GS-WI-ED-061 全自动清洗机安全操作规程

版次：A 全自动清洗机安全操作规程文件编号：GS-WI-ED-061第1页，共1页将硅片小心的插入承载器将清洗蓝放入机器内将烘干的硅片拿出放在指定的小推车上进入下一工序步骤四：插片步骤五：硅片上机步骤六：烘干片下机辅助工具步骤三：小脸盆步骤四：承载器步骤五：清洗蓝步骤六：小推车步骤一：机器准备步骤二：调试操作界面和机械臂步骤三：各槽内加入指定的清洗剂打开机器电源，然后关闭出水阀，打开进水阀，将槽内注入适量清水将清洗程序调试好，并调试机械臂各槽内加入指定的清洗剂，不能加错，否则影响硅片的清洗效果注意事项步骤一：要先关闭出水阀，再打开进水阀步骤二：程序和机械臂必须调试好，不然影响清洗的效果步骤三：清洗剂必须定量加，不同槽位不同清洗剂步骤四：插片时要轻拿轻放步骤六：硅片下机时手不能接触到硅片，只能接触到承载器设备类型生产设备管理部门设备部设备名称全自动清洗机设备型号核准：审核：编制： .