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膜厚测量仪使用说明书

膜厚测量仪使用说明书

设备名称制作部门工序名称

操作人数1-1开启探头1-2打开软件1-3选择模式1-4暗电流测试1-5参考波谱测量1-6开始测量1-7记录数据1-8关闭设备

日期签字签字会签制作审核批准作业要领书理由·条件

动作时间(S)辅助工具

动作总时间No.操作步骤修改日期修改内容修改内容将测量的数据记录在H/C膜厚点检表上(普通配光镜需要测量12个点,Q3PA配光镜需要测量50个点)

测量后将探头关闭,不要损坏探头,关闭程序将探头照在纯黑色物体上,当波谱稳定时点击“Dark Current”

将探头照在未喷漆的配光镜上,当波谱稳定时点击“Reference”,当“Flim

thickness”变黑时点击后,可以开始测量

将探头照在需要测量的配光镜上,读取数据

按设备下方按钮,指示灯变绿表示探头开启

打开电脑双击“FTM-Provis Lite 3.2”点击"Parameter",选择“Load

parameter setup..”,然后选择:“

2.C:\Program...TCL.1.para”(注意:测量Q3PA配光镜是选择第三个模式)图号工具注意事项版本号:0产品名称生产制造部

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