场发射扫描电子显微镜(S-4800)操作规程

场发射扫描电子显微镜（S-4800）操作规程

开机

1. 检查真空、循环水状态。

2. 开启“Display”电源。

3. 根据提示输入用户名和密码，启动电镜程序。

样品放置、撤出、交换

1. 严格按照高度规定高样品台，制样，固定。

2. 按交换舱上“Air”键放气，蜂鸣器响后将样品台放入，旋转样品杆至“Lock”位，合上交换舱，按“Evac”键抽气，蜂鸣器响后按“Open”键打开样品舱门，推入样品台，旋转样品杆至“Unlock”位后抽出，按“Close”键。

观察与拍照

1. 根据样品特性与观察要求，在操作面板上选择合适的加速电压与束流，按“On”键加高压。

2. 用滚轮将样品台定位至观察点，拧Z轴旋钮（3轴马达台）。

3. 选择合适的放大倍数，点击“Align”键，调节旋钮盘，逐步调整电子束位置、物镜光阑对中、消像散基准。

4. 在“TV”或“Fast”扫描模式下定位观察区域，在“Red”扫描模式下聚焦、消像散，在“Slow”或“Cssc”扫描模式下拍照。

5. 选择合适的图像大小与拍摄方法，按“Capture”拍照。

6. 根据要求选择照片注释内容，保存照片。

关机

1. 将样品台高度调回80mm。

2. 按“Home”键使样品台回到初始状态。

3. “Home”指示灯停止闪烁后，撤出样品台，合上样品舱。

4. 退出程序，关闭“Display”电源。

注意

1. 每天第一次加高压后，进行灯丝Flashing去除污染。

2. 冷场发射电镜一般不断电，如遇特殊情况需要大关机时，依次关闭主机正面的“Stage”电源、“Evac”电源，半小时后关闭离子泵开关和显示单元背面的三个空气开关，关闭循环水。开机时顺序相反。

3. 每半个月旋开空压机底阀放水一次。

4. 待测样品需烘干处理，不能带有强磁性，不能采用铁磁性材料做衬底制样。

5．实验室温度限定在25±5℃，相对湿度小于70% 。

仪器维护

1. 每月进行电镜离子泵及灯丝镜筒烘烤。

2. 每半年进行一次机械泵油维护或更新。

3. 每年进行一次冷却水补充，平时每月检查一次水位。