EBSD背散射电子衍射原理

现代分析测试技术_04扫描电子显微分析与电子探针综合练习

第四章扫描电子显微分析与电子探针 （红色的为选做，有下划线的为重点名词或术语或概念） 1．名词、术语、概念：二次电子像，背散射电子像，吸收电子像（吸收电流像），X射线像，背散射电子衍射等。 2．扫描电子显微镜（简称“扫描电镜”，英文缩写“SEM”）一般由（）、（）、（）、（）、（）和（）等系统组成。 3．电子探针X射线显微分析（简称“电子探针”，英文缩写“EPMA”）检测特征X射线的谱仪有二种类型，即检测X射线波长和强度的谱仪叫（），检测X射线能量和强度的谱仪叫（）。 4．电子探针主要有三种工作方式，分别是（）分析、（）分析和（）分析。5．扫描电镜是利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号调制成像，类似电视摄影逐点成像方式。这各说法（）。 A．正确；B．错误 6．扫描电镜中图像的放大是由扫描系统实现的。这各说法（）。 A．正确；B．错误 7．所谓的环境扫描电镜就是指能在大气环境下工作的扫描电镜。这各说法（）。 A．正确；B．错误 8．扫描电镜的突出特点是所有的样品都能分析。这各说法（）。 A．正确；B．错误 9．通常所谓的扫描电子显微镜的分辨率是指二次电子像的分辨率。这各说法（）。 A．正确；B．错误 10．背散射电子像与二次电子像比较，其分辨率高，景深大。这各说法（）。 A．正确；B．错误 11．二次电子像的衬度主要来源于原子序数衬度。这各说法（）。 A．正确；B．错误 12．表面平整样品的背散射电子像的衬度主要来源于原子序数衬度。这各说法（）。 A．正确；B．错误 13．电子探针可以分析元素周期表上的所有元素。这各说法（）。 A．正确；B．错误 14．电子探针是一种微区成分分析方法。这各说法（）。 A．正确；B．错误 15．二次电子像的衬度主要来源于（）。 A．形貌衬度；B．原子序数衬度；C．质厚衬度；D．衍射衬度 16．表面平整样品的背散射电子像的衬度主要来源于（）。 A．形貌衬度；B．原子序数衬度；C．质厚衬度；D．衍射衬度 17．电子探针是一种（）。 A．微区元素成分分析方法；B．物相分析方法；C．结构分析方法；D．形貌分析方法18．所谓扫描电镜的分辨率是指（）像的分辨率。 A．背散射电子；B．吸收电子；C．特征X射线；D．二次电子 19．在扫描电镜中，下列二次电子像衬度最亮的区域是（）。 A．和电子束垂直的表面；B．和电子束成30o的表面；C．和电子束成45o的表面； D．和电子束成60o的表面。 20．简述扫描电镜的结构、原理、特点。

电子背散射衍射及其应用

2011年春季学期研究生课程考核 （读书报告、研究报告） 考核科目:电子显微镜分析技能训练学生所在院（系）:材料学院 学生所在学科:材料加工工程 学生姓名:王浩 学号:10S009104 学生类别:硕士 考核结果阅卷人

1.前言 电子背散射衍射(EBSD)的历史应追朔至1928年Kikuchi在透射电镜中观察到的条带状衍射花样，即菊池线，不过这种菊池线是透射电子形成的。直到1954年，Alam，Blackman 和Pashley同样利用透射电镜，用胶片记录了解理LiF，KI，NaCl，PbS2晶体的大角度菊池花样，这是第一次严格意义上的电子背散射衍射。1973年，Venables和Harland在扫描电镜上用电子背散射衍射花样对材料进行晶体学研究，开辟了EBSD在材料科学方面的应用。20世纪80年代后期，Dingley使用荧光屏和电视相机接收与采集电子背散射衍射花样。20世纪90年代，实现了花样的自动标定。随着数码相机、计算机和软件的快速发展，现在的商品EBSD实现了从花样的接收、采集到标定完全自动化。每秒能获得多于100帧的菊池花样及标定结果，广泛用于地质、微电子学、材料科学等方面。 2.EBSD的工作原理 2.1 电子背散射衍射(EBSD)花样 在SEM中，入射于样品上的电子束与样品作用产生几种不同效应，其中之一就是在每一个晶体或晶粒内规则排列的晶格面上产生衍射。从晶面上产生的衍射组成“衍射花样”，可被着成是一张晶体中晶面间的角度关系图。图1是在单晶硅上获得的花样。 图1 单晶硅的EBSD花样 衍射花样包含晶体对称性的信息，而且晶面和晶带轴间的夹角与晶系种类和晶体的晶格参数相对应，这些数据可用于EBSD相鉴定。对于已知相结构的样品，则衍射花样与微区晶体相对于宏观样品的取向直接对应。 2.2 EBSD系统组成 系统设备的基木要求是一台扫描电子显微镜和一套EBSD系统。EBSD采集的硬件部分通常包括一台高灵敏度的CCD摄像仪和一套用来花样平均化和扣除背底的图象处理系统。图2是EBSD系统的构成及工作原理。 图2 EBSD系统的构成及工作原理

南开大学材料学院结构分析课后题答案(XRD、中子衍射、电子衍射)

结构分析唐老师部分作业汇总 第一次作业 1、请写出晶体的定义。试说明什么是单晶体？什么是多晶体？ 定义：质点(原子、离子或分子)在空间按一定规律周期性重复排列构成的固体物质。基本为一个空间点阵所贯穿的整块固体称单晶体，简称单晶；由许多小单晶按不同取向聚集形成的固体称多晶。 2、晶格与点阵是何关系？晶体结构与点阵、结构基元是何关系？原子参数与阵点坐标是何关系？ 晶体是由原子、离子或分子在空间按一定规律周期性重复地排列所构成的固体物质，将其中周期性排列的重复单元抽象成在空间以同样周期性排列的相同几何点，这些点所构成的阵列称为点阵(lattice)，或空间点阵、空间格子。沿三个不同的方向，通过点阵中的点阵点可以作许多平行的直线族和平行的晶面族，使点阵形成三维网格。这些将点阵点全部包括在其中的网格称为晶格。带有原子、离子、分子或其集团的点阵就是晶格。 晶体结构= 点阵+ 结构基元 对于点阵点坐标和原子参数，它们对于3个坐标轴的方向是相同的，但是点阵点坐标的度量单位是点阵周期，而原子参数的度量单位是晶胞参数。 3、晶体的晶胞类型共分为哪几种？空间格子(点阵)可分为几类？每一类晶系各有多少种空间点阵格子形式？请分别写出。 晶胞是描述晶体微观结构的基本单元，有素晶胞和复晶胞之分。 如果点阵点都处于平行六面体的顶点，每个平行六面体只有一个点阵点，此空间格子称为素格子，以P表示；如果体心还有点阵点，则此空间格子称为体心格子，以I表示；如果所有平面格子中心有点阵点，则称为面心格子，以F表示；如果仅一对相对的平面格子中心有点阵点，则此空间格子称为底心格子，视相对面位置分别以A, B或C表示。 晶体分为7个晶系(立方、六方、四方、三方、正交、单斜和三斜),依据特征对称元素和正当点阵单位的划分规则,晶体的点阵分为14种空间点阵型式：简立

EBSD的工作原理、结构、操作及分析

EBSD的工作原理、结构、操作及分析 ? 1928 – Kikuchi – 最早报告了电子背散射衍射花样EBSDP ? 1972 – Venables et. al. – 在SEM中得到了EBSDP ? 1982 – Dingley – 计算机辅助指标化?1991 –Wright et. al. –全自动EBSD系统?1993 – Michael et. al. – 相鉴定Phase ID?2000s –TSL –化学辅助相鉴定 Chemically assisted phase differentiation 1.电子背散射衍射分析技术(EBSD/EBSP)20世纪90年代以来，装配在SEM上的电子背散射花样(Electron Back-scattering Patterns，简称EBSP)晶体微区取向和晶体结构的分析技术取得了较大的发展，并已在材料微观组织结构及微织构表征中广泛应用。该技术也被称为电子背散射衍射(Electron Backscattered Diffraction，简称EBSD)或取向成像显 微技术(Orientation Imaging Microscopy，简称OIM) 等。EBSD的主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射（给出结晶学的数据）。EBSD改变了以往织构分析的方法，并形成了 全新的科学领域，称为“显微织构”—将显微组织和晶体学分析相结合。与“显微织构”密切联系的是应用EBSD进行相分析、获得界面（晶界）参数和检测塑性应变。目前，EBSD技术已经能够实现全自动采集微区取向信息，样品制备较简单，数据采集速度快(能达到约36万点/小时甚至更快)，分辨率高(空间分辨率和角分辨率能分别达到0.1m和0.5m)，为快速高效的定量统计研究材料的微观组织结构和织构奠定了基础，因此已成为材料研究中一种有效的分析手段。

常用分析方法简写

26位国产荧幕新“胸器” 爆乳走红 ACF absorption correction factor 吸收校正因子 A/D analog to digital (converter) ADF annular dark field 环形暗场 AEM analytical electron microscope/microscopy 分析电子显微镜/学 AES Auger electron spectrometer/spectroscopy 俄歇电子光谱仪/学 AFF aberration-free focus 无像差焦点 ALCHEMI atom location by channeling-enhanced microanalysis APB anti-phase domain boundary 反相畴界 ATW atmospheric thin window BF bright field 明场 BFP back focal plane 后焦面 BSE backscattered electron 背散射电子 BSED backscattered-electron diffraction 背散射电子衍射 BZB Brillouin-zone boundary C(1,2,etc..)condenser (l, 2, etc.) lens 第1，2...聚光镜 CB coherent bremsstrahlung CBED convergent-beam electron diffraction 会聚束电子衍射 CBIM convergent-beam imaging 会聚束成像 CCD charge-coupled device 电荷耦合装置 CCF cross-correlation function 互相关函数 CCM charge-collection microscopy CDF centered dark field 中心暗场像 CF coherent Fennel/Foucault CFEG cold field-emission gun 冷场发射枪 CL cathodeluminescence 阴极发光 CRT cathode-ray tube 阴极射线管 CS crystallographic shear 晶体学切变 CSL coincident-site lattice DF dark field 暗场 DOS density of states 态密度 DP diffraction pattern 衍射花样 DQE detection of quantum efficiency 量子探测效率 DSTEM dedicated scanning transmission electron microscope 专业扫描透射电子显微镜 DTSA desktop spectrum analyzer EBIC electron beam-induced current/conductivity EELS electron energy-loss spectrometry 电子能量损失谱 EFI energy-filtered imaging 能量过滤成像 ELNES energy-loss near-edge structure 能量损失近边结构 ELP energy-loss program (Gatan) EMMA electron microscope microanalyzer