采用固定衰减器的,都在衰减器的外型与颜色搭配上下了不少功夫,从整机的效果看起来,令人赏心悦目,任何一款衰减器都以美观大方为主体,但是固定衰减器的接触稳定性也应引起注意,对于光接收机的增益调节来说,功能的实现是主体、接插稳定性不好,再好看的衰减器也是无用的。(2)可调衰减器。可调式衰减器是用可调电阻代替固定电阻,在一定范围内实现无级调节,其良好的随意可调节性使之应用前景一片光明。早期的可调式衰减器从质量上、工艺上比较差,很难做到无级调节,而且调节的稳定性也不高,衰减值经常因接触不良而自动变化,曾几何时,为了解决这个矛盾,

大量采用固定衰减器。近几年来无级可调式固定衰减器的质量和工艺水平有了大幅度的提高,为了增加调节的稳定性,不仅有0—20dB

变化的大范围可调衰减器,也有更精细稳定的0—10dB的小范围调节衰减器,与固定衰减器的多种多样的亮丽外型不同,可调衰减器从一开始面市到今天,大约几十年的时间,其外型与色彩一直没有变化,改进的只是指标质量,虽然可调衰减有调节方便,接触可靠的优点,但在中高档光接收机中很少见它的影子,主要原因是它没有固定衰减器的“点睛”作用。从应用的角度来看,最好还是采用可调衰减器,毕竟用户买光接收机是为了使用,而不是当花瓶欣赏,这种现状也对可调衰减器生产厂家敲响了警钟,不能光提高内在质量,表面文章还是要做的。(3)电调衰减器。电调衰减器是通过改变控制电压来控制PIN管阻值的变化,实现衰减量的变化。电调衰减器一般都采用桥T 型网络来实现。每个厂家的电调衰减器网络并不完全一致,各有特色,但基本功能的实现都是利用变阻二极管的变阻特性以及无源网络构

成各种组态电路。由于电调衰减器需要一稳定的电压,以实现调节的相对稳定性,因此采用电调衰减器的光接收机都采用高精度稳压的开关电源,如果是采用模拟电源,当出现电压波动时,会引起光接收机输出增益的波动,甚至失控。鉴于电衰减器高要求及潜在弱点,所以在普通光接收机中并不多见,有些高档光接收机为了增加整机卖点,通常采用电调衰减器。

5.光接收机的均衡调节。不像放大器非有均衡调节不可,光接收机可以不加均衡器,由于光接收组件解调出来的电信号在整个工作

光接收机的结构及原理

第三部分光接收机的结构及原理 在有线电视HFC网络中,光接收机通常位于光纤接点和有线电视的前端位置,它的主要功能是把光信号转变为RF信号,前面已经详细讲述了光探测器、光接收组件的原理及应用。光探测器是实现光/电转换的关键部件,其质量的优劣决定了光接收机的性能指标与档次,光接收组件是光探测器与前置放大器的组合,在光接收机中,无论是分离组件还是一体组件,该部分的成本比重都比较大,与光发射机的激光器一样,不仅决定了光接收机的性能指标,还将决定光接收机的价格。光接收的整机组成主要由光接收组件、功率放大模块及其附属功能电路组成,除光接收组件外,功率放大模块是光接收机的第二大核心元件。即使是采用相同的组件,由于采用不同档次、不同价位的放大模块组合,整机也会有显著不同。有线电视技术发展到今天,光接收机采用分离元件制作放大模块已不多见,基本上全采用集成一体化组件结构。该结构模块大多属于厚膜集成电路,它是用丝网印刷和烧结等工艺在同一陶瓷基片上制作无源网源,并在其上组装分立的半导体芯片或单片集成电路、放大三极管管芯等,另外再外加塑料密封,防止潮气、杂质的进入。 一、光接收机常用的放大模块介绍 能用于光接收机的模块有众多型号,排除品牌命名的差异,根据放大模块的增益划分有14dB、18dB、20dB、22dB、27dB等,用于单模块放大器的34dB的放大模块在光接收机中少有应用,当然也不排除低档光接收机应用的可能。根据放大模块具体放大电路结构的

不同划分:有推挽放大模块、功率倍增放大模块两种,而根据放大元件工艺的不同,放大模块又分为硅放大工艺、砷化镓工艺两种,在光接收机中采用的模块的命名,一般以推挽和功率倍增为主要区分,同时附加增益的差异与器件工艺,如果不说是砷化镓工艺模块则所说的放大模块一般都是指硅工艺。 1.推挽放大模块的原理及结构。在实用的放大电路中,三极管的集电极并非总有电流流过,根据集中极电流导通时间的长短,通常把放大器分成甲类、乙类、丙类等。在输入信号的整个周期中都有电流流过集电极的放大器称为甲类放大器;只有在输入信号的半个周期内有集中极电流的放大器称为乙类放大器;在小于输入信号半个周期内有集中极电流的放大器称为丙类放大器。在许多实用的放大电路中,为了提高放大效率通常都需要把工作点移到截止区,即采用半周导通的乙类工作状态,这时若仍采用一个晶体管,输出信号中将只出现一半波形,将发生严重的截止失真。为了解决这个问题,可采用两只特性完全相同的晶体管,使其中一只晶体管在正半周导通,另一晶体管在负半周导通,最后在负载上合成完整波形,这就是推挽放大电路。下图是推挽放大电路的结构示意图: 输入信号经过高频传输变压器B1,反相加在晶体管VT1和V T2上,被放大后各自在半个周期内产生半个波,在变压器B2上反相叠加,重新合成完整波形输出,由于输出信号反相叠加,其中的直流分量和非线性失真中的偶次谐波互相抵消。降低了直流工作点,使变压器中流过电流减少,从而体积可以做得较小,进一步提高了放大器

光刻原理

光 刻 工 艺 一、目的: 按照平面晶体管和集成电路的设计要求,在SiO 2或金属蒸发层上面刻蚀出与掩模板完全相对应的几何图形,以实现选择性扩散和金属膜布线的目的。 二、原理: 光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术,它先采用照像复印的方法,将光刻掩模板上的图形精确地复制在涂有光致抗蚀剂的SiO 2层或金属蒸发层上,在适当波长光的照射下,光致抗证剂发生变化,从而提高了强度,不溶于某些有机溶剂中,未受光照射的部分光致抗蚀剂不发生变化,很容易被某些有机溶剂溶解。然后利用光致抗蚀剂的保护作用,对SiO 2层或金属蒸发层进行选择性化学腐蚀,从而在SiO 2层或金属层上得到与光刻掩模板相对应的图形。 (一)光刻原理图 (一)光刻胶的特性: 1.性能,光致抗蚀剂是一种对光敏感的高分子化合物。当它受适当波长的光照射后就能吸收一定波长的光能量,使其发生交联、聚合或分解等光化学反应。由原来的线状结构变成三维的网状结构,从而提高了抗蚀能力,不再溶于有机溶剂,也不再受一般腐蚀剂的腐蚀. 2.组成:以KPR 光刻胶为例: 感光剂--聚乙烯醇肉桂酸酯。 溶 剂--环己酮。 增感剂--5·硝基苊, 3.配制过程: 将一定重量的感光剂溶解于环己酮里搅拌均匀,然后加入一定量的硝基苊,再继续揖拌均匀,静置于暗室中待用。 感光剂聚乙烯醇肉桂酸酯的感光波长为3800?以内,加入5·硝基苊后感光波长范围发生了变化从2600—4700 ?。 (二)光刻设备及工具: 在SiO 2层上涂复光刻胶膜 将掩模板覆盖 在光刻胶膜上 在紫外灯下曝光 显影后经过腐蚀得到光刻窗口

1.曝光机--光刻专用设备。 2.操作箱甩胶盘--涂复光刻胶。 3.烘箱――烤硅片。 4.超级恒温水浴锅--腐蚀SiO2片恒温用。 5.检查显为镜――检查SiO2片质量。 6.镊子――夹持SiO2片。 7.定时钟――定时。 8.培养皿及铝盒――装Si片用。 9.温度计――测量温度。 图(二)受光照时感光树脂分子结构的变化 三、光刻步骤及操作原理 1.涂胶:利用旋转法在SiO2片和金属蒸发层上,涂上一层粘附性好、厚度适当、均匀的光刻胶。 将清洁的SiO2片或金属蒸发片整齐的排列在甩胶盘的边缘上,然后用滴管滴上数滴光刻胶于片子上,利用转动时产生的离心力,将片子上多余的胶液甩掉,在光刻胶表面粘附能力和离心力的共同作用下形成厚度均匀的胶膜。 涂胶时间约为1分钟。 要求:厚度适当(观看胶膜条纹估计厚薄),胶膜层均匀,粘附良好,表面无颗粒无划痕。 图(三)光刻工艺流程示意图

离心式冷水机组的结构及原理

离心式冷水机组的结构及原理 目前,用于中央空调的离心式冷水机组,主要由离心制冷压缩机、主电动机、蒸发器(满液式卧式壳管式)、冷凝器(水冷式满液式卧式壳管式)、节流装置、压缩机入口能量调节机构、抽气回收装置、润滑油系统、安全保护装置、主电动机喷液蒸发冷却系统、油回收装置及微电脑控制系统等组成,并共用底座。其外形和系统组成如图4.13及图4.14所示。

1.离心式冷水机组特点 离心式冷水机组属大冷量的冷水机组,它有以下主要优点: (1)压缩机输气量大,单机制冷量大,结构紧凑,重量轻,单位制冷量重量小,相同制冷量下比活塞式机组轻80%以上,占地面积小; (2)性能系数高; (3)叶轮作旋转运动,运转平稳,振动小,噪声较低; (4)调节方便,在较大的冷量范围内能较经济地实现无级调节; (5)无气阀、填料、活塞环等易损件,工作比较可靠。 离心式冷水机组的缺点主要是: (1)由于转速高,对材料强度、加工精度和制造质量要求严格; (2)单级压缩机在低负荷时易发生喘振; (3)当运行工况偏离设计工况时,效率下降较快; (4)制冷量随蒸发温度降低而减少的幅度比活塞式快,制冷量随转数降低而急剧下降。 2.离心式冷水机组的组成 构成离心式冷水机组的部件中,区别于活塞式、螺杆式冷水机组的主要部件是离心压缩机,此外,其他主要辅助设备比如换热设备、润滑油系统、抽气回收装置等均有自己特点,在这进行简单介绍。 1)压缩机 空调用离心式冷水机组,通常都采用单级压缩,除非单机制冷量特别大(例如4500kW以上),或者刻意追求压缩机的效率,才采用2级或3级压缩。单级离心制冷压缩机由进口调节装置、叶轮、扩压器、蜗室组成;多级离心制冷压缩机除了末级外,在每级的扩压器后面还有弯道和回流界,以引导气流进入下一级。图4.15示出了离心式制冷压缩机的典型结构。 图4.15 离心式制冷压缩机的典型结构 (a)单级离心式制冷压缩机;(b)多级离心制冷压缩机的中间级 1一齿轮箱体;2一机壳门;3一轮盖密封座;1一叶轮;2一扩压器; 4一叶轮;5一叶片调节机构;6—进口壳体;3一弯道;4一回流器; 7一轮盖密封;8一轮盘密封;9一右轴承;5一级内密封;6一中间加气孔 10一左轴承;11一推力盘;12—后壳体 由于离心式冷水机组在实际使用中的一些特殊要求,使得离心式制冷压缩机在结构上有其一些特点: ①离心式冷水机组采用的制冷剂的分子量都很大,音速低,在压缩机流道中的马赫数M比较高(特别是在叶轮进口的相对速度马赫数和叶轮出口的绝对速度马赫数一般都达到亚音速甚至跨音速),这就要求在叶轮构型时特别注意气流组织,避免或减少气流在叶轮流遭中产生激波损失,同时适应制冷剂气体的容积流量在叶轮内变化很大的特点。

光工作站的结构及原理

光工作站地结构及原理 第四部分光工作站地结构及原理 传统地广播分配网,随网络地改造,向通信式地双向交互网发展,光纤网络和无源电缆分配网将是网络架构地主导模式.网络地目标就是成为一个能为本地区(城市)提供多种信息业务服务地宽带多媒本通信平台;从目前地网络发展态势看起具有明显地特点:光纤向用户逐步延伸,光接点地服务半径越来越小,双向用户逐渐增多,放大器地应用越来越少,光接点以后地网络可靠性得到大幅度提高.随着用户对服务质量要求地提高,光接点最终将是无源分配网络,即不采用放大器,只由光接收设备提供高电平信号,覆盖结点周围用户.普通地光接收机将无法再胜任作为光接点接收设备地高要求,为适应这一发展,解决双向用户共享带宽地制约,提高网络服务质量,可升级地通信型光站应运而生,其将是宽带用户接入网地主导设备. 各个生产厂家推出地光工作站地具体结构及功能并不一致,作为光工作站其与光接收机有明显地区别.()按功能结构区分.光工作站一般具有多于个独立地高电平输出端口,每端输出电平一般要求大于,以适应直接用于用户分配,增加覆盖地要求.而光接收机地输出电平一般不高,既使是高电平输出光接收机,其最大输出也一般低于;光工作站具有完备地功能模块(或预留插口),而光接收机由于采用小外壳,功能模块单元相对很小,主要功能仅是实现光电转换,即使有回传发射模块,也相当简单,无法适应未来双向光接点地较高要求.()按可靠性区分.光工作站一般都采用高冗余度,通常都对关键地功能模块实现备份,常见地功能备份有如下几种:、电源备份,通常光工作站可插入两个高效开关电源,在一个电源出现故障时,内部控制单元可自动切换到另一个电源.、光备份,光备份有光接收备份、光发射备份.光接收备份:光工作站可插入个以上地光接收功能模块,分别接收不同路由地光信号,当一路出现故障时,控制单元将及时切换到另一路;光发射备份:光工作站可插入个以上地回传发射模块,

最新心电图机原理与维修

心电图机原理与维修

心电图机的原理与维修 结构与原理 1 输入电路由电极板、导联线、导联选择开关、高频滤波电路等组成。作用:减少干扰、选择导联,将人体各部分信号引到前置放大器。 1. 1. 1 导联线作用是将电极板上获得的心电信号送到放大器的输入端,它是一条五芯(或多芯)的带金属屏蔽网的绞合线。要求线柔软、接头处牢靠。屏蔽网的作用是防止外界电磁波的干扰。屏蔽网通常接地 , 导联线常有五芯、七芯和十三芯三种。 1. 1. 2 导联选择开关作用是不改变人体电极连接线 ,用来改变各导联线和心电放大器之间的连接方法,用来记录某一导联的心电图。一般有三种开关: 圆形波段开关,琴键开关 ,触摸开关。 1. 1. 3 高频滤波电路作用是滤去不需要的高频信号,减少高频干扰。一般由RC低通滤波电路组成。 1. 2 心电放大电路这是心电图机的核心作用是放大心电信号推动记录器工作它由前置放大电路电压放大电路和功率放大电路组成。 1. 2. 1 前置放大电路作用是把微弱的变化缓慢的心电信 号放大到足以推动电压放大电路,同时又有足够抑制各种干

扰信号的能力。主要包括前置放大器、1mV定标发生器、时 间常数电路等。 1. 2. 2 电压放大电路作用是将前置放大器放大输出仅 20mV的心电信号进一步放大输送到后置放大器。它由直流 电压放大器、增益调节电路、基线调节电路、封闭电路、双T型滤波电路及肌电干扰抑制电路组成。 1. 2. 3 功率放大电路作用是将电压信号变换为大的电流 和功率去推动记录器工作。常采用对称式互补射极输出器单 端推挽电路。 1. 3 心电记录器作用是把心电信号转换成机械运动的装 置。它由记录器表头、描笔等组成。心电信号经心电图机导 联选择以及心电放大器放大后,驱动记录器上的转轴,使之转 角随心电信号变化而变化,在转轴上固定一支记录笔,笔也随 之偏转,从而在记录纸上描出随时间变化的心电图曲线。 1. 4 电动机走纸电路它的作用是使记录纸按要求随时间

离心式压缩机工作原理及结构图介绍

离心式压缩机工作原理及结构图 2016-04-21 zyfznb转自老姚书馆馆 修改分享到微信 一、工作原理 汽轮机(或电动机)带动压缩机主轴叶轮转动,在离心力作用下,气体被甩到工作轮后面的扩压器中去。而在工作轮中间形成稀薄地带,前面的气体从工作轮中间的进汽部份进入叶轮,由于工作轮不断旋转,气体能连续不断地被甩出去,从而保持了气压机中气体的连续流动。气体因离心作用增加了压力,还可以很大的速度离开工作轮,气体经扩压器逐渐降低了速度,动能转变为静压能,进一步增加了压力。如果一个工作叶轮得到的压力还不够,可通过使多级叶轮串联起来工作的办法来达到对出口压力的要求。级间的串联通过弯通,回流器来实现。这就是离心式压缩机的工作原理。二、基本结构 离心式压缩机由转子及定子两大部分组成,结构如图1所示。转子包括转轴,固定在轴上的叶轮、轴套、平衡盘、推力盘及联轴节等零部件。定子则有气缸,定位于缸体上的各种隔板以及轴承等零部件。在转子与定子之间需要密封气体之处还设有密封元件。各个部件的作用介绍如下。

1、叶轮 叶轮是离心式压缩机中最重要的一个部件,驱动机的机械功即通过此高速回转的叶轮对气体作功而使气体获得能量,它是压缩机中唯一的作功部件,亦称工作轮。叶轮一般是由轮盖、轮盘和叶片组成的闭式叶轮,也有没有轮盖的半开式叶轮。 2、主轴 主轴是起支持旋转零件及传递扭矩作用的。根据其结构形式。有阶梯轴及光轴两种,光轴有形状简单,加工方便的特点。 3、平衡盘 在多级离心式压缩机中因每级叶轮两侧的气体作用力大小不等,使转子受到一个指向低压端的合力,这个合力即称为轴向力。轴向力对于压缩机的正常运行是有害的,容易引起止推轴承损坏,使转子向一端窜动,导致动件偏移与固定元件之间失去正确的相对位置,情况严重时,转子可能与固定部件碰撞造成事故。平衡盘是利用它两边气体压力差来平衡轴向力的零件。它的一侧压力是末级叶轮盘侧间隙中的压力,另一侧通向大气或进气管,通常平衡盘只平衡一部分轴向力,剩余轴向力由止推轴承承受,

投影光刻机对准系统功能原理

投影光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准,其标记的对准精度能达到±0.4μm(正态分布曲线的3σ值)。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次,而对准精度直接影响硅片的套刻精度,所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围,它在X方向和Y方向都只能扫描 ±44μm,所以硅片被传送到工件台上进行对准之前,需要在预对准工件台上先后完成两次对准,即机械预对准和光学预对准,以便满足精细对准的捕捉范围。注意:本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成:照明(对准光源)部分,双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示,在图中可以看出,对准系统中用了两个完全相同的光路,这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同,所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中,照明部分的主要部件就是激光发射器,它产生波长为633nm的线性极化光,避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光(硅片曝光用的光为紫外光)。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元,该激光将从双折射单元底部射出,通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上;而经过硅片表面的反射后由原路返回,第二次经过双折射单元,由双折射单元的顶部射出,再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内,硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后,将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象,Q-CELL 光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号,由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示,标记分为四个象限,每个象限有8μm或8.8μm的对准条,其中有两个象限的对准条用来对准X向,另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限,当在Q-CELL检测器的每一个单元中,两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候,就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束,一束激光将通过调制器到达Q-CELL 光电检测器,而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准,但是由于它们是同步的,彼此之间几乎看不到有何不同,所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是: 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动:该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号,其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理:在对准的时候,工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动,进行X轴向对准,当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时,

心电图机的原理

二、工作原理 (一)心电图 心电图是从体表记录的心脏电位随时间而变化的曲线。它可以反映出心脏兴奋的产生、传导和恢复过程中的生物电位变化。在心电图记录纸上,横轴代表时间。当标准走纸速度为25mm/s时,每1mm代表0.04s;纵轴代表波形幅度,当标准灵敏度为10mm/mV时,每1mm 代表0.1mV。 1、心电图的典型波形 心电图典型波形如图1-1-1所示。 以下所述的心电图各波形的参数值,是在心电图机处于标准记录条件下,即:走纸速度 为25mm/s、灵敏度为10mm/mV时记录得出的值。 P波:由心房的激动所产生。前一半主要由右心房所产生,后一半主要由左心房所产生。正常P 波的宽度不超过0.11s,最高幅度不超过2.5mm。 QRS波群:反映左、右心室的电激动过程,称QRS波群的宽度为QRS时限,代表全部心室肌激动过程所需要的时间。正常人最高不超过0.10s。 T波:代表心室激动后复原时所产生的电位。在R波为主的心电图上,T波不应低于R波1/10。U波:位于T波之后,可能是反映心肌激动后电位与时间的变化。人们对它的认识仍在探讨之中。 2、心电图的典型间期和典型段

P-R间期:是从P波起点到QRS波群起点的相隔时间。它代表从心房激动开始到心室开始激动的时间。这一期间随着年龄的增长而有加长的趋势。 QRS间期:从Q波开始至S波终了的时间间隔。它代表两侧心室肌(包括心室间隔肌)的电激动过程。 S-T段:从QRS波群的终点到T波起点的一段。正常人的S-T段是接近基线的,与基线间的距离一般不超过0.05mm。 P-R段:从P波后半部分起始端至QRS波群起点。同样,正常人的这一段也是接近基线的。 Q-T间期:从QRS波群开始到T波终结相隔的时间。它代表心室肌除极和复极的全过程。正常情况下,Q-T间期的时间不大于0.04s。 3、正常人的心电图典型值 P波:0.2mV;Q波:0.1mV;R波:0.5~1.5mV;S波:0.2mV;T波:0.1~0.5mV; P-R间期:0.1~20.2S;QRS间期:0.06~0.1s;S-T段:0.12~0.16s;P-R段:0.04~0.8s。 (二)电极与导联 1、电极 电极是来摄取人体内各种生物电现象的金属导体,也称作导引电极。它的阻抗,极化特性、稳定性等对测量的精确度影响很大。作心电图时选用的电极是表皮电极。表皮电极的种类很多,有金属平板电极,吸附电极,圆盘电极,悬浮电极,软电极和干电极。按其材料又分为有铜合金镀银电极,镍银合金电极、锌银铜合金电极,不锈钢电极和银-氯化银电极等。 (1)金属平板电极 金属平板电极是测量心电图时常用的一种肢体电极,它是一块镍银合金或铜质镀银制成的凹形金属板,这种电极虽然比较简单,但其抗腐蚀性能、抗干扰和抗噪声能力较差,在微电流通过时容易产生极化,而且电位不稳定和电位随时间漂移严重,信号失真也较大缺点。日前已较少使用。 用于四肢的肢电极形状呈长方形,长度ab为4cm、宽度cd为3cm,它的一边有管形插口,用来插入导联线插头,如图1-1-2所示。 常用的肢体平板电极的形状如图1-1-3所示。平板部分长度为3.2cm,宽度为2.8cm,平板两边做成一边高、一边低的凹槽,其槽宽度正好为电极夹子的宽度,在高的一边的上端有一管形插口,用来插入导联线插头。它是由银粉和氯化银压制而成的。

光刻机和光掩膜版

十三章 光刻II 光刻机和光掩膜版 前几章讲述了光刻胶材料的性质和工艺技术。在这一章里,我们介绍如何将图形转移到硅片表面上,包括以下内容:a)将图形投影到硅片表面的装置(即光刻对准仪或光刻翻版机),由此使得所需图形区域的光刻胶曝光。 b)将图形转移到涂有光刻胶的硅片上的工具(即光掩模版和中间掩模版)。在介绍光刻机或掩模版之前,把用以设计和描述操作光刻机的光学原理简要地说明一下。它们是讲明光掩模板和中间掩模版的基础。 在讨论光学原理之前,有必要介绍一下微光刻硬件的关键。那就是把图形投影到硅表面的机器和掩模版的最重要的特征:a)分辨率、b)图形套准精度、c)尺寸控制、d)产出率。 通常,分辨律是指一个光学系统精确区分目标的能力。特别的,我们所说的微图形加工的最小分辨率是指最小线宽尺寸或机器能充分打印出的区域。然而,和光刻机的分辨率一样,最小尺寸也依赖于光刻胶和刻蚀的技术。关于分辨率的问题将在微光刻光学一章中更彻底的讲解,但要重点强调的是高分辨率通常是光刻机最重要的特性。 图形套准精度是衡量被印刷的图形能“匹配”前面印刷图形的一种尺度。由于微光刻应用的特征尺寸非常小,且各层都需正确匹配,所以需要配合紧密。

微光刻尺寸控制的要求是以高准度和高精度在完整硅片表面产生器件特征尺寸。为此,首先要在图形转移工具〔光刻掩模版〕上正确地再造出特征图形,然后再准确地在硅片表面印刷出〔翻印或刻蚀〕。 加工产率是重要但 不是最重要加工特征。例 如,如果一个器件只能在 低生产率但高分辨率的 光刻机制版,这样也许仍 然是经济的。不过,在大 部分生产应用中,加工和 机器的产率是很重要的, 也许是选择机器的重要因素之一。 1.微光刻光学 在大规模集成电路的制造中。光刻系统的分辨率是相当重要的,因为它是微器件尺寸的主要限制。在现代化投影光刻机中光学配件的质量是相当高的,所以图形的特征尺寸因衍射的影响而受限制,而不会是因为镜头的原因(它们被叫做衍射限制系统)。因为分辨率是由衍射限度而决定的,那就必须弄明白围绕衍射限度光学的几个概念,包括一致性、衍射、数值孔径、调频和许多重要调节转换性能。下几节的目的就是要简要和基本地介绍这些内容。参考资料1·2讲得更详细。 衍射·一致性·数值孔径和分辨率 图(1):一束空间连续光线经过直的边缘时的光强 a)依据几何光学b)散射

离心式压缩机工作原理

离心式压缩机的工作原理是什么,为什么离心式压缩机要有那么高的转速? 答:离心式压缩机用于压缩气体的主要工作部件是高速旋转的叶轮和通流面积逐渐增加的扩压器。简而言之,离心式压缩机的工作原理是通过叶轮对气体作功,在叶轮和扩压器的流道内,利用离心升压作用和降速扩压作用,将机械能转换为气体压力能的。 更通俗地说,气体在流过离心式压缩机的叶轮时,高速旋转的叶轮使气体在离心力的作用下,一方面压力有所提高,另一方面速度也极大增加,即离心式压缩机通过叶轮首先将原动机的机械能转变为气体的静压能和动能。此后,气体在流经扩压器的通道时,流道截面逐渐增大,前面的气体分子流速降低,后面的气体分子不断涌流向前,使气体的绝大部分动能又转变为静压能,也就是进一步起到增压的作用。 显然,叶轮对气体作功是气体压力得以升高的根本原因,而叶轮在单位时间内对单位质量气体作功的多少是与叶轮外缘的圆周速度u2密切相关的:u2数值越大,叶轮对气体所作的功就越大。而u2与叶轮转速和叶轮的外径尺寸有如下关系: 式中 D2--叶轮外缘直径,m; n--叶轮转速,r/min。 因此,离心式压缩机之所以要有很高的转速,是因为: 1)对于尺寸一定的叶轮来说,转速n越高,气体获得的能量就越多,压力的提高也就越大; 2)对于相同的圆周速度(亦可谓相同的叶轮作功能力)来说,转速n越高,叶轮的直径就可以越小,从而压缩机的体积和重量也就越小; 3)由于离心式压缩机通过一个叶轮所能使气体提高的压力是有限的,单级压比(出口压力与进口压力之比)一般仅为1.3~2.0。如果生产工艺所要求的气体压力较高,例如全低压空分设备中离心式空气压缩机需要将空气压力由0.1MPa提高到0.6~0.7MPa,这就需要采用多级压缩。那么,在叶轮尺寸确定之后,压缩机的转速越高,每一级的压比相应就越大,从而对于一定的总压比来说,压缩机的级数就可以减少。所以,在进行离心式压缩机的设计时,常常采用较高的转速。但是,随着转速的提高,叶轮的强度便成了一个突出的矛盾。目前,采用一般合金钢制造的闭式叶轮,其圆周速度多在300m/s以下。 另外,对于容量较小的离心式压缩机而言,由于风量较小,叶轮直径也较小,可采用较高的转速;而容量较大的压缩机,由于叶轮直径较大,相应地转速也应低一些。例如,为国产3200m3/h

(完整版)心电图机产品技术审查

附件6: 心电图机产品注册技术审查指导原则 本指导原则旨在指导和规范心电图机类产品的技术审评工作,帮助审评人员理解和掌握该类产品原理/机理、结构、性能、预期用途等内容,把握技术审评工作基本要求和尺度,对产品安全性、有效性作出系统评价。 本指导原则所确定的核心内容是在目前的科技认识水平和现有产品技术基础上形成的,因此,审评人员应注意其适宜性,密切关注适用标准及相关技术的最新进展,考虑产品的更新和变化。 本指导原则不作为法规强制执行,不包括行政审批要求。但是,审评人员需密切关注相关法规的变化,以确认申报产品是否符合法规要求。 一、适用范围 本指导原则适用于《医疗器械分类目录》中第二类心电图机,类代号现为6821。 二、技术审查要点 (一)产品名称的要求 心电图机的产品的命名应采用《医疗器械分类目录》或国家标准、行业标准上的通用名称,或以产品结构和应用范围为依据命名,例如:单道心电图机,单道自动心电图机,三道心电图机;三道自动心电图机;多道心电图机;多道自动心电图机等。 (二)产品的结构和组成

产品一般为台式或手提式,由主机、患者电缆和电极组成,电极也可分为可重复使用和一次性使用两种形式。记录方式可采用热笔式或热线阵记录方式等。有些产品具有信号输入或信号输出端口。有些产品还带有特殊的专用软件可用于对心电图进行辅助分析。 心电图机类产品按产品应用部分可划分为:B型、BF型、CF型; 按功能可划分为:具有分析功能或具有不同的分析功能、不具有分析功能; 按记录形式可划分为:单道、多道; 按产品电源部分可划分为:交流、交直流两用; 按记录方式可划分为:热笔式打印、热阵式打印。 产品图示举例如下:

GPS接收机的结构和工作原理

GPS接收机的组成及工作原理 目录 第一节 GPS接收机的分类 第二节 GPS接收机组成及工作原理第三节 GPS接收机的构成 第四节注意事项 第五节常见问题及解决方法

第一节 GPS接收机的分类 根据GPS用户的不同要求,所需的接收设备各异。随着GPS定位技术的迅速发展和应用领域的日益扩大,许多国家都在积极研制、开发适用于不同要求的GPS接收机及相应的数据处理软件。 1、按用途分可分为: (1)导航型接收机:①车载型 ②航海型 ③航空型 ④星载型 (2)测地型接收机 (3) 授时型接收机 2、按接收机的载波频率分类(或者说按接受机的卫星信号频率分类) (1)单频接收机 (2)双频接收机 3、按接收机的通道数分类: (1)多通道接收机 (2)序贯通道接收机 (3)多路复用通道接收机 4、按工作原理分类: (1)码相关型接收机 (2)平方型接收机 (3)混合型接收机 (4)干涉型接收机 5、按接收卫星系统分类 (1)单星系统 (2)双星系统 (3)多星系统 6、按接收机的作业模式分类 (1)静态接收机 (2)动态接收机 7、按接收机的结构分类 (1)分体式接收机 (2)整体式接收机 (3)手持式接收机 目前生产GPS测量仪器的厂家有几十家,产品有几百种,但拥有较为成熟产品的不外乎几家,在我国测绘市场占有份额较大的有Trimble、Leica、Ashtech、Javad(Topcon)、Thales(DSNP)加拿大诺瓦太(NoVAteL)等。我国的南方测绘仪器公司和中海达测绘仪器公司也已经有了自己的GPS产品,北京、苏州光学仪器厂也已开始了GPS设备的研制与开发工作。

光接收机的结构和原理

光接收机的结构和原理 2009-08-31 20:20:03| 分类:电子通信时代| 标签:|字号大中小订阅 在有线电视HFC网络中,光接收机通常位于光纤接点和有线电视的前端位置,它的主要功能是把光信号转变为RF信号,前面已经详细讲述了光探测器、光接收组件的原理及应用。光探测器是实现光/电转换的关键部件,其质量的优劣决定了光接收机的性能指标与档次,光接收组件是光探测器与前置放大器的组合,在光接收机中,无论是分离组件还是一体组件,该部分的成本比重都比较大,与光发射机的激光器一样,不仅决定了光接收机的性能指标,还将决定光接收机的价格。光接收的整机组成主要由光接收组件、功率放大模块及其附属功能电路组成,除光接收组件外,功率放大模块是光接收机的第二大核心元件。即使是采用相同的组件,由于采用不同档次、不同价位的放大模块组合,整机也会有显著不同。有线电视技术发展到今天,光接收机采用分离元件制作放大模块已不多见,基本上全采用集成一体化组件结构。该结构模块大多属于厚膜集成电路,它是用丝网印刷和烧结等工艺在同一陶瓷基片上制作无源网源,并在其上组装分立的半导体芯片或单片集成电路、放大三极管管芯等,另外再外加塑料密封,防止潮气、杂质的进入。 一、光接收机常用的放大模块介绍 能用于光接收机的模块有众多型号,排除品牌命名的差异,根据放大模块的增益划分有14dB、18dB、20dB、22dB、27dB等,用于单模块放大器的34dB的放大模块在光接收机中少有应用,当然也不排除低档光接收机应用的可能。根据放大模块具体放大电路结构的不同划分:有推挽放大模块、功率倍增放大模块两种,而根据放大元件工艺的不同,放大模块又分为硅放大工艺、砷化镓工艺两种,在光接收机中采用的模块的命名,一般以推挽和功率倍增为主要区分,同时附加增益的差异与器件工艺,如果不说是砷化镓工艺模块 则所说的放大模块一般都是指硅工艺。 1.推挽放大模块的原理及结构。在实用的放大电路中,三极管的集电极并非总有电流流过,根据集中极电流导通时间的长短,通常把放大器分成甲类、乙类、丙类等。在输入信号的整个周期中都有电流流过集电极的放大器称为甲类放大器;只有在输入信号的半个周期内有集中极电流的放大器称为乙类放大器;在小于输入信号半个周期内有集中极电流的放大器称为丙类放大器。在许多实用的放大电路中,为了提高放大效率通常都需要把工作点移到截止区,即采用半周导通的乙类工作状态,这时若仍采用一个晶体管,输出信号中将只出现一半波形,将发生严重的截止失真。为了解决这个问题,可采用两只特性完全相同的晶体管,使其中一只晶体管在正半周导通,另一晶体管在负半周导通,最后在负载上合成完整波形,这就是推 挽放大电路。下图是推挽放大电路的结构示意图: 输入信号经过高频传输变压器B1,反相加在晶体管VT1和VT2上,被放大后各自在半个周期内产生半个波,在变压器B2上反相叠加,重新合成完整波形输出,由于输出信号反相叠加,其中的直流分量和非线性失真中的偶次谐波互相抵消。降低了直流工作点,使变压器中流过电流减少,从而体积可以做得较小,进一步提高了放大器的输出功率和效率;更为重要的是,偶次谐波的抵消,减少了放大器的非线性失真,对提高有线电视系统的非线性失真指标具有重要意义。在实际应用中,通常采用两组推挽电路并接的方法,构成桥式结构,则每级推挽电路在负载上的直流电压可抵消,从而简化电路结构。在推挽电路中,两个极性相同晶体管的特性应尽可能一致,两个极性相反晶体管的特性应尽可能互补,才能最大限度的抵消输出信号中的偶次谐波失真,若在电电路中引入负反馈,非线性失真还可进一步减小。 下图是商用化模块常采用的电路结构。 该模块用了共射——共基极放大推挽输出,4个NPN型晶体管两两接成共射—共基极组合放大电路,它们再通过输入、输出变压器接成推挽电路。共射—共基电路的特点是:简单高效,在选定最佳e极电流的情况下,此电路能有效的减小集电极非线性及e—b结非线性。此电路采用低射极电阻和高并联电阻取得高增益,又由于采用了低噪声晶体管使模块的噪声系数降到了尽可能低的程度。总之该电路集中了共射—共基

心电图机原理与维修

心电图机的原理与维修 结构与原理 1 输入电路由电极板、导联线、导联选择开关、高频滤波电路等组成。作用:减少干扰、选择导联,将人体各部分信号引到前置放大器。 1. 1. 1 导联线作用是将电极板上获得的心电信号送到放大器的输入端,它是一条五芯(或多芯)的带金属屏蔽网的绞合线。要求线柔软、接头处牢靠。屏蔽网的作用是防止外界电磁波的干扰。屏蔽网通常接地 , 导联线常有五芯、七芯和十三芯三种。 1. 1. 2 导联选择开关作用是不改变人体电极连接线 ,用来改变各导联线和心电放大器之间的连接方法,用来记录某一导联的心电图。一般有三种开关: 圆形波段开关,琴键开关 ,触摸开关。 1. 1. 3 高频滤波电路作用是滤去不需要的高频信号,减少高频干扰。一般由RC低通滤波电路组成。 1. 2 心电放大电路这是心电图机的核心作用是放大心电信号推动记录器工作它由前置放大电路电压放大电路和功率放大电路组成。 1. 2. 1 前置放大电路作用是把微弱的变化缓慢的心电信 号放大到足以推动电压放大电路,同时又有足够抑制各种干 扰信号的能力。主要包括前置放大器、1mV定标发生器、时 间常数电路等。 1. 2. 2 电压放大电路作用是将前置放大器放大输出仅 20mV的心电信号进一步放大输送到后置放大器。它由直流 电压放大器、增益调节电路、基线调节电路、封闭电路、双T型 滤波电路及肌电干扰抑制电路组成。 1. 2. 3 功率放大电路作用是将电压信号变换为大的电流

和功率去推动记录器工作。常采用对称式互补射极输出器单 端推挽电路。 1. 3 心电记录器作用是把心电信号转换成机械运动的装 置。它由记录器表头、描笔等组成。心电信号经心电图机导 联选择以及心电放大器放大后,驱动记录器上的转轴,使之转 角随心电信号变化而变化,在转轴上固定一支记录笔,笔也随 之偏转,从而在记录纸上描出随时间变化的心电图曲线。 1. 4 电动机走纸电路它的作用是使记录纸按要求随时间 作“匀速”运动,使记录下来的心电波形的时间呈线性。包括 走纸传动装置(一个微型电动机直流电动机或交流电动 机)、控制电路和走纸机构部分。走纸速度一般为25mm/s 和 50 mm/s 两种。两种速度可以通过倒换快慢齿轮来实现。 国内一般按照记录器同步输出道数分为:单道、三道、六道和十二道心电图机等。[1]组成部分 1、输入部分 2、放大部分 3、控制电路 4、显示部分 5、记录部分 6、电源部分 重要参数 1、输入电阻 即前级放大器的输入电阻。输入电阻越大,因电极接触电阻不同而引起的波形失真越小,共模抑制比越高。一般要求大于2MΩ,国际上大于50MΩ。

Nikon光刻机对准系统功能原理

Nikon光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准,其标记的对准精度能达到±0.4μm (正态分布曲线的3σ值)。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次,而对准精度直接影响硅片的套刻精度,所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围,它在X方向和Y方向都只能扫描±44μm,所以硅片被传送到工件台上进行对准之前,需要在预对准工件台上先后完成两次对准,即机械预对准和光学预对准,以便满足精细对准的捕捉范围。注意:本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成:照明(对准光源)部分,双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示,在图中可以看出,对准系统中用了两个完全相同的光路,这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同,所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中,照明部分的主要部件就是激光发射器,它产生波长为633nm的线性极化光,避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光(硅片曝光用的光为紫外光)。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元,该激光将从双折射单元底部射出,通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上;而经过硅片表面的反射后由原路返回,第二次经过双折射单元,由双折射单元的顶部射出,再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内,硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后,将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象,Q-CELL光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号,由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示,标记分为四个象限,每个象限有8μm或8.8μm的对准条,其中有两个象限的对准条用来对准X向,另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限,当在Q-CELL检测器的每一个单元中,两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候,就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束,一束激光将通过调制器到达Q-CELL光电检测器,而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准,但是由于它们是同步的,彼此之间几乎看不到有何不同,所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是: 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动:该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号,其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理:在对准的时候,工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动,进行X轴向对准,当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时,将产生一个对准电信号,该信号以中断信号的形式输入计算机,X向对准的两个象限光栅都将产生其各自的中断信号。当产生中断信号的同时,计算机将记录下此时工件台的位置。在X向对准的时候,一个标记中两个象限的光栅同时参与,在每个象限中光栅条纹之间的间距是一个恒定的常数,但是这两个象限的光栅条纹间距并不相同,如图2所示。在对准扫描的过程中,每一个象限中的每一条光栅条纹都将会产生各自的一个中断信号,由于两个象限的光栅条纹间距不同,所以在扫描的时候只能有一个点将同时产生两个中断信号,而这个点就是在X

光刻机的技术原理和发展趋势

光刻机的技术原理和发展趋势 王平0930******* 摘要: 本文首先简要介绍了光刻技术的基本原理。现代科技瞬息万变,传统的光刻技术已经无法满足集成电路生产的要求。本文又介绍了提高光刻机性能的关键技术和下一代光刻技术的研究进展情况。 关键字:光刻;原理;提高性能;浸没式光刻;下一代光刻 引言: 光刻工艺直接决定了大规模集成电路的特征尺寸,是大规模集成电路制造的关键工艺。作为光刻工艺中最重要设备之一,光刻机一次次革命性的突破,使大模集成电路制造技术飞速向前发展。因此,了解光刻技术的基本原理,了解提高光刻机性能的关键技术以及了解下一代光刻技术的发展情况是十分重要的。本文就以上几点进行了简要的介绍。 光刻技术的基本原理: 光刻工艺通过曝光的方法将掩模上的图形转移到涂覆于硅片表面的光刻胶上,然后通过显影、刻蚀等工艺将图形转移到硅片上。 1、涂胶 要制备光刻图形,首先就得在芯片表面制备一层均匀的光刻胶。截止至2000年5月23日,已经申请的涂胶方面的美国专利就达118项。在涂胶之前,对芯片表面进行清洗和干燥是必不可少的。目前涂胶的主要方法有:甩胶、喷胶和气相沉积,但应用最广泛的还是甩胶。甩胶是利用芯片的高速旋转,将多余的胶甩出去,而在芯片上留下一层均匀的胶层,通常这种方法可以获得优于+2%的均匀性(边缘除外)。胶层的厚度由下式决定: 式中:F T为胶层厚度,ω为角速度,η为平衡时的粘度,ρ为胶的密度,t为时间。由该式可见,胶层厚度和转速、时间、胶的特性都有关系,此外旋转时产生的气流也会有一定的影响。甩胶的主要缺陷有:气泡、彗星(胶层上存在的一些颗粒)、条纹、边缘效应等,其中边缘效应对于小片和不规则片尤为明显。

光接收机的结构及原理(精)

第三部分光接收机的结构及原理 在有线电视 HFC 网络中, 光接收机通常位于光纤接点和有线电视的前端位置,它的主要功能是把光信号转变为 RF 信号,前面已经详细讲述了光探测器、光接收组件的原理及应用。光探测器是实现光 /电转换的关键部件,其质量的优劣决定了光接收机的性能指标与档次,光接收组件是光探测器与前置放大器的组合,在光接收机中, 无论是分离组件还是一体组件, 该部分的成本比重都比较大, 与光发射机的激光器一样, 不仅决定了光接收机的性能指标, 还将决定光接收机的价格。光接收的整机组成主要由光接收组件、功率放大模块及其附属功能电路组成, 除光接收组件外, 功率放大模块是光接收机的第二大核心元件。即使是采用相同的组件,由于采用不同档次、不同价位的放大模块组合, 整机也会有显著不同。有线电视技术发展到今天, 光接收机采用分离元件制作放大模块已不多见, 基本上全采用集成一体化组件结构。该结构模块大多属于厚膜集成电路, 它是用丝网印刷和烧结等工艺在同一陶瓷基片上制作无源网源, 并在其上组装分立的半导体芯片或单片集成电路、放大三极管管芯等, 另外再外加塑料密封,防止潮气、杂质的进入。 一、光接收机常用的放大模块介绍 能用于光接收机的模块有众多型号,排除品牌命名的差异,根据放大模块的增益划分有 14dB 、 18dB 、 20dB 、 22dB 、 27dB 等,用于单模块放大器的 34dB 的放大模块在光接收机中少有应用,当然也不排除低档光接收机应用的可能。根据放大模块具体放大电路结构的 不同划分:有推挽放大模块、功率倍增放大模块两种,而根据放大元件工艺的不同,放大模块又分为硅放大工艺、砷化镓工艺两种,在光接收机中采用的模块的命名, 一般以推挽和功率倍增为主要区分, 同时附加增益的差异与器件工艺, 如果不说是砷化镓工艺模块则所说的放大模块一般都是指硅工艺。 1.推挽放大模块的原理及结构。在实用的放大电路中,三极管的集电极并非总有电流流过, 根据集中极电流导通时间的长短, 通常把放大器分成甲类、乙类、丙类等。在输入信号的整个周期中都有电流流过集电极的放大器称为甲类放大器; 只

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