真空计(vacuum gauge)介绍

真空计(vacuum gauge)介绍

用于测量低于大气压的稀薄气体总压力的仪表，又称真空规。真空计的测量单位沿用压力测量单位，压力的国际单位为帕(Pa)，曾使用的单位还有托(Torr)和毫巴(mbar)等。

自1643年意大利物理学家E.托里拆利进行大气压力实验以来，先后出现许多种真空计。最早出现的是Ｕ形管真空计,它只能用来测量粗真空和低真空。1874年,H.G.麦克劳发明的压缩式真空计,解决了低真空和高真空的绝对压力的测量，但仍不能进行连续测量。1906年，M.皮喇尼发明电阻式真空计，解决了工业生产中的低真空测量问题。继而，O.E.巴克利于1916年又发明电离真空计,这在当时不仅解决了10-1～10-5帕的高真空测量,而且促进了油扩散泵等真空设备的发展和应用。1937年，F.M.潘宁发明冷阴极电离真空计，适用于有大量放气和经常暴露于大气的真空设备的测量，所以在真空冶金和机械工业中得到广泛应用。1950年，R.T.贝阿德和D.A.阿尔伯特发明BA式电离真空计,解决了10-8帕的超高真空测量问题,从而使真空测量获得了突破,并推动了超高真空技术的发展；而与此有关的表面物理、核能、航天和大型集成电路等科学技术也得到了迅速发展。1960年以来，相继研制成功的调制规、抑制规、弯注规、分离规和磁控式电离规等已能实现10-11帕左右的超高真空测量。

分类真空计可分为绝对真空计和相对真空计两大类。凡能从其本身测得的物理量（如液柱高度、工作液、比重等）直接计算出气体压力的称绝对真空计，这种真空计测量精度较高，主要用作基准量具。相对真空计主要利用气体在低压力下的某些物理特性（如热传导、电离、粘滞性和应变等）与压力的关系间接测量，其测量精度较低，而且测量结果还与被测气体种类和成分有关。因此相对真空计必须用绝对真空计标定和校准后方能用作真空测量。但它能直接读出被测压力，使用方便，在实际应用中占绝大多数。真空技术需要测量的压力范围为105～10-11帕，甚至更小,宽达16个数量级以上,尚无一种真空计能适用于从粗真空(105～102帕)、低真空（102～10-1帕）、高真空（10-1～10-5帕）、超高真空（小于10-5帕）到极高真空（小于10-10帕）的全范围测量,因而有多种真空计。最常用的有U形管真空计、压缩式真空计、电阻真空计和冷热阴极电离真空计。

U形管真空计用以测量粗真空和低真空的绝对真空计。在U字形的玻璃管中充以工作液（低蒸气压的油、汞）。管的一端被抽成真空（或直接通大气），另一端接被测真空系统。根据两边管中的压差所造成的液柱差可测出被测真空系统的压力。

压缩式真空计又称麦克劳真空计，是一种测量低真空和高真空的绝对真空计。这种真空计一般用硬质玻璃制成。A是一根与被测真空系统相连接的开管，D、B为内径相同的毛细管，V为球泡,其体积远大于毛细管。测量时，通过活塞2抽真空，然后用活塞1充气,使汞储存器C中的汞上升到覆没交叉口ΜΜ′，则D、V和B、A内的气体被隔成两个区域。再充气继续提高汞液面,D、V内的气体则进一步被压缩，压力增高。这样D、B间存在的压差可由汞柱高度差来表示。玻璃容器的体积和毛细管的高度是可精确测出的，所以用玻意耳定律即可算出被测压力。测量精度较高,在10-3帕时的精度小于或等于5％。

电阻真空计又称皮喇尼真空计，是一种测量低真空的相对真空计，主要由电阻式规管和测量线路两部分组成。电阻式规管是在管壳内封装着一条电阻温度系数较大的电阻丝，常用的为钨或铂丝。测量时，规管与被测真空系统相接，用一定的电压、电流加热电阻丝，其表面温度可用电阻值来反映，且与周围的气体分子的热传导有关，而气体分子的热传导又与压力有关。当被测压力降低时，由气体分子传走的热量减小，电阻丝表面温度就增高，电阻值增大；反之，电阻值减小。因此根据电阻值的大小就可测量出压力。

热阴极电离真空计通称电离真空计，主要用于高真空测量。它是由圆筒式热阴极电离规管和测量线路两部分组成。这种规管与三极电子管相似，有 3个电极：阴极（灯丝）、螺旋

电阻真空计

◆ZDZ-52T/1B2型电阻真空计 ◆ZDZ-52T/1B3型电阻真空计 技术参数: ●测量路数：1路 ●规管型号：ZJ-52T电阻规 ●测量范围：1.0×105Pa～ 1.0×10-1Pa ●控制范围：2.5×103Pa～ 5.0×10-1Pa ●控制路数：2路 ●控制精度：±1％ ●控制方式：继电器触点通断、负载能力AC220V/3A DC28V/10A（无感负载） 点动或区域控制/带掉电记忆 ●显示方式：五位LED数字显示，采用科学计数法，例：1.2E-1表示为1.2×10-1Pa ●模拟输出：（0～5）V；（4～20）mA ●通讯接口： RS-485 ●采样时间： 1S ●电源：AC 220V±10% 50Hz ●功耗：30W ●重量：约3.5Kg ●机箱尺寸：ZDZ-52T/1B2型 88×280×260 mm （高×宽×深） ZDZ-52T/1B3型 96×96×160mm （高×宽×深） ●使用环境温度：0℃～45℃湿度：≦85％

◆ZDZ-51A1型双电阻真空计 技术参数: ●测量路数：2路（电阻规2路） ●规管型号：ZJ-52T电阻规 ●测量范围：1.0×105Pa～ 1.0×10-1Pa ●控制范围：2.5×103Pa～ 5.0×10-1Pa ●控制路数：4路 ●控制精度：±1％ ●控制方式：继电器触点通断、负载能力AC220V/3A DC28V/10A（无感负载） 点动或区域控制/带掉电记忆 ●显示方式：五位LED数字显示，采用科学计数法 例：1.2E-1表示为1.2×10-1Pa ●通讯接口：RS-232/RS-485 ●采样时间： 1S ●电源： AC 220V±10% 50Hz ●功耗：30W ●重量：约6Kg ●机箱尺寸：88×480×280 mm （高×宽×深） ●使用环境温度：0℃～45℃湿度：≦85％

ZDZ T电阻真空计说明书

产品名称: 电阻真空计 产品型号： ZDZ-52T 使用说明书

Operation Panel 目录

1.简介--------------------------------------------------1 1.1 仪器简介----------------------------------------1 1.2 包装内容----------------------------------------1 2. 主要技术参数-----------------------------------------1 3. 仪器安装---------------------------------------------2 3.1仪器安装尺寸-------------------------------------------2 3.2仪器后面板图示及接线说明-----------------------------2 4. 仪器操作指南------------------------------------------------2 5. 故障诊断---------------------------------------------3 6. 注意事项 -------------------------------------- --4 1.1仪器简介 ZDZ-52T型电阻真空计,可测量1路规管信号，控制2路继电器触点输出及0～5V模拟量输出。在测量范围内,可自由设定点控或区域控制。适合用于粗、低真空的测控。 ZDZ-52T型电阻真空计采用高档微处理器作主机,压缩外围部件,以提高可靠性。本机电源采用高档模块电源，硬件采用模块化结构设计及EMI抑制、WATCHDOG电路,软件采用冗余、陷阱、数字滤波等抗干扰技术,进一步提高了仪器的抗干扰能力及整机性能,使仪器具有很高的可靠性,可在恶劣的工业环境下使用。 1.2 包装内容 ◆ZDZ-52电阻真空计一台 ◆ZDZ-52使用手册一本 ◆ZJ-52T电阻规管一支 ◆5芯电缆线(5M) 一根 ◆电源线(1.5M) 一根 2.主要技术参数 1测量路数 1路 2 测量范围 1.0×105—1.0×10-1 (Pa) 4 配接规管 ZJ-52T/KF16

热传导真空计的测量范围

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟 热传导真空计的测量范围 1、压力测量下限在低压力下(λ ≥r2)，气体热传导散失的热量Qg 与压力p 有关；而热丝引线热传导和热辐射散失的热量QL、Qr 与压力无直接关系(可能有一些次级效应)。当压力p 更低时(λ》r2)Qg 变小，并引起热丝温度变化，假如这种变化已无法从噪声中检测出来，则此压力即是测量 的下限。此时热丝的平衡温度T1 主要决定于QL 和Qr。通常的热传导真空计的测量下限为10-1～10-2 Pa。 为了扩展热传导真空计的测量下限，必须提高Qg 并设法降低QL 和 Qr。根据式(4-1)，选用细而长的热丝，或选用λL 小的热丝材料，均能降低QL。但选择热丝材料时，还必须考虑机械强度、电阻温度特性、热稳定性和化学稳定性等因素。 根据式(4-2)，为了降低Qr，应选用表面全辐射系数ε1 小的材料 作热丝，而管壁内表面的全辐射系数ε2 愈大愈好。同时还要综合考虑其他一些因素，如T1、T2、r1 及L 等对Qg 的影响。 选用适应系数α1 大的材料或通过对材料表面进行处理的方法提高 α1，均可提高Qg。但考虑到热丝的机械强度等因素，提高α1 是有限的。 增大L 既能提高Qg 又可降低QL；增大r2 或提高温差，虽然能增大Qg，但与降低QL 和Qr 有矛盾，须折中考虑。由于Qr 与温度呈四次方的关系，因此增大温度时，Qr 比Qg 增大得更快。为便于综合考虑，可假设 ε1 =ε2，则有 根据式(4-7)，选用足够低的T2 和不太高的T1 值，可提高Qg/Qr。将管

皮拉尼真空计原理详解

皮拉尼真空计原理 的原理，通过测量保持在不同温度的两固定元件表面间热能的传递来 利用电阻丝随温度的变化而电阻随之变化的原理来测量的，而 皮拉尼真空计,也称电阻式真空规。其工作原理是：真空度不同， 是温度的函数，所以不同的真空度就引起了电阻率的不同，则电阻就不同，电流在电阻丝上的压降就不同，根据电压的变化就能换算出空 低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。热传导真空计主要被应用于中低真空领域。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。 原理 Pirani皮拉尼真空计构造如图所示。金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发

热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金 线的热量会被夺走。单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立 Ｑ = Ｉ2Ｒ = Ｑg + Ｑr + Ｑs (1) Q是单位时间细线放出的热量,R是细线的电阻,I是细线的电流。 气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为 Ｑg = αΛπｄａ(Ｔ－Ｔ0)ｐ (2) 如图所示,T和T0分别为细线和金属圆筒的温度,P为气体压力,a是细线长度。剩下的Qs和Qr可以分别表示如下 Ｑs = Ｓκ(Ｔ－Ｔ0)/Ｌ (3)

Ｑr = πｄａσε(Ｔ4－Ｔ04) (4) (3)是电极的热传导,其中S是细线的断面积,κ是固体的传导率,Ｌ是电极的长度。 (4)式代表热辐射,σ和ε分别被称为常数和固体辐射率。如果保持T和T0一定,则(3)和(4)式为常数。如果用I02R表示一定量的固体热传导和热辐射,则式1可以表示为 Ｉ2Ｒ = Ａｐ＋ I02Ｒ (5) Ａ= αΛπｄａ(Ｔ－Ｔ0) (6) I0是压力为0的时候细线的电流, 是弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。Ａ式是不依存压力的定数如果已知细线的电阻R,电流I0及定数A,则可以通过(5)式求得压力P。

电阻真空计测量线路的三种模式

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟 电阻真空计测量线路的三种模式 实用的电阻真空计测量线路常采用惠氏电桥或文氏电桥。根据测量热 丝电阻变化的方法不同，可分为三种模式： (1)定电压法：保持电桥两端电压不变，观察失平衡电流与压力的关系。 (2)定电流法：保持热丝电流(或电桥电流)不变，观察失平衡电压与压力 的关系。 (3)定电阻法(即定温度法)：在任何压力下都用改变电桥电压的方法，保 持电桥于平衡状态。电桥电压与压力的关系即为校准曲线。在此方法中，热丝 电阻及其温度基本为定值，具有热辐射及边杆导热均为恒定的优点。 在以上三种模式中，常用的是定电压法和定温度法。 定压型电阻真空计的测量线路原理如当规管内的压力变化时，由于被气 体传导走的热量不同于开始时的平衡状态，因而热丝的温度发生变化，引起其 电阻值改变，电桥失去平衡。压力的变化由指示仪表CB 读出，CB 指示的电流值与压力的关系，通过校准曲线给出。规管热丝用半径r1 =0.01mm 的钨丝绕制成圆柱螺旋形，其室温下电阻Rw =200Ω。由于各种气体的导热系数不同，因此，对不同种类气体的校准曲线是不同的。 定压型测量线路的优点是结构简单；不足之处是电桥电压是固定的，故 在压力高时由于气体导热快，热丝温度降低，导致规管灵敏度下降，测量高于100Pa 的压力就甚为困难。实际上，定电压型测量线路的测量上限并未达到规管的理论值(即λ≈r1 所对应的压力)。真空技术网(chvacuum/)认为为了保证高压力时有较高的灵敏度，必须使热丝此时处于足够高的温度，然而在 压力变低时它的温度将增高到有可能使热丝氧化或烧毁的程度。

复合真空计的原理与使用方法

复合真空计的原理与使用方法 发布: 2009-1-11 05:07 | 作者: ningbopeter | 来源: 万客化工在线 真空计是测量真空系统中气体压强的仪器,种类很多, 这里介绍的复合 真空计是常见的一种, 复合真空计是由温差电偶真空计与热阴极电离真空计组合而成。温差电偶真空计的原理 温差电偶真空规管由玻璃制成, 通过小管8 和真空系统相接, 如图2 所示, 在规管内的两根引线上装有热丝3,另外两根引线上焊着一对温差电偶4, 温差电偶的另一端与热丝在A 点焊接。 由于在低压下, 气体的热传导系数与压强成正比,所以在通过热丝的电流( 90～150 mA)一定的条件下, 热丝的温度随着规管内真空度的提高而升高, 温差电偶电动势也就随之而增大。因此, 通过测量温差电偶电动势, 就可确定出被测系统的真空度, 温差电偶真空计就是根据这个原理 制成的。温差电偶真空计的电离真空计的测量范围1～5×10-2 Pa。 热阴极电离真空计的原理 电离真空规管就是一只三极管, 如图3 所示, 通过B 管与真空系统相接, 使用时, 在灯丝电路中通以电流5 mA, 灯丝受热后便发射电子, 由于栅极为正电压, 使电子加速, 中途与气体分子相碰, 气体的密度越大, 碰撞机会越大, 产生的正离子也越多。另外, 由于板极电压为负, 便

吸引正离子在板极电路中形成板极电流Ip , 气体分子密度越大( 即压强越大) , 板极电流也越大, 反之就小。所以, 通过测量板极电流便可以确定气体的压强, 热阴极电离真空计就是根据这个原理制成的。热阴极电离真空计是测量极高真空的仪器,测量范围为1×10-2～1×10-5 Pa。注意: 一旦测量完结, 立刻关闭电离真空规管灯丝, 这样可延长规管使用寿命。 复合真空计的使用 复合真空计由上述两种真空计组合而成, 现在常用的型号有WXK 型和FZH 型, 使用方法基本相同。现就WZK-1A 型介绍如下。如图4 所示是WXK-1A 型的板面图, K1 为电流总开关, 开关K3、K4 及电位器W5 和电表CB2 属于温差电偶真空计部分, 其余均属于热阴极电离真空计部分,温差电偶真空规管和电离真空规管已经焊接在真空系统上, 测量时, 各用一根电缆线与复合真空计相接, 在使用前或停止使用时, 应该使面板上的所有开关都处于关闭状态, 如图4 所示。

常用真空计的测量范围

常用真空计的测量范围及其性能 李苹平 (合肥华瑞真空科技有限公司) 介绍几种测量范围为10-8～105Pa的常用真空计，其应用十分广泛，性能较好，价格较低。 热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计（可测量超高、高真空）、电容薄膜真空计、热电偶真空计、电阻真空计及压缩式真空计、压敏（压力敏感元件）电阻真空计。本文仅介绍应用广泛性能较好且价格较低的几种真空计，测量范围参见图1。 1 电离真空计 电离真空计的离子流与压强关系为线性关系（直接测量参数与所需测量参数之间为线性关系，可作为直观仪表），规管（测量元件）测量上限由规管非线性不超过20％所对应的压强确定，测量下限由规管本底压强示值的10倍确定[2]。（在非线性不超过20%时，可近似为线性测量） 电离计总的测量范围为10-8～102Pa，一般说来，每一种结构的规管只能覆盖一部分。（每一种结构的规管产生的离子流与压强在一定范围内成线性相关）BA计收集极做成针状，它的X光本底电流小，因而下限可达10-8Pa，是一种超高真空计。它的上限为10-1Pa，灯丝是钨丝。 DL-2型真空规管在上世纪50年代在我国生产，它是高真空规管，测量范围是lO-5～10-1Pa，钨灯丝。钨灯丝在高压强易氧化而烧断，规管在10-1Pa工作寿命约1个星期。因而上限不能超过10-1Pa。70年代研制了DL-5型中真空规管[3]。它的测量范围是10-4～10 Pa。该规管在国内首先用敷氧化钇铱丝作灯丝，可以在高压强工作。高压强规管的几何尺寸要小，以减小电子在行程中与气体分子碰撞。后来有人做出_DL-8型规管，它的几何尺寸比DL-5更小，上限可达100 Pa。热阴极电离计在压强大于10 Pa时使用不太合适（测量元件在高压强下易氧化而烧断）。在高压强时发射电流应减小。 上世纪80年代，用敷氧化钇铱丝代替BA计中的钨丝做出DL-7型BA

真空计常见类型

真空计常见类型 真空计简介 真空计，又叫真空表，是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。真空计种类繁多，为了研究和使用方便，合理分类是很重要的。角度不同，分类方法也不同，在这里笔者介绍两种常用的分类法。 1、按真空计刻度方法分类 （1）绝对真空计：直接读取气体压力，其压力响应（刻度）可通过自身几何尺寸计算出来或由测力计确定。绝对真空计对所有气体都是准确的且与气体种类无关。属于绝对真空计的有U 型管压力计、压缩式真空计和热辐射真空计等。 （2）相对真空计：由一些与气体压力有函数关系的量来确定压力，不能通过简单的计算进行刻度，必须进行校准才能刻度。相对真空计一般由作为传感器的真空计规管和用于控制、指示的测量器组成，读数与气体种类有关。相对真空计的种类很多，如热传导真空计和电离真空计等。 2、按真空计测量原理分类 按真空计测量原理分类，可以分成直接测量真空计和间接测量真空计。直接测量真空计系直接测量单位面积上的力，属于这类真空计的有： （1）静态液位真空计。利用U型管两端液面差来测量压力。 （2）弹性元件真空计。利用与真空相连的容器表面上受到压力的作用而产生弹性变形来测量压力值的大小。 压力为10-1 Pa时，作用在1cm2表面上的力只有10-5 N，显然测量这样小的力是困难的，但可根据低压下与气体压力有关的物理量的变化来间接测量压力的变化。属于间接测量真空计的有： （1）压缩式真空计。其原理是在 U 型管的基础上再应用波义耳定律，即将一定量待测压力的气体，经过等温压缩使之压力增大，以便用 U 型管真空计测量，然后用体积和压力的关系计算被测压力。（2）热传导真空计。利用低压下气体热传导与压力有关这一原理制成。常用的有电阻真空计和热偶真空计。 （3）热辐射真空计。利用低压下气体热辐射与压力有关的原理。 （4）电离真空计。利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离，产生的离子流随压力变化的原理。如热如热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放射性电离真空计等。 （5）放电管指示器。利用气体放电情况和放电颜色与压力有关的性质判定真空度，一般仅能作为定性测量。 （6）粘滞真空计。利用低压下气体与容器壁的动量交换即外摩擦原理。如振膜式真空计和磁悬浮转子真空计。 （7）场致显微仪。以吸附和解吸时间与压力的关系计算压力。 （8）分压力真空计。利用质谱技术进行混合气体分压力测量。常用的有四极质谱计、回旋质谱计和射频质谱计等。

皮拉尼真空计

皮拉尼真空计 英文名称：Pirani vacuum gauge 定义：利用电阻丝的阻值随温度变化的原理来测量压强的仪器。 所属学科：机械工程（一级学科）；实验室仪器和装置（二级学科）；真空获得仪器与装置-真空仪器与装置（三级学科） 本内容由全国科学技术名词审定委员会审定公布 也称电阻式真空规。其工作原理是：真空度不同，单位体积内的空气分子数就不同，对于正在发热的电阻丝带走热量的能力（散热能力）就不同，电阻丝温度就不同，因为电阻丝的电阻率是温度的函数，所以不同的真空度就引起了电阻率的不同，则电阻就不同，电流在电阻丝上的压降就不同，根据电压的变化就能换算出空气压强，也就是测量真空度。实际的皮拉尼真空计一般做成四臂电桥，并有用于温度补偿的电阻丝与其串联。 用于测量低于大气压的稀薄气体总压力的仪表，又称真空规。真空计的测量单位沿用压力测量单位，压力的国际单位为帕(Pa)，曾使用的单位还有托(Torr)和毫巴(mbar)等。 热阴极电离真空计 (1)电子在电场中飞行时从电场获得能量，若与气体分子碰撞，将使气体分子以一定几率发生电离，产生正离子和次级电子。其电离几率与电子能量有关。电子在飞行路途中产生的正离子数，正比于气体密度n,在一定温度下正比于气体的压力p。因此，可根据离子电流的大小指示真空度。这就是电离真空计工作原理。 由灯丝加热提供电子源的电离真空计称为热阴极电离真空计，其型式繁多，各具不同特点和适用不同的压力测量范围。 热阴极电离真空计由测量规管(或规头)和电气测量电路(真空计控制单元和指示单元)组成。规管功能是把非电量的气体压力转换成电量——离子电流 (2)当气体导电时，电子与气体分子的碰撞频率跟气体分子的密度有关。密度大，碰撞的频率就高，产生的离子也越多，气体中的电流就越强。又由于气体分子的密度与气体的压强是直接相关的，因此，测定了气体中电流的大小，即可确定气体的压强。根据上述原理即可制成热阴极电离真空计。最简单的热阴极电离真空计就是一只三极管，F是灯丝电路，通电流后使灯丝受热向外发射电子。在栅极上加一约为150～200伏特的正电压，这一正电压可吸引和加速由灯丝发射出来的电子。被加速的电子穿过栅极后，因板极B的电压对栅极为低的负电压，因此电子又被板极推回，再加速向栅极返回。这样，电子在往返的运动中就与其中的气体分子碰撞，使分子电离，变成正离子和二次电子，而正离子将被板极所吸引，在板极电路中形成电流。 (3) ,热电子向处在正电位的加速极飞去,一部分被加速极吸收,另一部分穿出加速极栅间空隙继续向离子收集极飞去,由于收集极是负电位,电子在靠近收极集时受到电场的推斥而返回,在加速极栅间作来回振荡,直到被加速极吸收为止,电子在飞行路程中不断跟管内的气体

真空计使用说明新版

1、复合真空计使用说明 1.1 主要性能： 1.1.1 本复合真空计由一个热偶计和一个宽量程的复合真空计构成． 热偶采用单一的一支ZJ—54D 热偶规管进行测量。 复合真空计用一支ZJ－54D 热偶规和一支ZJ－10 电离规进行测量。 1.1.2 测量范围： 热偶计：103Pa～10-1Pa 复合计：103Pa～10-4Pa 。其中电离规3.5Pa～10-4Pa。 1.1.3 本复合真空计配有RS232 接口，可与带相应接口的计算机联机。测量数据由计算机进行管理。 1.1.4 供电：本复合真空计采用单相220V 交流供电。 电压范围：220V AC±10%； 消耗功率：≤30W 1.1.5 使用和储存环境：温度：5℃～35℃ 湿度：0～85 % 严禁在高温潮湿和有腐蚀性气体的环境下工作和储存。 严禁在工作时猛烈碰撞。 1.1.6 机箱尺寸：宽×高×深＝480×119×320 重量：约7Kg 1.1.7 出厂时规管引线均为5m。最长建议不要长于10m。 1.1.8 RS232 接口建议采用屏蔽电缆。屏蔽线与机壳相连，并接地。 1.1.9 电离规的启动方式：由面板上的自动、手动开关控制。 自动方式下，热偶规测量值<3.5Pa时接通，>4.0Pa 时关闭。 手动方式下，由面板上的二个ON和OFF按纽控制。 当真空度大于10Pa时，请不要打开电离规。 2.操作说明： 本复合真空计是采用单片机技术的智能化仪器。 打开电源后，真空计初始化显示“HZ HZ HZ HZ”初始化完后,热偶计直接进入工作状态。没有接入规管或规管暴露在大气中时，都是显示103Pa。 复合计：分手动和自动启动方式，在面板上，设有电离规状态指示灯。电离规关闭或没接或故障时，ZJ－10 指示灯亮。 在手动方式下，在没有接通电离规之前，若热偶规正常，则指示热偶规测量的真空值。接通电离规后，显示的是电离规测量的真空度。电离规测量值≥5.0Pa 时，自动关闭电离规灯丝。 在自动方式下。当热偶规测量值在103～3.5Pa 范围内时，显示的是热偶规的测量值。≤3.5Pa 时，显示的是电离规的测量值。 当热偶规测量值＜3.5Pa 时，自动启动电离规。 当热偶规或电离规测量值≥4.0Pa 时，自动关闭电离规。 若没有接热偶规或热偶规故障，窗口指示“－、－0”。 热偶规测量值＞5Pa而电离规不能关闭时，窗口指示“－、－1”。 注意：仪器电源没切断前，不能更换规管！ 电离规在灯丝关闭状态下，仍有高压！ 3.RS232 口通讯协议： 本复合真空计提供一个可与带有RS232 通讯接口的计算机相接的标准

真空薄膜介绍

真空薄膜介紹 輔仁大學物理系 凌國基老師

真空薄膜介紹 一、「真空」是什麼 在一個空間內，如果其氣壓低於一個大氣壓的氣體狀態，即稱為真空。任何一個罐 子，我們抽一些氣體出來，裡面的氣壓比外面低，這時候我們就稱之為「真空」，因此，真 空是很容易得到的。人類至今尚未在宇宙間找到絕對真空的地方，科學家也沒有造出一 個壓力等於零的空間。 1. 真空的單位 1 托耳（torr ）＝1/ 760 大氣壓力＝1 毫米水銀柱壓力 1 毫巴（millibar ）＝3/ 4 托耳 1 大氣壓＝1013 毫巴 2. 平均自由徑（mean free path ） 氣體分子在運動時，各個分子在碰撞到其他分子前，所行走之距離的平均值 稱為氣體的平均自由徑（mean free path ），通常以符號「λ」表示之，單位為公分。 在常溫 20℃時（溫度越高，分子運動速度越快） λ 6.45 ×10 / P 公分 λ P ：單位為豪巴 壓力 平均自由徑 1×10 torr 5cm 1×10 torr 50cm 1×10 torr 5m 1×10 torr 50m 1×10 torr 500m 1×10 torr 5km 1×10 torr 50km 1×10 -10 torr 500km 表一-2.1、氣壓單位為 torr 之各種壓力範圍之平均自由徑 從表一-2.1 可知，1×10 torr 的平均自由徑為 500 公里，那為什麼需要用到 1×10 - 10 torr ，500 公里呢？當我們做的是加速器碰撞的時候，如果裡面的分子走 了 1 公里就會撞到其他分子，那永遠達不到我們所要的速度；所以加速器就需要幾 十公里的平均自由徑，也就是說加速器內部需要抽到 1×10 torr 這麼低的真空度。 例如同步輻射儀所需的工作氣壓約為 1×10 torr ，其平均自由徑為 5 萬公里，也 就是大概跑了 5 萬公里才有一半的機 率會產生碰撞。 1 -3 -3 -3 -3 -4 -5 -6 -7 -8 -9 -10 -10 -12 → 1×10 torr 約為「濺鍍」的工作氣壓。

真空计的基础知识

真空计的基础知识 真空是一种不存在任何物质的空间状态，是一种物理现象。在“真空”中，声音因为没有介质而无法传递，但电磁波的传递却不受真空的影响。事实上，在真空技术里，真空系针对大气而言，一特定空间内部之部份物质被排出，使其压强小于一个标准大气压，则我们通称此空间为真空或真空状态。1真空 常用帕斯卡（Pascal）或托尔（Torr）做为压力的单位。目前在自然环境里，只有外太空堪称最接近真空的空间。真空计（Vacuum Gauge），又称规，是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。 真空计是按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜 电容规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。 按真空度刻度方法分类 （1）绝对真空计：直接读取气体压力，其压力响应（刻度）可通过自 身几何尺寸计算出来或由测力确定。绝对真空计对所有气体都是准确的且与气体种类无关，属于绝对真空计的有U型镑压力计、压缩式真空计和热辐射真空计等。 （2）相对真空计：由一些气体压力有函数关系的量来确定压力，不能 通过简单的计算进刻度，必须进行校准才能刻度。相对真空计一般由作为传感器的真空计规管（或规头）和用于控制、指示的测量器组成。读数与气体种类有关。相对真空计的种类很多，如热传导真空计和电离真空计等。

真空计说明书

ZDR—II—LED 微机型数显电阻真空计 使用说明书 OPERATION.INSTRUCTION

一、简介 ZDR—II—LED型数显双路电阻真空计，是目前国内的新型真空计测量仪器。它采用微机控制、数字显示，具有测量精度高，控制准确方便，显示直观等特点。 本仪器采用当今世界流行的薄膜面板及能触摸按钮，造型美观大方。 二、适用范围 ZDR—II—LED型数显双路电阻真空计配ZJ-52T电阻规管，其测量范围为1*105～1*10-1Pa，适用于要求测量范围宽，反映灵敏的粗、低真空的双路测量，并带有双路定值控制功能。 三、技术指标 1、ZJ-52T规管电阻值：85Ω 2、真空度测量范围：1*105～1*10-1Pa 3、定值控制设定范围：1*105～1*10-1Pa 4、定值控制负数：AC220V/3A（或DC28V/10A） 5、放大器满度误差：≤4％±1个字 6、工作电源：220V±10% 50HZ±5% 7、功耗：约30W 8、使用环境温度：0～45℃ 9、空气相对湿度：＜85% 10、仪器外型规格：480*88*280或240*88*320mm 11、重量：3KG 四、工作原理 电阻计的工作原理是基于在低压强时，利用气体分子的热传导，在高压时，利用气体分子的对流传热特性，使得电阻规的电阻随所测系统的压强变化而变化。电阻规的电阻与压强的变化是一种非线性关系，鉴次本机采用微机对此非线性进行误差修正，从而提高了测量精度。 由压强变化所引起的电阻规电阻的变化，由测量桥路输出电压信号，由放大器放大，经A/D转换换入微机进行非线性处理过算，最后送显示器显示。 其工作原理框图如下

真空计原理及测量范围

真空计原理与测量范围 真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态，是一种物理现象。在真空技术里，真空系针对大气而言，一般指特定空间内部之部份物质被排出，使其压力小于一个标准大气压，则我们通称此空间为真空或真空状态。真空常用帕斯卡（Pascal）托尔（Torr）毫巴（mbar）等做为压力的单位。 真空的分类： 前级真空：1*10-3Torr~1000Torr 高真空：1*10-9Torr~10-3Torr 超高真空：10-9Torr以下 真空计（Vacuum Gauge），也称真空表、真空规管，是测量真空度或低气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类， 分别是利用力学性能、利用气体动力学效应利用带电粒子效应的真空计。

利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和电容薄膜规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规、热传导规； 利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。市场上真空计的形式： 真空规管+真空测量计（真空计控制器）：需配套使用。 真空变送器（真空计）：本体集成电路部分，可输出各类型号。 两种形式客户可根据实际应用进行选择，真空规和控制器的形式，主要应用在一些恶劣的现场环境或者早期的集成设备，由规管、线缆、控制器三部分组成，前期成本略高，典型优点是后期维护更换真空规便宜；随着工业自动化的发展，真空变送器（真空计）已经成为真空测量的主要产品，可根据现场能处理的信号（数字/模拟）选择相应通讯的产品。 真空计测量范围：

微机型数显复合真空计使用说明书

目录 1、安全说明 (1) 2、技术参数 (2) 3、工作原理 (3) 4、性能概述 (4) 5、使用概述 (5) 6、规管性能概述 (7) 7、规管外形及安装 (10) 8、真空计与规管连线 (12) 9、真空计开机及显示说明 (13) 10、真空计使用方法 (13) 10.1电阻2单元使用方法 (13) 10.2电阻1与电离复合单元使用方法 (15) 11、真空计去气 (17) *12、控制功能及设定方法 (17) *13、控制输出 (18) *14、扩展功能 (20) 机箱规格 (22) 15、附录规管接口 (24) 常见问题 (27) *号内容属选配功能说明，仅选配了此功能相应配置有效

1、安全说明 ▲为确保该真空计的正常功能，使其具有较高的准确度、稳定性和较长的使用寿命，请根据本说明书中规定的允许值和应用条件进行操作和使用。 ·操作、维护和维修该真空计时，请遵守电气设备的安全规范。′ ·避免大气压下开启电离规灯丝，这将烧毁电离规灯丝。 ·避免真空系统或管道有真空时，强制拆卸规管。 ·避免用于“正压”的真空系统安装普通规管，应安装承受“正压”的规管。 ·避免真空系统中腐蚀性气体腐蚀电阻规传感丝及电离规各电极，以延长规管寿命。 ·采用适当措施防止误操作或不允许的损坏。 ·如未按本说明书操作，我们将不承担任何责任；有关该真空计及其附件的保证条款也将无效。该说明书使用符号说明： ▲注意：表示必须遵循的信息，如未遵循可能会导致对人身的伤害和对该真空计的损坏。 ●表示重要的附加信息和技巧或建议。 炫辰钛金保留对产品外观及设计改进和改变的权利，而无需事先通知，产品及配件以实物为准。2、技术参数 2.1 电阻单元技术参数： ·配用规管型号:ZJ-52T电阻规 ·电阻规传感丝冷态电阻值(86.5Ω±1.7Ω) ·真空度测量范围（对干燥空气或氮气） 1.0×105～ 2.5×103可测范围。 2.5×103～5.0×10-1不大于显示值的±30% 5.0×10-1～1.0×10-1可测范围。 ·有效控制范围2.5×103～5.0×10-1Pa。 2.2 电离单元技术参数: ·测量范围:5～1Pa可测范围 1～5×10-5 Pa不大于显示值的±50% 5×10-5～1×10-5Pa可测范围

微型真空计介绍

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2015/9/10 コーデンシ株式会社 営業推進 京都GroupⅡ

目录 1. 制品概要 2. 检出原理 3. 特长 4. 设想用途/应用范例 5. 样品形状
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1．制品概要 Micro Vacuum Gauge
我们公司运用半导体CMOS制造工程和MEMS加工 技术，开发出超小型的真空压检出chip。 从来的Pirani(皮拉尼)真空计的代替是当然的， 只有超小型才能作为新的应用的创造的概念。
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Feature
。
?超小型 (chip size 0.8mm×0.8mm) ?0.01～1000Pa的测定范围=Pirani(皮拉尼)真空计领 域
Can PKG type (cap 窓無し)
?完全密封PKG 的信赖性评价 ?真空装置的局部压力测定 ?从来的真空计的置换
Application
heater
thermopile
Chip SEM 写真
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2-1．检出原理
微型真空计模式图
加热器配线 Gsup Hot Contact Cold Contact 熱電対 加热器 Gsup Cavity Gsup 薄膜支持体 Gsup V Si基板 (heatsink) Gair：空气的热电导 Grad：热放射
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Gsup ：配线材料的热电导
①一旦向加热器投入电力，在上记的3个通路里 热量分散达到热平衡的状态。 ②薄膜支持体的Hot Contact和基板的Cold Contact的温度差是由热电偶的输出功率决定 的。 ?③Gsup,Grad是固定的，为了Gair空气分子的数 量=压力成比例，从热电偶输出功率换算压力。 热电偶输出功率 大 ? 真空度 高 热电偶输出功率 小 ? 真空度 低
Si Gair+Grad
Cavity 熱電対
Si基板 (heatsink)
和一般的热电偶真空计一样 ?用MEMS加工薄膜支持体，形成Cavity，如果用 隔热构造，能改善检出感度。
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德国莱宝真空计原理

德国莱宝真空计原理 点击次数：619 发布时间：2010-5-27 真空计 vacuum gauge 用于测量低于大气压的稀薄气体总压力的仪表，又称真空规。真空计的测量单位沿用压力测量单位，压力的国际单位为帕(Pa)，曾使用的单位还有托(Torr)和毫巴(mbar)等。 简史 自1643年意大利物理学家E.托里拆利进行大气压力实验以来，先后出现许多种真空计。最早出现的是Ｕ形管真空计,它只能用来测量粗真空和低真空。1874年,H.G.麦克劳发明的压缩式真空计,解决了低真空和高真空的绝对压力的测量，但仍不能进行连续测量。1906年，M.皮喇尼发明电阻式真空计，解决了工业生产中的低真空测量问题。继而，O.E.巴克利于1916年又发明电离真空计,这在当时不仅解决了10-1～10-5帕的高真空测量,而且促进了油扩散泵等真空设备的发展和应用。1937年，F.M.潘宁发明冷阴极电离真空计，适用于有大量放气和经常暴露于大气的真空设备的测量，所以在真空冶金和机械工业中得到广泛应用。1950年，R.T.贝阿德和D.A.阿尔伯特发明BA式电离真空计,解决了10-8帕的超高真空测量问题,从而使真空测量获得了突破,并推动了超高真空技术的发展；而与此有关的表面物理、核能、航天和大型集成电路等科学技术也得到了迅速发展。1960年以来，相继研制成功的调制规、抑制规、弯注规、分离规和磁控式电离规等已能实现10-11帕左右的超高真空测量。 详细资清登陆我司网站查询: https://www.sodocs.net/doc/bd3305721.html,/ 分类

真空计可分为绝对真空计和相对真空计两大类。凡能从其本身测得的物理量(如液柱高度、工作液、比重等)直接计算出气体压力的称绝对真空计，这种真空计测量精度较高，主要用作基准量具。相对真空计主要利用气体在低压力下的某些物理特性(如热传导、电离、粘滞性和应变等)与压力的关系间接测量，其测量精度较低，而且测量结果还与被测气体种类和成分有关。因此相对真空计必须用绝对真空计标定和校准后方能用作真空测量。但它能直接读出被测压力，使用方便，在实际应用中占绝大多数。真空技术需要测量的压力范围为105～10-11帕，甚至更小,宽达16个数量级以上,尚无一种真空计能适用于从粗真空(105～102帕)、低真空(102～10-1帕)、高真空(10-1～10-5帕)、超高真空(小于10-5帕)到极高真空(小于10-10帕)的全范围测量,因而有多种真空计。最常用的有U形管真空计、压缩式真空计、电阻真空计和冷热阴极电离真空计。 U形管真空计用以测量粗真空和低真空的绝对真空计(图1)。在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸气压的油、汞)。管的一端被抽成真空(或直接通大气)，另一端接被测真空系统。根据两边管中的压差所造成的液柱差可测出被测真空系统的压力。压缩式真空计又称麦克劳真空计，是一种测量低真空和高真空的绝对真空计。这种真空计一般用硬质玻璃制成(图2a)。A是一根与被测真空系统相连接的开管，D、B为内径相同的毛细管，V为球泡,其体积远大于毛细管。测量时，通过活塞2抽真空，然后用活塞1充气,使汞储存器C中的汞上升到覆没交叉口ΜΜ′，则D、V和B、A内的气体被隔成两个区域。再充气继续提高汞液面,D、V内的气体则进一步被压缩，压力增高。这样D、B间存在的压差可由汞柱高度差来表示(图2b)。玻璃容器的体积和毛细管的高度是可精确测出的，所以用玻意耳定律即可算出被测压力。测量精度较高,在10-3帕时的精度小于或等于5％。电阻真空计又称皮喇尼真空计，是一种测量低真空的相对真空计，主要由电阻式规管和测量线路两部分组成。电阻式规管(图3)是在管壳内封装着一条电阻温度系数较大的电阻丝，常用的为钨或铂丝。测量时，规管与被测真空系统相接，用一定的电压、电流加热电阻丝，其表面温度可用电阻值来反映，且与周围的气体分子的热传导有关，而气体分子的热传导又与压力有关。当被测压力降低时，由气体分子传走的热量减小，电阻丝表面温度就增高，电阻值增大；反之，电阻值减小。因此根据电阻值的大小就可测量出压力。热阴极电离真空计通称电离真空计，主要用于高真空测量。它是由圆筒式热阴极电离规管(图4)和测量线路两部分组成。这种规管与三极电子管相似，有 3个电极：阴极(灯丝)、螺旋形栅极(加速极)和圆筒形收集极。测量时，规管与被测真空系统相连。通电后，热阴极发射电子，在飞向带正电位的加速极的路程中与管内空间的低压气体分子碰撞,使气体分子电离。电离所产生的电子和离子,分别在加速极和收集极(带负电位)上形成电子流Ie和离子流Ii。在被测气体压力低于10-1帕的状况下,当电子流Ie恒定时，离子流Ii与被测真空系统中的气体分子密度(亦即压力p)成正比。因此,离子流的大小就可作为压力的度量。这种真空计的测量范围为10-1～10-5帕。此外,还有测量上限能达102帕以上的高压力电离真空计。

真空计(vacuum gauge)介绍

真空计(vacuum gauge)介绍 用于测量低于大气压的稀薄气体总压力的仪表，又称真空规。真空计的测量单位沿用压力测量单位，压力的国际单位为帕(Pa)，曾使用的单位还有托(Torr)和毫巴(mbar)等。 自1643年意大利物理学家E.托里拆利进行大气压力实验以来，先后出现许多种真空计。最早出现的是Ｕ形管真空计,它只能用来测量粗真空和低真空。1874年,H.G.麦克劳发明的压缩式真空计,解决了低真空和高真空的绝对压力的测量，但仍不能进行连续测量。1906年，M.皮喇尼发明电阻式真空计，解决了工业生产中的低真空测量问题。继而，O.E.巴克利于1916年又发明电离真空计,这在当时不仅解决了10-1～10-5帕的高真空测量,而且促进了油扩散泵等真空设备的发展和应用。1937年，F.M.潘宁发明冷阴极电离真空计，适用于有大量放气和经常暴露于大气的真空设备的测量，所以在真空冶金和机械工业中得到广泛应用。1950年，R.T.贝阿德和D.A.阿尔伯特发明BA式电离真空计,解决了10-8帕的超高真空测量问题,从而使真空测量获得了突破,并推动了超高真空技术的发展；而与此有关的表面物理、核能、航天和大型集成电路等科学技术也得到了迅速发展。1960年以来，相继研制成功的调制规、抑制规、弯注规、分离规和磁控式电离规等已能实现10-11帕左右的超高真空测量。 分类真空计可分为绝对真空计和相对真空计两大类。凡能从其本身测得的物理量（如液柱高度、工作液、比重等）直接计算出气体压力的称绝对真空计，这种真空计测量精度较高，主要用作基准量具。相对真空计主要利用气体在低压力下的某些物理特性（如热传导、电离、粘滞性和应变等）与压力的关系间接测量，其测量精度较低，而且测量结果还与被测气体种类和成分有关。因此相对真空计必须用绝对真空计标定和校准后方能用作真空测量。但它能直接读出被测压力，使用方便，在实际应用中占绝大多数。真空技术需要测量的压力范围为105～10-11帕，甚至更小,宽达16个数量级以上,尚无一种真空计能适用于从粗真空(105～102帕)、低真空（102～10-1帕）、高真空（10-1～10-5帕）、超高真空（小于10-5帕）到极高真空（小于10-10帕）的全范围测量,因而有多种真空计。最常用的有U形管真空计、压缩式真空计、电阻真空计和冷热阴极电离真空计。 U形管真空计用以测量粗真空和低真空的绝对真空计。在U字形的玻璃管中充以工作液（低蒸气压的油、汞）。管的一端被抽成真空（或直接通大气），另一端接被测真空系统。根据两边管中的压差所造成的液柱差可测出被测真空系统的压力。 压缩式真空计又称麦克劳真空计，是一种测量低真空和高真空的绝对真空计。这种真空计一般用硬质玻璃制成。A是一根与被测真空系统相连接的开管，D、B为内径相同的毛细管，V为球泡,其体积远大于毛细管。测量时，通过活塞2抽真空，然后用活塞1充气,使汞储存器C中的汞上升到覆没交叉口ΜΜ′，则D、V和B、A内的气体被隔成两个区域。再充气继续提高汞液面,D、V内的气体则进一步被压缩，压力增高。这样D、B间存在的压差可由汞柱高度差来表示。玻璃容器的体积和毛细管的高度是可精确测出的，所以用玻意耳定律即可算出被测压力。测量精度较高,在10-3帕时的精度小于或等于5％。 电阻真空计又称皮喇尼真空计，是一种测量低真空的相对真空计，主要由电阻式规管和测量线路两部分组成。电阻式规管是在管壳内封装着一条电阻温度系数较大的电阻丝，常用的为钨或铂丝。测量时，规管与被测真空系统相接，用一定的电压、电流加热电阻丝，其表面温度可用电阻值来反映，且与周围的气体分子的热传导有关，而气体分子的热传导又与压力有关。当被测压力降低时，由气体分子传走的热量减小，电阻丝表面温度就增高，电阻值增大；反之，电阻值减小。因此根据电阻值的大小就可测量出压力。 热阴极电离真空计通称电离真空计，主要用于高真空测量。它是由圆筒式热阴极电离规管和测量线路两部分组成。这种规管与三极电子管相似，有 3个电极：阴极（灯丝）、螺旋

真空计

皮拉尼真空计 皮拉尼真空计是全压真空计，利用了气体热传导性与压力有关的原理，通过测量保持在不同温度的两固定元件表面间热能的传递来测量压力的一种真空计。

皮拉尼复合真空计 BPG400/ BPG402-S 产品描述 HPG400 高压强热电离皮拉尼真空计 INFICON皮拉尼复合真空计 产品型号：BPG400/ BPG402-S INFICON生产的Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计, BPG402-S,两种真空计集成在一个小型的单元内,测量范围从5x10-10 毫巴至大气压(3.8x10-10乇至大气压). 复合的技术降低了安装,设置和集成的复杂性.在一个小 特点： 极宽的测量范围从5x10-10毫巴至大气压(3.8x10-10乇至大气压) 极好的重复性,过程压强范围10-8… 10-2毫巴均为5% 皮拉尼连锁保护灯丝,防止过早烧毁 双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝 可选图形显示和现场总线接口 自动高真空皮拉尼调整,减少操作人员的干预 容易更换具有在机校准的传感元件,保证高度重复性 应用： 半导体工艺和输送室中的压强测量 工业镀膜 一般真空测量和控制,从低至超高真空范围 INFICON B-A皮拉尼电容薄膜真空计 产品型号：BCG450 INFICON公司生产的BCG450型B-A皮拉尼电容薄膜真空计将三种不同的规管综合在一个小型经济的规管中，测量过程压强和基本压强从5×10-10至1500毫巴(3.75×10-10至1125乇)。BCG450用于取代三种传感器（热离子，对流增强型皮拉尼和真空开关），从而节省成本和宝贵的空间。 特点： BCG450节省成本和设备空间，降低真空测量的安装与设置的复杂性