ITO导电玻璃
ITO导电玻璃
氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。
ITO作为纳米铟锡金属氧化物，具有很好的导电性和透明性，可以切断对人体有害的电子辐射，紫外线及远红外线。因此，喷涂在玻璃，塑料及电子显示屏上后，在增强导电性和透明性的同时切断对人体有害的电子辐射及紫外、红外。
ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡（俗称ITO）膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃，还会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此，最终的液晶显示器都会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况。
在溅镀ITO层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运动方式下，所得到的ITO层会有不同的特性。一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些，更容易出现“麻点”现象；有些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带，ITO层在蚀刻时，更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带；另一些厂家的玻璃ITO 层则会出现微晶沟缝。
产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。ITO导电膜的主要参数有：表面电阻、表面电阻的均匀性、透光率、热稳定性、加热收缩率、加热卷曲等。其中光透过率主要与ITO膜所用的基底材料和ITO膜的表面电阻有关。在基底材料相同的情况下，ITO 膜的表面电阻越小，ITO膜层的厚度越大，光透过率相应的会有一定程度的减小。
以下是两种不同的ITO导电膜的参数：
高阻抗ITO导电膜（PET-ITO）
高阻抗ITO导电薄膜PET-ITO主要应用于移动通讯领域的触摸屏生产。
产品参数：
面电阻：300～500 Ω/□
面电阻均匀性：MD≤±3%，TD≤±6%
ITO薄膜厚度：0.188±10%
线性度（MD）：≤1.5%
全光线透过率：≥86%
表面硬度（铅笔硬度）：≥3H
热稳定性：(R-R0)/R: ±20%
热收缩率：MD≤1.0%，TD≤0.8%
加热卷曲：≤10mm
低阻抗柔性ITO导电膜（PET-ITO）
适用于柔性电致变色器件、柔性薄膜太阳能电池、柔性EL发光器件的制备和生产。
薄膜厚度：0.175±10 mm
雾度：<2%
宽度：406/360±2 mm
粘附：100/100
卷曲：≤10 mm
透过率：≥ 80%
表面电阻：90±15 Ω/□
面电阻均匀性：<7%
热收缩：MD≤1.3，TD≤1.0
热稳定性：
高温：80oC,120hr ≤1.3
低温：-40oC,120hr ≤1.3
热循环：-30oC—80oC ≤1.3
热/湿度： 60oC, 90% RH,120hr ≤1.3
ITO导电层的特性
ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下，氧化铟透过率高，氧化锡导电能力强，液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于ITO具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称“霉变”，因此在存放时要防潮。
ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。ITO层由很多细小的晶粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶界，电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高，电阻也增大。
ITO导电玻璃的分类
ITO导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在150~500欧姆）、普通玻璃（电阻在60~150欧姆）、低电阻玻璃（电阻小于60欧姆）。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃一般用于STN液晶显示器和透明线路板。ITO导电玻璃按尺寸分，有14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格；按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格，厚度在0.5mm以下的主要用于STN液晶显示器产品。ITO导电玻璃按平整度分，分为抛光玻璃和普通玻璃。
影响ITO玻璃性能的主要参数
长度、宽度、厚度及允差（±0.20）
垂直度（≤0.10%）
翘曲度（厚度0.7mm以上≤0.10%，厚度0.55mm以下≤0.15%）
微观波纹度
倒边C倒边（0.05mm≤宽度≤0.40mm）R倒边（0.20mm≤宽度≤1.00mm，曲率半径≤50mm）倒角（浮法方向2.0mmX5.0mm；其余1.5mmx1.5mm）SIO2阻挡层厚度（350埃±50埃，550nm透过率≥90%）ITO层光学、电学、蚀刻性能（蚀刻液：600C 37%HCL:H2O:67%HNO3=50:50:3）
化学稳定性
耐碱为浸入600C、浓度为10%氢氧化钠溶液中5分钟后，ITO层方块电阻变化值不超过10%。耐酸为浸入250C、浓度为6%盐酸溶液中5分钟后，ITO层方块电阻变化值不超过10%。耐溶剂为在250C、丙酮、无水乙醇或100份去离子水加3分EC101配制成的清洗液中5分钟后，ITO层方块电阻变化值不超过10%。附着力：在胶带贴附在膜层表面并迅速撕下，膜层无损伤；或连撕三次后，ITO层
方块电阻变化值不超过10%。热稳定性：在3000C的空气中，加热30分钟后，ITO导电膜方块电阻值应不大于原方块电阻的300%。
外观质量
裂纹：不允许。粘附物：包括尘粒、玻璃碎等凸起物，TN型ITO导电玻璃镀膜面不允许有不可去除的高度超过0.1mm的粘附物；STN型ITO导电玻璃镀膜面不允许有不可去除的高度超过0.05mm的粘附物。沾污：不可有不溶于水或一般清洗剂无法除去的沾污。崩边：长X宽≤2.0mmx1.0mm；深度不超过玻璃基片厚度的50%；总长度≤总边长的5%。划痕
玻璃体点状缺陷：包括气泡、夹杂物、表面凹坑、异色点等。点状缺陷的直径定义为：d=(缺陷长+缺陷宽)/2。
玻璃体线状缺陷(宽度W)：包括玻筋、光学变形。膜层点状缺陷：SIO2阻挡层和ITO导电层的点状缺陷包括针孔、空洞、颗粒等，点状缺陷的直径定义为：d=(缺陷长+缺陷宽)/2。
本文来自中华液晶网 https://www.sodocs.net/doc/ec3387987.html,
ITO导电电极
ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡（俗称ITO）膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃，还会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此，最终的液晶显示器都会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况。 在溅镀ITO层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运动方式下，所得到的ITO层会有不同的特性。一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些，更容易出现“麻点”现象；有些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带，ITO层在蚀刻时，更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带；另一些厂家的玻璃ITO层则会出现微晶沟缝。 ITO导电层的特性： ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下，氧化铟透过率高，氧化锡导电能力强，液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于ITO具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称“霉变”，因此在存放时要防潮。 ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。 ITO层由很多细小的晶粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶界，电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高，电阻也增大。 ITO导电玻璃的分类： ITO导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在150~500奥姆）、普通玻璃（电阻在60~150奥姆）、低电阻玻璃（电阻小于60奥姆）。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃一般用于STN液晶显示器和透明线路板。 ITO导电玻璃按尺寸分，有14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格；按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格，厚度在0.5mm以下的主要用于STN液晶显示器产品。 ITO导电玻璃按平整度分，分为抛光玻璃和普通玻璃。 影响ITO玻璃性能的主要参数： 长度、宽度、厚度及允差（±0.20） 垂直度（≤0.10%） 翘曲度（厚度0.7mm以上≤0.10%，厚度0.55mm以下≤0.15%） 微观波纹度 倒边 C倒边（0.05mm≤宽度≤0.40mm） R倒边（0.20mm≤宽度≤1.00mm，曲率半径≤50mm）
ITO导电玻璃检验标准
1.0范围 本标准准适用于正星光电科技有限公司生产的ITO 产品。 2.0规范性引用文件 2.1 JIS B0601—1994表面微观波纹度测量过程和方法的标准。 2.2 GB2828—2003计数抽样检验程序[第一部分 按照接收质量限（AQL ）检索的逐批检验抽样计划]。 3.0玻璃基片的规格 3.1 长度及宽度的允许偏差、厚度允许偏差表 序号 检验项目 标准范围 测量方法 1 长度/宽度 ±0.20mm 数显游标卡尺 2 厚度 1.10mm ±0.1mm 0.70mm ±0.05mm 0. 55mm ±0.05mm 0.4/0.33mm ±0.05mm 千分尺 3 垂直度 ≤0.10% 宽座角尺和塞尺 3.2垂直度 玻璃基片的垂直度的公差等级a/L ≤0.1%（见图1，a 为公差带，L 为被测玻璃基片的相应边长）。 图1 玻璃基片的垂直度 3.3 弯曲度（h/L) 图2 玻璃基片的弯曲度，不允许S 形弯曲 3.4微观波纹度（玻璃的浮法锡面） 微观表面波纹度的数值Rt 的最大值应符合表2要求 序号 厚度 玻璃类型 弯曲度 微观波纹度 1 1.10mm 非强化 ≤0.10% ≤0.15um/20mm 强化 ≤0.20% 2 0.70mm 非强化 ≤0.15% ≤0.20um/20mm 强化 ≤0.25% 3 0.55mm 非强化 ≤0.15% ≤0.25um/20mm 强化 ≤0.30% 4 0.4/033mm 非强化 ≤0.15% ≤0.30um/20mm 强化 ≤0.30% 3.5磨边倒角: R 型边 编号 项目 标准要求 检验方法 1 C 型倒边 0.05mm ≤W ≤0.4mm 10倍放大镜 2 R 型倒边 宽度:0.1mm ≤W ≤1.0 曲半径: R ≤50 mm 10倍放大镜 3 标识角 b=2.0±1.0mm 10倍放大镜 b d*d 浮法方向 切角磨边示意图 a 0.3*45° C 型边
ITO导电玻璃检验标准
精心整理 1.0范围 本标准准适用于正星光电科技有限公司生产的ITO 产品。 2.0规范性引用文件 2.1JISB0601—1994表面微观波纹度测量过程和方法的标准。 2.2GB2828—2003计数抽样检验程序[第一部分按照接收质量限（AQL ）检索的逐批检验抽样计划]。 3.0玻璃基片的规格 3.1长度及宽度的允许偏差、厚度允许偏差表 序号 检验项目 标准范围 测量方法 1 长度/宽度 ±0.20mm 数显游标卡尺 2 厚度 1.10mm ±0.1mm 0.70mm ±0.05mm 0.55mm ±0.05mm 0.4/0.33mm ±0.05mm 千分尺 3 垂直度 ≤0.10% 宽座角尺和塞尺 3.2垂直度 玻璃基片的垂直度的公差等级a/L ≤0.1%（见图1，a 为公差带，L 为被测玻璃基片的相应边长）。 图1玻璃基片的垂直度 3.3弯曲度（h/L) 图2玻璃基片的弯曲度，不允许S 形弯曲 3.4微观波纹度（玻璃的浮法锡面） 微观表面波纹度的数值Rt 的最大值应符合表2要求 序号 厚度 玻璃类型 弯曲度 微观波纹度 1 1.10mm 非强化 ≤0.10% ≤0.15um/20mm 强化 ≤0.20% 2 0.70mm 非强化 ≤0.15% ≤0.20um/20mm 强化 ≤0.25% 3 0.55mm 非强化 ≤0.15% ≤0.25um/20mm 强化 ≤0.30% 4 0.4/033mm 非强化 ≤0.15% ≤0.30um/20mm 强化 ≤0.30% 3.5磨边倒角: R 型边 b 向 切角磨边示意图 a
编号项目标准要求检验方法 1 C型倒边0.05mm≤W≤0.4mm 10倍放大镜 2 R型倒边宽度:0.1mm≤W≤1.0曲半径:R≤50mm 10倍放大镜 3 标识角b=2.0±1.0mm c=5.0±1.0mm 10倍放大镜 4 相同角A=1.5±0.5mm10倍放大镜 5 崩边长≤1mm,宽≤0.3mm 深度≤1/2基片厚度 10倍放大镜 6 破裂不允许目测 7 边、角未磨不允许目测 3.6表面质量 包括内部气泡、夹杂物、表面凹坑、异色点等。 点状缺陷的直径d定义为：d=（L+W）/2，见图5。划伤缺陷的定义为：L3mm,W0.03-0.07mm见图6：图5点状缺陷的尺寸图6划伤图形的尺寸 3.6.1双面ITO产品表面质量检验标准 No 缺陷分类A品标准范围B品测量方法 1 内部气泡、杂质 点、针眼、污点、 锡斑、亮点、表 面凹凸点、颗粒 d=(W+L)/2 d≤0.05mm不计 0.05
ITO导电玻璃检验标准
名称ITO导电玻璃检验标准制定日期2014-09-4 生效日期2014-09-4 1.0范围 本标准准适用于正星光电科技有限公司生产的ITO产品。 2.0规范性引用文件 2.1 JIS B0601—1994表面微观波纹度测量过程和方法的标准。 2.2 GB2828—2003计数抽样检验程序[第一部分按照接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划]。 3.0玻璃基片的规格 3.1 长度及宽度的允许偏差、厚度允许偏差表 序号检验项目标准范围测量方法 1 长度/宽度±0.20mm 数显游标卡尺 2 厚度1.10mm±0.1mm 0.70mm±0.05mm 0. 55mm±0.05mm 0.4/0.33mm±0.05mm 千分尺 3 垂直度≤0.10% 宽座角尺和塞尺 3.2垂直度 玻璃基片的垂直度的公差等级a/L≤0.1%（见图1，a为公差带，L为被测玻璃基片的相应边长）。 图1 玻璃基片的垂直度 3.3 弯曲度（h/L) 图2 玻璃基片的弯曲度，不允许S形弯曲 3.4微观波纹度（玻璃的浮法锡面）
名称 ITO 导电玻璃检验标准 制定日期 2014-09-4 生效日期 2014-09-4 微观表面波纹度的数值Rt 的最大值应符合表2要求 序号 厚度 玻璃类型 弯曲度 微观波纹度 1 1.10mm 非强化 ≤0.10% ≤0.15um/20mm 强化 ≤0.20% 2 0.70mm 非强化 ≤0.15% ≤0.20um/20mm 强化 ≤0.25% 3 0.55mm 非强化 ≤0.15% ≤0.25um/20mm 强化 ≤0.30% 4 0.4/033mm 非强化 ≤0.15% ≤0.30um/20mm 强化 ≤0.30% 3.5磨边倒角: R 型边 编号 项目 标准要求 检验方法 1 C 型倒边 0.05mm ≤W ≤0.4mm 10倍放大镜 2 R 型倒边 宽度:0.1mm ≤W ≤1.0 曲半径: R ≤50 mm 10倍放大镜 3 标识角 b=2.0±1.0mm c=5.0±1.0mm 10倍放大镜 4 相同角 A=1.5±0.5mm 10倍放大镜 5 崩边 长≤1mm,宽≤0.3mm 深度≤1/2基片厚度 10倍放大镜 6 破裂 不允许 目测 7 边、角未磨 不允许 目测 3.6表面质量 b d*d 浮法方向 切角磨边示意图 a 0.3*45° C 型边
ITO导电玻璃入门知识
I T O导电玻璃入门知识 SANY GROUP system office room 【SANYUA16H-
I T O导电玻璃入门知识ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡（俗称ITO）膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃，还会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此，最终的液晶显示器都会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况。 在溅镀ITO层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运动方式下，所得到的ITO层会有不同的特性。一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些，更容易出现“麻点”现象；有些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带，ITO层在蚀刻时，更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带；另一些厂家的玻璃ITO层则会出现微晶沟缝。 ITO导电层的特性： ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下，氧化铟透过率高，氧化锡导电能力强，液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于ITO具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称“霉变”，因此在存放时要防潮。
ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。 ITO层由很多细小的晶粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶界，电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高，电阻也增大。 ITO导电玻璃的分类： ITO导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在150~500欧姆）、普通玻璃（电阻在60~150欧姆）、低电阻玻璃（电阻小于60欧姆）。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃一般用于STN液晶显示器和透明线路板。 ITO导电玻璃按尺寸分，有14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格；按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格，厚度在0.5mm 以下的主要用于STN液晶显示器产品。 ITO导电玻璃按平整度分，分为抛光玻璃和普通玻璃。 影响ITO玻璃性能的主要参数： 长度、宽度、厚度及允差（±0.20） 垂直度（≤0.10%） 翘曲度（厚度0.7mm以上≤0.10%，厚度0.55mm以下≤0.15%）
导电玻璃
NSG玻璃：FTO导电玻璃，厚度为2.2mm，透光率大于90%，电阻为15欧，大小为200mm*150mm,也可以根据用户要求订做。导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。 Characteristics of NSG TCO TCO Tvis (%) Haze (%) Sheet Resistance(ohms/sq) High Transmission Type(for tandem) 80 to 82 11 to 16 11 to 14 High Transmission Type(for a-Si) 80 to 82 8 to 13 8 to 11 Normal TCO(for a-Si) 79 to 81 8 to 12 8 to 11 TCO镀膜玻璃的特性及种类 在太阳能电池中，晶体硅片类电池的电极是焊接在硅片表面的导线，前盖板玻璃仅需达到高透光率就可以了。薄膜太阳能电池是在玻璃表面的导电薄膜上镀制p-i-n半导体膜，再镀制背电极。 透明导电氧化物的镀膜原料和工艺很多，通过科学研究进行不断的筛选，目前主要有以下三种TCO玻璃与光伏电池的性能要求相匹配。 ITO镀膜玻璃是一种非常成熟的产品，具有透过率高，膜层牢固，导电性好等特点，初期曾应用于光伏电池的前电极。但随着光吸收性能要求的提高，TCO玻璃必须具备提高光散射的能力，而ITO镀膜很难做到这一点，并且激光刻蚀性能也较差。铟为稀有元素，在自然界中贮存量少，价格较高。ITO应用于太阳能电池时在等离子体中不够稳定，因此目前ITO镀膜已非光伏电池主流的电极玻璃。 SnO2镀膜也简称FTO，目前主要是用于生产建筑用Low-E玻璃。其导电性能比ITO略差，但具有成本相对较低，激光刻蚀容易，光学性能适宜等优点。通过对普通Low-E的生产技术进行升级改进，制造出了导电性比普通Low-E好，并且带有雾度的产品。利用这一技术生产的TCO玻璃已经成为薄膜光伏电池的主流产品。 氧化锌基薄膜的研究进展迅速，材料性能已可与ITO相比拟，结构为六方纤锌矿型。其中铝掺杂的氧化锌薄膜研究较为广泛，它的突出优势是原料易得，制造成本低廉，无毒，易于实现掺杂，且在等离子体中稳定性好。预计会很快成为新型的光伏TCO产品。目前主要存在的问题是工业化大面积镀膜时的技术问题。 光伏电池对TCO镀膜玻璃的性能要求 1.光谱透过率为了能够充分地利用太阳光，TCO镀膜玻璃一定要保持相对较高的透过率。目前，产量最多的薄膜电池是双结非晶硅电池，并且已经开始向非晶/微晶复合电池转化。因此，非晶/微晶复合叠层能够吸收利用更多的太阳光，提高转换效率，即将成为薄膜电池的主流产品。 2.导电性能TCO导电薄膜的导电原理是在原本导电能力很弱的本征半导体中掺入微量的其他元素，使半导体的导电性能发生显著变化。这些微量元素被称为杂质，掺杂后的半导体称为杂质半导体。氧化铟锡（ITO）透明导电玻璃就是将锡元素掺入到氧化铟中，提高导电率，它的导电性能在目前是最好的，最低电阻率达10-5Ωcm量级。 3.雾度为了增加薄膜电池半导体层吸收光的能力，光伏用TCO玻璃需要提高对透射光的散射能力，这一能力用雾度（Haze）来表示。雾度即为透明或半透明材料的内部或表面由于光漫射造成的云雾状或混浊的外观。以漫射的光通量与透过材料的光通量之比的百分率表示。 一般情况下，普通镀膜玻璃要求膜层表面越光滑越好，雾度越小越好，但光伏用TCO玻璃则要求有一定的光散射能力。目前，雾度控制比较好的商业化TCO玻璃是AFG的PV-TCO玻璃，雾度值一般为
ito导电玻璃简介以及基础知识.doc
TTO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化锢锡（俗称ITO）膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃，还会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离了向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。液晶显不器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此, 最终的液晶显示器都会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况。 在溅镀ITO层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运动方式下，所得到的ITO层会有不同的特性。一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些，更容易出现“麻点”现象; 右?些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带，ITO层在蚀刻时，更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带；另一些厂家的玻璃ITO层则会出现微晶沟缝。 ITO导电层的特性： ITO膜层的主要成份是氧化锢锡。在厚度只有儿千埃的情况下，氧化锢透过率高，氧化锡导电能力强，液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于ITO具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称“霉变”, 因此在存放时要防潮。 ITO层在活性正价离了溶液中易产生离了置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离了溶液中。 ITO层由很多细小的品粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶界，电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高, 电阻也增大。 ITO导电玻璃的分类: ITO导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在150?500奥姆）、普通玻璃（电阻在60?150 奥姆）、低电阻玻璃（电阻小于60奥姆）。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用; 普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃?般用于STN液晶显示器和透明线路板。
导电玻璃(ITO)行业分析
目前，国内 ITO导电玻璃生产线约 50条，产品以 TN/STN为主，主要生产厂商包括长信科技、南玻 A、莱宝高科、蚌埠华益等。 图表、国内主要 ITO导电玻璃厂商产能情况 （1）LCD-ITO导电玻璃 长信科技是国内规模最大的 LCD用 ITO导电玻璃生产企业，产销量均居同行业之首。公司所生产的 LCD-ITO导电玻璃产品主要以 TN、STN为主。国际上生产LCD-ITO导电玻璃的企业主要有韩国三星康宁、日本 Geomatic公司，但其主要面向本国市场。国内批量生产 LCD-ITO导电玻璃的企业主要有本公司、南玻 A、莱宝高科和蚌埠华益。 2009长信科技 ITO导电玻璃产量（TN、STN）占市场总量的 20%以上，居 ITO 行业第一位。其中 STN玻璃产品产量位居南玻、莱宝之后位于第三位，占 STN市场份额的 14%左右，因此有较大的提升空间。 全球 ITO导电玻璃生产主要集中在中国大陆。而国内生产厂商中，莱宝高科ITO导电玻璃主要集中在彩色滤光片 CF的生产，募集资金主要投向 TFT空盒项目。南玻 A主要精力放在新能源和工程玻璃（ low-e玻璃）方面。因此，发行人目前的竞争对手主要是国内厂家，基本情况如下表：
STN导电膜玻璃产品是发行人重点发展的产品之一，尽管目前已初步打开市场，但与行业内优势企业南玻 A、莱宝高科等相比，发行人在产能规模、市场占有率以及资金上没有优势，但近年来，随着公司对 STN产品生产研发技术的投入，使公司掌握了这一产品的先进生产技术，得到了客户的广泛认可。公司下一步的发展目标将围绕扩大和提升触摸屏玻璃和 STN导电玻璃的市场占有率，将其做精做细。为进一步满足市场的需求，计划用两年的时间，优化公司产品结构，逐步提高 STN的比例，进一步增强公司产品的盈利能力和市场竞争力，成为国内 STN导电玻璃优势企业之一。 LCD需求领域根据其技术和市场特点，可以分为消费品和工业品两大类。其中消费品由于消费者对视觉效果的要求和受消费支出的影响，产品技术类型以TFT-LCD为主，需求波动较大。而工业品则更追求特定情况下性能的稳定性和耐用性，对视觉效果要求低，低成本诉求强，所以技术类型以 TN-LCD和 STN-LCD为主，需求也较稳定。TN-LCD和 STN-LCD与 ITO导电膜玻璃之间存在一对一的搭配关系。 通过核查，保荐机构认为：发行人坚持以持续的设备研制和产品创新为主导，以市场需求为导向，在巩固 TN市场优势地位的同时，以改善和优化产品结构为目标。通过近几年的市场拓展，发行人 STN、TP产品竞争力得到了快速提升。 （2）TP-ITO导电玻璃 目前触摸屏用 ITO导电玻璃的国际生产厂商主要集中在电子产品较为发达的日本、韩国和我国台湾地区，国内主要生产厂商为南玻 A、蚌埠华益、康达克和万德宏。具体情况如下表所示：
ITO导电膜玻璃简介
ITO导电膜玻璃 ITO导电膜玻璃 氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射 氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。 ITO导电膜的主要参数有：表面电阻、表面电阻的均匀性、透光率、热稳定性、加热收缩率、加热卷曲等。其中光透过率主要与ITO膜所用的基底材料和ITO膜的表面电阻有关。在基底材料相同的情况下，ITO膜的表面电阻越小，ITO膜层的厚度越大，光透过率相应的会有一定程度的减小。 透明导电氧化膜TCO中，以掺Sn的In2O3(ITO)膜的透过率最高和导电性能最好，而且容易在酸液中蚀刻出细微的图形，其中透光率达90%以上。ITO中其透光率和阻值分别由In2O3与Sn2O3之比例来控制，通常 Sn2O3:In2O3=1:9。 以下是两种不同的ITO导电膜的参数： 高阻抗ITO导电膜（PET-ITO） 高阻抗ITO导电薄膜PET-ITO主要应用于移动通讯领域的触摸屏生产。 产品参数： 面电阻：300～500 Ω/□ 面电阻均匀性：MD≤±3%，TD≤±6% ITO薄膜厚度：0.188±10% 线性度（MD）：≤1.5% 全光线透过率：≥86% 表面硬度（铅笔硬度）：≥3H 热稳定性：(R-R0)/R: ±20%
热收缩率：MD≤1.0%，TD≤0.8% 加热卷曲：≤10mm 低阻抗柔性ITO导电膜（PET-ITO） 适用于柔性电致变色器件、柔性薄膜太阳能电池、柔性EL发光器件的制备和生产。 薄膜厚度：0.175±10 mm 雾度：<2% 宽度：406/360±2 mm 粘附：100/100 卷曲：≤10 mm 透过率：≥ 80% 表面电阻：90±15 Ω/□ 面电阻均匀性：<7% 热收缩：MD≤1.3，TD≤1.0 热稳定性： 高温：80oC,120hr ≤1.3 低温：-40oC,120hr ≤1.3 热循环：-30oC—80oC ≤1.3 热/湿度：60oC, 90% RH,120hr ≤1.3
ITO导电玻璃入门知识
I T O导电玻璃入门知识 集团企业公司编码：（LL3698-KKI1269-TM2483-LUI12689-ITT289-
I T O导电玻璃入门知识ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡（俗称ITO）膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO 导电玻璃，还会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此，最终的液晶显示器都会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况。 在溅镀ITO层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运动方式下，所得到的ITO层会有不同的特性。一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些，更容易出现“麻点”现象；有些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带，ITO层在蚀刻时，更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带；另一些厂家的玻璃ITO层则会出现微晶沟缝。 ITO导电层的特性： ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下，氧化铟透过率高，氧化锡导电能力强，液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于ITO具有很强的吸水性，所以会吸收空气中
的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称“霉变”，因此在存放时要防潮。 ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。 ITO层由很多细小的晶粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶界，电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以ITO导电玻璃的ITO 层在600度以下会随着温度的升高，电阻也增大。 ITO导电玻璃的分类： ITO导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在150~500欧姆）、普通玻璃（电阻在60~150欧姆）、低电阻玻璃（电阻小于60欧姆）。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃一般用于STN液晶显示器和透明线路板。 ITO导电玻璃按尺寸分，有14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格；按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格，厚度在0.5mm以下的主要用于STN液晶显示器产品。
导电玻璃TCO(影响ITO玻璃性能的主要参数、测试方法及判定标准)
TCO镀膜玻璃的特性及种类、测试方法及判定标准 NSG玻璃： FTO导电玻璃，厚度为2.2mm，透光率大于90%，电阻为15欧，大小为200mm*150mm,也可以根据用户要求订做。导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率 RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。 TCO镀膜玻璃的特性及种类 在太阳能电池中，晶体硅片类电池的电极是焊接在硅片表面的导线，前盖板玻璃仅需达到高透光率就可以了。薄膜太阳能电池是在玻璃表面的导电薄膜上镀制p-i-n半导体膜，再镀制背电极。 透明导电氧化物的镀膜原料和工艺很多，通过科学研究进行不断的筛选，目前主要有以下三种TCO 玻璃与光伏电池的性能要求相匹配。 ITO镀膜玻璃是一种非常成熟的产品，具有透过率高，膜层牢固，导电性好等特点，初期曾应用于光伏电池的前电极。但随着光吸收性能要求的提高，TCO玻璃必须具备提高光散射的能力，而ITO镀膜很难做到这一点，并且激光刻蚀性能也较差。铟为稀有元素，在自然界中贮存量少，价格较高。ITO应用于太阳能电池时在等离子体中不够稳定，因此目前ITO镀膜已非光伏电池主流的电极玻璃。 SnO2（二氧化锡）镀膜也简称FTO，目前主要是用于生产建筑用Low-E玻璃。其导电性能比ITO略差，但具有成本相对较低，激光刻蚀容易，光学性能适宜等优点。通过对普通Low-E的生产技术进行升级改进，制造出了导电性比普通Low-E好，并且带有雾度的产品。利用这一技术生产的TCO玻璃已经成为薄膜光伏电池的主流产品。 氧化锌基薄膜的研究进展迅速，材料性能已可与ITO相比拟，结构为六方纤锌矿型。其中铝掺杂的氧化锌薄膜研究较为广泛，它的突出优势是原料易得，制造成本低廉，无毒，易于实现掺杂，且在等离子体中稳定性好。预计会很快成为新型的光伏TCO产品。目前主要存在的问题是工业化大面积镀膜时的技术问题。 光伏电池对TCO镀膜玻璃的性能要求 1.光谱透过率为了能够充分地利用太阳光，TCO镀膜玻璃一定要保持相对较高的透过率。目前，产量最多的薄膜电池是双结非晶硅电池，并且已经开始向非晶/微晶复合电池转化。因此，非晶/微晶复合叠层能够吸收利用更多的太阳光，提高转换效率，即将成为薄膜电池的主流产品。 2.导电性能TCO导电薄膜的导电原理是在原本导电能力很弱的本征半导体中掺入微量的其他元素，使半导体的导电性能发生显著变化。这些微量元素被称为杂质，掺杂后的半导体称为杂质半导体。氧化铟锡（ITO）透明导电玻璃就是将锡元素掺入到氧化铟中，提高导电率，它的导电性能在目前是最好的，最低电阻率达10-5Ωcm量级。 3.雾度为了增加薄膜电池半导体层吸收光的能力，光伏用TCO玻璃需要提高对透射光的散射能力，
ITO导电玻璃入门知识
ITO导电玻璃入门知识 ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡（俗称ITO）膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃，还会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此，最终的液晶显示器都会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况。 在溅镀ITO层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运动方式下，所得到的ITO层会有不同的特性。一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些，更容易出现“麻点”现象；有些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带，ITO层在蚀刻时，更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带；另一些厂家的玻璃ITO层则会出现微晶沟缝。 ITO导电层的特性： ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下，氧化铟透过率高，氧化锡导电能力强，液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于ITO具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称“霉变”，因此在存放时要防潮。 ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。ITO层由很多细小的晶粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶界，电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高，电阻也增大。 ITO导电玻璃的分类： ITO 导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在150~500欧姆）、普通玻璃（电阻在60~150欧姆）、低电阻玻璃（电阻小于60欧姆）。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃一般用于STN液晶显示器和透明线路板。 ITO导电玻璃按尺寸分，有14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格；按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格，厚度在0.5mm 以下的主要用于STN液晶显示器产品。 ITO导电玻璃按平整度分，分为抛光玻璃和普通玻璃。 影响ITO玻璃性能的主要参数：
ITO导电玻璃加工贸易单耗标准说明(doc 8页)
ITO导电玻璃加工贸易单耗标准说明(doc 8页)
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附件1 HDB/JC005-2005 ITO导电玻璃加工贸易单耗标准 （商品编号：70200011） 1范围 本标准规定了以超薄玻璃（商品编号：70052900.90）为原料加工生产ITO导电玻璃（商品编号：70200011）的加工贸易单耗标准。 本标准适用于海关和商务主管部门对以超薄玻璃加工ITO导电玻璃的加工贸易企业进行加工贸易单耗审批、备案和核销管理。 2定义 本标准采用如下定义： 净耗：指加工生产中物化在单位ITO导电玻璃中的超薄玻璃的数量，单位：平方米。 工艺损耗：指因加工生产工艺要求，在生产过程中所必须耗用的、且不能物化在ITO 导电玻璃中的加工贸易超薄玻璃的数量。 损耗率（%）：指工艺损耗占单位进口保税料件投入量的百分比。 3单耗标准 3.1 原料品质规格 超薄玻璃为各档次的超薄浮法玻璃，应符合合同对品质的认定。 3.2 成品品质规格 ITO导电玻璃应符合国家标准《GBT18680-2002液晶显示器用氧化铟锡透明导电玻璃》或合同对品质的认定。 3.3单耗标准
ITO导电玻璃检验标准
范围 本标准准适用于正星光电科技有限公司生产的ITO产品。 规范性引用文件 JIS B0601—1994表面微观波纹度测量过程和方法的标准。 GB2828—2003计数抽样检验程序[第一部分按照接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划]。 玻璃基片的规格 长度及宽度的允许偏差、厚度允许偏差表 序号检验项目标准范围测量方法 1 长度/宽 度 ±数显游标卡尺 2厚度± ± 0. 55mm± ± 千分尺 3垂直度≤% 宽座角尺和塞 尺 垂直度 玻璃基片的垂直度的公差等级a/L≤%（见图1，a为公差带，L为被测玻璃基片的相应边长）。
图1 玻璃基片的垂直度 弯曲度（h/L) 图2 玻璃基片的弯曲度，不允许S形弯曲 微观波纹度（玻璃的浮法锡面） 微观表面波纹度的数值Rt的最大值应符合表2要求 序号厚度玻璃类型弯曲度微观波纹度 1 非强化≤% ≤20mm 强化≤% 2 非强化≤% ≤20mm 强化≤% 3 非强化≤% ≤20mm 强化≤% 4033mm 非强化≤% ≤20mm 强化≤% 磨边倒角: R型边 编号项目标准要求检验方法 1C型倒边≤W≤10倍放大镜 2R型倒边宽度:≤W≤曲半径: R≤50 10倍放大镜 b d*d 浮 法 方 向 切角磨边示意图 a *45°C型
mm 3标识角 b=± c=± 10倍放大镜 4相同角A=±10倍放大镜 5崩边 长≤1mm,宽≤ 深度≤1/2基片厚度 10倍放大镜 6破裂不允许目测 7边、角未磨不允许目测 表面质量 包括内部气泡、夹杂物、表面凹坑、异色点等。 点状缺陷的直径d定义为：d=（L+W）/2，见图5。划伤缺陷的定义为：L 3mm,W 见图6： 图5点状缺陷的尺寸图6划伤图形的尺寸双面ITO产品表面质量检验标准 No缺陷分类A品标准范围B品 测量方 法 1 内部气泡、杂 质点、针眼、 污点、锡斑、 亮点、表面凹 凸点、颗粒 d=(W+L)/2 d≤不计
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