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在 TFT-LCD_工艺制程简介

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Q/S

上海天马微电子有限公司企业标准

Q/S0001-2007 TFT工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称

版号: 1.0 总页数: 23 制定部门:制造部生效日期: 2007年4月28日

拟制:方永学 2007-4-3 审核:向传义 2007-4-3 标准化:吴乃亮 2007-4-25 会签:颜建军朱希玲 2007-4-20

蔡明宏 2007-4-24 凌志华 2007-4-3 批准:安德浩 2007-4-24 2007-04发布 2007-04实施

上海天马微电子有限公司发布

工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称

Q/S0001-2007 第2页共23页

工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称

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Q/S0001-2007 第7页共23页

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Q/S0001-2007 第11页共23页

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Q/S0001-2007 第13页共23页

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Q/S0001-2007 第19页共23页

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