四探针测试仪测试说明

四探针测试仪测试说明

1.抽样：用真空吸笔在每炉中等间距抽取5片扩散后的硅片，充分冷却后放在四探针测试台上。

2.选择电流“10×”档，EXCH。I亮显。按“下降”键使探针接触硅片中心点，换到I档，校准工作电流后按“上升”键使探针脱离硅片，换到R档。

3.测试电流(156×156为

4.532mA）。

4.测量硅片四角及中心方块电阻。按“下降”键，待显示数字稳定后记录所测硅片位置的方块电阻，按“上升”键使探针脱离硅片，移动硅片换一个位置测量。中心点方块电阻的测量要在中心附近，不准漏出台面上的方格图样，多取几个点求平均值。确认扩散后方块电阻及其均匀性是否在检验要求规定的范围内。因偏磷酸滴落或其它原因使硅片表面有明显痕迹或色差的硅片必须百分之百检测，直接返工。

5.为避免测试误差，边缘处的测试位置应离硅片边缘(1~2)cm，切不可在同一点上反复测量。

6.每4h校准一次工作电流，遇电流不稳情况，需多次校验。每班上班后由负责扩散工序的工艺员人对每条线的四探针进行相互校准，判断每条线之间的四探针是否存在差异，如有通知计量人员对其进行校准。

7.为了减小测试值与实际值的差异，测试必须在较暗的环境下进行。

8.测得的数据应写在纸上，再输入电脑，按照时间，日期，管号排列。

9.测试完成后，工艺员将按照测试值与标准值的偏差调节工艺。

高温四探针测试仪测试电阻率的原理和方法

高温四探针测试仪测试电阻率的原理和方法 高温四探针测试仪可以实现高温、真空及惰性气氛条件下测量硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率和外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ITO）和其他导电薄膜的方块电阻。 那么高温四探针测试仪的测量原理是什么呢？ 测量电阻率的方法很多，如三探针法、电容-电压法、扩展电阻法等，四探针法则是一种广泛采用的标准方法，高温四探针测试仪采用经典直排四探针原理，同时采用了双电测组合四探针法。 直排四探针法 经典的直排四探针法测试电阻率，要求使用等间距的探针，如果针间距离不等或探针有游移，就会造成实验误差。当被测片较小或在大片边缘附近测量时，要求计入电场畸变的影响进行边界修正。

采用双电测组合四探针的出现，为提高薄膜电阻和体电阻率测量准确度创造了有利条件。 目前双电测组合（亦称双位组合）四探针法有三种模式：模式（1），模式（2），模式（3），高温四探针测试仪采用模式（2），通过用计算机对三种模式的理论进行比较研究的结果表明：对无穷大被测片三种模式都一样，可是测量小片或大片边缘位置时，模式（2）更好，它能自动消除边界影响，略优于模式（3），更好于模式（1）。 那么高温四探针测试仪采用双电测组合四探针法有哪些优势呢？ 1、采用双电测组合四探针法进行测试，测试结果与探针间距无关，能够消除间距不等及针尖机械游移变化的影响，因此四探针测试台允许使用不等距探针头。 2、采用双电测组合四探针法具有自动修正边界效应的功能，对小尺寸被测片或探针在较大样品边缘附近时，不需要对样品做几何测量，也不必寻找修正因子。 3、采用双电测组合四探针法，不移动四探针针头，同时使用三种模式测量，即可计算得到测试部位的电阻均匀性。

四探针测电阻率实验指导书及SZT-2A四探针测试仪使用说明书

实验七四探针法测量材料的电阻率 一、实验目的 （1）熟悉四探针法测量半导体或金属材料电阻率的原理 （2）掌握四探针法测量半导体或金属材料电阻率的方法 二、实验原理 半导体材料是现代高新技术中的重要材料之一，已在微电子器件和光电子器件中得到了广泛应用。半导体材料的电阻率是半导体材料的的一个重要特性，是研究开发与实际生产应用中经常需要测量的物理参数之一，对半导体或金属材料电阻率的测量具有重要的实际意义。 直流四探针法主要用于半导体材料或金属材料等低电阻率的测量。所用的仪器示意图以及与样品的接线图如图1所示。由图1(a)可见，测试过程中四根金属探针与样品表面接触，外侧1和4两根为通电流探针，内侧2和3两根是测电压探针。由恒流源经1和4两根探针输入小电流使样品内部产生压降，同时用高阻抗的静电计、电子毫伏计或数字电压表测出其它两根探针（探针2和探针3）之间的电压V23。 a b 图1 四探针法电阻率测量原理示意图 若一块电阻率为 的均匀半导体样品，其几何尺寸相对探针间距来说可以看

作半无限大。当探针引入的点电流源的电流为I ，由于均匀导体内恒定电场的等位面为球面，则在半径为r 处等位面的面积为22r π，电流密度为 2/2j I r π= （1） 根据电流密度与电导率的关系j E σ=可得 22 22j I I E r r ρ σ πσπ= = = （2） 距离点电荷r 处的电势为 2I V r ρ π= （3） 半导体内各点的电势应为四个探针在该点所形成电势的矢量和。通过数学推导，四探针法测量电阻率的公式可表示为 123 231224133411112( )V V C r r r r I I ρπ-=--+?=? （4） 式中，1 12241334 11112( )C r r r r π-=--+为探针系数，与探针间距有关，单位为cm 。 若四探针在同一直线上，如图1(a)所示，当其探针间距均为S 时，则被测样品的电阻率为 123 2311112()222V V S S S S S I I ρππ-=- -+?=? （5） 此即常见的直流等间距四探针法测电阻率的公式。 有时为了缩小测量区域，以观察不同区域电阻率的变化，即电阻率的不均匀性，四根探针不一定都排成一直线，而可排成正方形或矩形，如图1(b)所示，此时只需改变电阻率计算公式中的探针系数C 即可。 四探针法的优点是探针与半导体样品之间不要求制备接触电极，极大地方便了对样品电阻率的测量。四探针法可测量样品沿径向分布的断面电阻率，从而可以观察电阻率的不均匀性。由于这种方法允许快速、方便、无损地测试任意形状样品的电阻率，适合于实际生产中的大批量样品测试。但由于该方法受到探针间距的限制，很难区别间距小于0.5mm 两点间电阻率的变化。 根据样品在不同电流（I ）下的电压值（V 23），还可以计算出所测样品的电阻率。

蓝牙无线温度测试仪手册

八通道炉温测试仪 TTrack 用户手册 ◎2014版◎

目录 前言 (1) 重要事项和安全说明 (1) 商标和有限责任 (1) 测温仪主机接线端口说明 (2) 一、安装TTrack软件与USB驱动程序 (3) 1.1建议PC配置: (3) 1.2软件安装方法: (3) 1.3USB驱动程序的安装: (4) 1.3.1XP系统USB安装步骤 (4) 1.3.2Win7系统USB安装步骤 (6) 1.4蓝牙适配器的安装与配置 (10) 1.4.1蓝牙适配器的安装 (10) 1.4.2蓝牙适配器的配置 (11) 1.4.3软件通过蓝牙与设备的连接步骤 (15) 二、TTrack软件介绍 (16) 2.1工具栏 (16) 2.2软件界面功能 (17) 2.2.1主机设置 (19) 2.2.2设置面板 (20) 2.2.3分析设置 (21) 2.2.4热电偶设置 (24) 2.2.5炉区设置 (25) 2.2.6制程设置 (27) 2.2.7其他设置 (31) 三、炉温测试仪操作步骤 (33) 3.1采样间隔设置 (33) 3.2进行温度数据测量步骤 (33) 3.3数据下载 (34) 3.3.1通讯端口选择 (34) 3.3.1.1使用USB进行通讯操作 (34) 3.3.1.2使用蓝牙进行通讯操作 (34) 3.3.2数据下载步骤 (34) 3.4打印报表 (34) 3.5USB充电 (36) 3.6注意事项 (36) 3.7蓝牙下载数据注意事项： (37) 3.8测温仪初始化步骤 (37) 3.9温度校正方法 (40) 3.10波峰焊测量规定 (43) 四、常见故障 (45) 4.1电脑识别不了WT-USB (45) 4.2测温结果有偏差 (45) 4.3无法进行数据下载或测温曲线严重偏差 (45) 4.4电脑识别不了蓝牙 (46)

ETCR钳形接地电阻测试仪操作方法

E T C R钳形接地电阻测试 仪操作方法 Document serial number【NL89WT-NY98YT-NC8CB-NNUUT-NUT108】

ETCR2000 钳形接地电阻测试仪操作方法ETCR2000 钳形接地电阻测试仪操作方法 1.开机 开机前，扣压扳机一两次，确保钳口闭合良好。 按POWER键，进入开机状态，首先自动测试液晶显示器，其符号全部显示，见图1。然后开始自检，自检过程中依次显示“CAL6、CAL5、CAL4…CAL0、OLΩ”，见图2。当“OLΩ”出现后，自检完成，自动进入电阻测量模式，见图3。 自检过程中，不要扣压扳机，不能张开钳口，不能钳任何导线。 自检过程中，要保持钳表的自然静止状态，不能翻转钳表，不能对钳口施加外力，否则不能保证测量的准确度。 自检过程中，若钳口钳绕了导体回路，测量结果是不准确的，请去除导体回路重新开机。 如果开机自检后未出现OL，而是显示一个较大的阻值，见图4。但用测试环检测时，仍能给出正确的结果，这说明钳表仅在测大阻值时（如大于100欧）有较大误差，而在测小阻值时仍保持原有准确度，用户仍可放心使用 *ETCR2000C自检完成显示“OLΩ”的同时还闪烁显示符号，见图5。因空载电阻“OL”已超出电阻报警临界值。 2.关机 钳表在开机后，按POWER键关机。 钳表在开机5分钟后，液晶显示屏进入闪烁状态，闪烁状态持续30秒后自动关机，以降低电池消耗。在闪烁状态按POWER键可延时关机，钳表继续工作。 在HOLD状态下，需先按HOLD键退出HOLD状态，再按POWER键关机。 *ETCR2000C在HOLD状态下，需先按SET键或POWER键退出HOLD状态，再按POWER键关机。 *ETCR2000C在设定报警临界值状态下，需先按POWER键或按SET键3秒退出设定报警临界值状态，再按POWER键关机。 3.电阻测量

M2型手持式数字式四探针测试仪简介

M-2型手持式数字式四探针测试仪简介 一、M-2型手持式数字式四探针测试仪 二、概述 M-2型手持式数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国标准。 仪器成套组成：由主机、选配的四探针探头等二部分组成，也可加配测试台。 主机主要由数控恒流源，高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成，自动转换量程。仪器所有参数设定、功能转换全部采用一旋钮输入；具有零位、满度自校功能；全自动转换量程；测试结果由数字表头直接显示。本测试仪采用可充电电池供电，适合手持式变动场合操作使用！ 探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可

对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头，也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。 仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、使用简便等特点。 仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。 三、基本技术参数 1. 测量范围、分辨率 电阻：0.010 ～9999Ω, 分辨率0.001 ～1 Ω 电阻率：0.010～2000Ω-cm，分辨率0.001 ～1 Ω-cm 方块电阻：0.050～2000Ω/□分辨率0.001 ～1 Ω/□ 2. 材料尺寸 手持方式不限材料尺寸，但加配测试台则由选配测试台和测试方式决定 直径：SZT-A圆测试台直接测试方式Φ15～130mm。 SZT-C方测试台直接测试方式180mm×180mm。 长(高)度：测试台直接测试方式H≤100mm。. 测量方位: 轴向、径向均可. 3. 量程划分及误差等级

四探针一体机使用说明书

SZT-2A四探针测试仪 使用说明书 一概述 SZT-2A型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中，低阻阻值。 仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示，同时，液晶显示器还显示测量类型（电阻率，方块电阻和电阻）以及探头修正系数， 主机由开关电源，DC/DC变换器，高灵敏度电压测量部份，高稳定度恒流源，和微电脑控制系统组成。由於采用大规模集成电路，所以仪器可靠性高，测量稳定性好。 测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针，定位准确，游移率小，使用寿命长。 仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料电阻性能的测试。 本仪器工作条件为： 温度：23℃±3℃ 相对湿度：50%~70%

工作室内应无强磁场干扰，不与高频设备共用电源。 二，技术参数 1，测量范围 电阻率： 10??-105?-cm 方块电阻 10??- 105?/□ 电阻 10-?- 105? 2，可测半导体材尺寸 直径：Ф15-100mm 长（或高）度：≤400mm 3，测量方位 轴向，径向均可 4，数字电压表： （1）量程：20mV,200mV,2V （2）误差：±0.5%读数±2字 （3）输入阻抗:>10?? （4）最大分辨率:10μV （5）点阵液晶显示，过载显示。 5，恒流源： （1）电流输出：共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA五挡可通过按键选择，各挡均为定值不可调节，电阻率探头 修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算 后，直接显示修正后的结果。

2M误码仪实用操作及保养说明

2M误码仪实用操作及保养说明 一、规格说明 1.前面板、状态告警指示灯 2.液晶显示器

液晶显示器分为三个部分，如上图所示。

3.按键

二、常见技术指标 比特率:2048Kb/s ± 50ppm 接口：标配75ohm, 高阻，选配：120ohm 输入灵敏度：0 ~ - 43dB 线路编码：HDB3 帧型：无帧，P31,P31C,P30,P30C 内部测试序列：伪随机序列: 2^11-1(PR11), 2^15-1(PR15) 固定码: 0000(SPACE),1111(MARK),1010(ALT) 告警检测和插入：LOS, AIS,LOF, RA 误码插入：Single, 10E-3, 10E-6 测试标准：G.821，G.826,M.2100 单时隙监听：除Ts0外任意单个时隙 时钟源选择：内部时钟(Internal)，接收回复时钟(Receive) 存储:99条 电源：4节5号电池或外接电源 尺寸：200mm(L) * 100mm(W) * 44mm(H) 三、操作说明 1.初步操作 利用快捷键可以从任何界面直接进入到另一个界面；利用快捷键还可以完成屏幕打印、结果打印、键盘锁定等功能。 任何界面中，当功能扩展键 显示时，按键，液晶显示器的左下角会弹出快捷菜单，如图3.2所示，再按键快捷菜单自动利用光标移动键把光标移到所需选项，按ENTER键或F1键选择键盘锁定或直接进入测试设置、当前结果、设置存取、结果存取或仪表设置界面。 2.端口设置

界面说明 工作方式 发送 接收 接口方式 接口方式 信号形式 信号形式 数据端口 数据端口 时钟方式 信号端口 测试图案 测试图案 ① ② 信号码型 信号码型 时隙选择 时隙选择 ①图案极性 ②图案极性 界面说明 工作方式 接口方式 接口方式 发送 接收 模拟方式 速率 速率 时钟方式 时钟方式 测试图案 测试图案 控制信号 ① ② ③ ④ ①时钟极性 ②图案极性 ③时钟极性 ④图案极性 2.1 Tx/Rx1/DATA 端口设置 是接口方式为2Mbit/s 和同向64kbit/s （接口方式为同向64kbit/s 时，相应选项自动无效）时的界面，左边表示发送端口的设置， 右边表示接收端口的设置，各栏代表的含义如图2.1所示。 图2.1 Tx/Rx1端口设置说明 图2.2是接口方式为V.35、V.24同步、X.21、RS449时的界面，左边表示发送端口的设置，右边表示接收端口的设置，各栏代表的含义 如图2.3所示。 图2.2 DATA 端 口设置

XXX软件用户手册

XXX软件用户手册 (软件版本：FMS2.1)

目录 用户手册 (3) 概述 (3) 功能特点 (3) 系统要求 (3) 软件安装 (3) 硬件安装 (4) 请用户在阅读本手册及操作本软件前先详读《RTS-8型四探针测试仪》

用户手册 因有的概念跟理论要了解后,阅读此手册和使用本软件时更容易理解、操作。 概述 RTS-8型四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，程序操作直观易用。测试程序在计算机与RTS-8型四探针测试仪连接的状态下，通过计算机的并口实现通讯。 测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在计算机中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析。 功能特点 可以选择进行手动测量或者是自动测量； 对可疑测量点的数据进行重测； 详细记录被测试材料各种参数，结合测试数据进行数据统计分析； 以直方图形式统计分析数据； 打开、保存、打印测试数据； 把测试数据导出到Excel中进行更详细的数据统计分析； 系统要求 请确定你的电脑是IBM PC兼容型并具备以下最低的系统要求： Intel兼容586DX-500MHz中央处理器或者更高； 一个IEEE-1284标准并行通讯端口； 显示卡分辨率支持1024*768模式； 软件安装 本软件可安装在Win98、Win2000、XP操作系统上。请按以下步骤进行安装。 1.将四探针软件测试系统的安装光盘放入光驱中，执行光盘目录下的【Setup.exe】进行安

绝缘电阻测试仪操作规程、步骤和使用方法

仪器控制面板 ?（1）电压显示窗口：测试电压设定值显示，单位为V。（2）量程显示窗口：显示当前量程段。 ?（3）测试值显示窗口：测试的绝缘电阻值，显示4位有效值。（4）单位指示灯：显示当前电流及阻值单位。 ?（5）分选指示灯：NG指示灯:不合格指示灯，低于设定值时亮，G00D灯：正品指示，测试值高于上限时亮。 ?（6）设定/确认键：设定:进入设定状态，上下键选择功能；确认：进入修改或设定状态完毕确认退出。 ?(7)自动键：量程自动/手动切换按键，指示灯亮表示当前是量程自动状态，在测量时自动切换量程，否则在测试中使用上下键切换来改变量程。（8）清零键：放电状态时，对仪器开路清零校正。（9）放电键：测试返回放 电状态 ?（10）R/I测试键：放电状态或设定状态下进入测试状态。测试状态下切换电阻/电流显示。 ?（11）接地端：接地屏蔽端。（12）测试“-”端：电压输出端。（13）测试“+”端：采样输入端。 ?（14）高压警示灯：提示当前“-”端有电压输出。（15）仪器电源开关。各参数设定及操作步骤 ? 1.检查仪器电源插头接插良好后，打开仪器面板的电源开关，预热5—10分钟。 ? 2.根据检验文件要求，设定相关的测试参数，步骤如下：

(1)1.VOL电压设定：在电压项1.VOL上按动“设定/确认”键，进入电压设定子菜单。此时通过“∧”、“∨”键调整所需的电压值，共10档（10～1000V）。按动“设定/确认”键设定完成，电压值将自动保存并返回菜单。 (2)电阻上下限设定：在极限2.LO或3.Hi上按动“设定/确认”键，进入设定状态。此时通过“〈”、“〉”键可左右移动选择位数和小数点，按动“∧”、“∨”键可改变光标所在位数的大小及改变小数点位置。设定好后按“设定/确认”键，仪器将自动保存设定参数。 (3)充电时间设定：可根据需要设定充电时间（一般为10S以内），如不需定时请设为000 (4)蜂鸣开关设定：在5.bep上按动“设定/确认键”进入蜂鸣设定。可根据需要选择：NG(测试不合格时报警)GOOD(测试合格时报警)，OFF（蜂鸣开关处于关闭）。 ? 3.参数设定完成后对测试仪器进行开路清零，具体步骤如下： （1）在放电状态下插上“+”端测试线，开路并将测试线悬空（“-”端测试线取下）。 （2）按“清零”键，电压显示窗口显示开路信息，测试值显示窗口显示当前量程的零值，此时按动“∧”、“∨键可选择其它量程的零值。 （3）再次按动“清零”键，开始对各量程逐一清零，清零成功显示“PASS”字样。清零失败时显示”FAIL”(当零值大于1mV时清零失败，主要原因应为未开路或测试线不标准造成，检查后重试)。 （4）清零完毕后各量程的零值自动保存，并返回放电状态。 ? 4.进入测试：请按照图示方法连接被测件（带极性的被测件一定要按照正负极连接） ? 5.按动“测试”键即进入测试状态或在测试类别――阻抗或电流间切换。 ? 6.测试完成后按动“放电”键，仪器对被测件放电，同时高压指示灯熄灭，放电完成，此时方可取出被测器件。

测试误码比说明

HFTA-010.0：物理层性能：测试误码比(BER) 本文最早发表于2004年9月的Lightwave Magazine, “Explaining those BER testing mysteries”。 所有数字通信系统物理层的根本功能是以最快的速度，在介质(例如，铜缆、光纤，以及自由空间等)上尽可能正确无误地传送数据。因此，对物理层性能的两类基本测量包括数据被传送的速率(数据速率)，以及数据到达信宿时的完整性。数据完整性的主要测量标准是误码比，即BER。 本文回顾电信和数据通信协议最普遍的BER要求，简要介绍用于测试BER性能的设备，以及怎样在测试时间和BER置信度上达到平衡。 1. BER规范 数字通信系统的BER可以定义为任意比特通过系统传输后，接收时出现错误的概率，例如，发送“1”，接收到的却是“0”，反之亦然。在实际测试中，系统传输一定数量的比特，对接收到的错误比特进行计数，从而测量BER。接收到的错误比特数与传输的比特总数之比便是BER。随着传输比特总数的增加，BER估算精度也随之提高。极限情况下，发送的比特数接近无限时，BER 是对真实误码概率的最佳估算。 在某些材料中，BER是指误码率，而不是误码比。真实系统中出现的大部分错误比特主要来自随机噪声，因此，它是随机出现的，而不是均匀分布的概率。BER是通过对错误比特和传送比特之比进行估算而得到的。出于这些原因，使用“比”来代替“率”更准确一些。 系统中被传输比特的不同排列顺序(例如，数据码型)，会导致出现不同的误码数量。例如，含有长串连续同样数字(CID)的码型低频分量很大，可能会超出系统通带范围，导致信号出现确定性抖动和其他失真。这些与码型有关的效应会增大或者减小误码出现的概率。这意味着当使用不同的数据码型来测试BER时，有可能获得不同的结果。码型相关效应的详细分析已经超出了本文的讨论范围，但是应对BER规范和测试结果与数据码型有关这一现象有足够的重视。 大部分数字通信协议要求BER性能要达到两个级别之一。SONET等电信协议使用较长的伪随机码，一般要求BER是每1010个比特出现一个误码(即，BER = 1/1010 = 10-10)。而光纤通道和以太网等数据通信协议通常使用较短的码型，要求BER优于10-12。在某些情况下，系统规范要求BER 达到10-16，甚至更低。 需要指出的是，BER实际上是统计平均值，因此，它在足够多的比特情况下才有意义。例如，在一组1010比特之内可能会出现一个以上的误码，但是当传送的比特总数远远大于1010时，仍然会满足10-10 BER规范。在后续的比特流中，如果每1010个比特误码数少于1个，就可能出现这种情况。或者，在一组1010比特中没有误码，而在后续比特流中误码较多，仍有可能达不到10-10标准。考虑到这些例子，很明显，规定BER优于10-10的系统必须传送远远多于1010比特的数据来进行测试，才能得到精确、可重复的测量结果。一个自然而又常见的问题是“我需要在系统中传送多少比特才能说明BER是可信的？”第三节给出了这一问题的答案。 2. 设备和过程 BER测试的传统方法使用码型发生器和误码探测仪(图1)。

绝缘电阻测试仪操作规程步骤和使用方法

绝缘电阻测试仪操作规程步骤和使用方法 Coca-cola standardization office【ZZ5AB-ZZSYT-ZZ2C-ZZ682T-ZZT18】

仪器控制面板 （1）电压显示窗口：测试电压设定值显示，单位为V。（2）量程显示 窗口：显示当前量程段。 （3）测试值显示窗口：测试的绝缘电阻值，显示4位有效值。（4）单 位指示灯：显示当前电流及阻值单位。 （5）分选指示灯：NG指示灯:不合格指示灯，低于设定值时亮，G00D 灯：正品指示，测试值高于上限时亮。 （6）设定/确认键：设定:进入设定状态，上下键选择功能；确认：进入修改或设定状态完毕确认退出。 (7)自动键：量程自动/手动切换按键，指示灯亮表示当前是量程自动状 态，在测量时自动切换量程，否则在测试中使用上下键切换来改变量 程。（8）清零键：放电状态时，对仪器开路清零校正。（9）放电键： 测试返回放电状态 （10）R/I测试键：放电状态或设定状态下进入测试状态。测试状态下 切换电阻/电流显示。 （11）接地端：接地屏蔽端。（12）测试“-”端：电压输出端。（13）测试“+”端：采样输入端。 （14）高压警示灯：提示当前“-”端有电压输出。（15）仪器电源开 关。 各参数设定及操作步骤 1.检查仪器电源插头接插良好后，打开仪器面板的电源开关，预热5— 10分钟。 2.根据检验文件要求，设定相关的测试参数，步骤如下：

(1)电压设定：在电压项上按动“设定/确认”键，进入电压设定子菜单。此时通过“∧”、“∨”键调整所需的电压值，共10档（10～1000V）。按动“设定/确认”键设定完成，电压值将自动保存并返回菜单。 (2)电阻上下限设定：在极限或上按动“设定/确认”键，进入设定状态。此时通过“〈”、“〉”键可左右移动选择位数和小数点，按动“∧”、“∨”键可改变光标所在位数的大小及改变小数点位置。设定好后按“设定/确认”键，仪器将自动保存设定参数。 (3)充电时间设定：可根据需要设定充电时间（一般为10S以内），如不需定时请设为000 (4)蜂鸣开关设定：在上按动“设定/确认键”进入蜂鸣设定。可根据需要选择：NG(测试不合格时报警)GOOD(测试合格时报警)，OFF（蜂鸣开关处于关闭）。 3.参数设定完成后对测试仪器进行开路清零，具体步骤如下： （1）在放电状态下插上“+”端测试线，开路并将测试线悬空（“-”端测试线取下）。 （2）按“清零”键，电压显示窗口显示开路信息，测试值显示窗口显示当前量程的零值，此时按动“∧”、“∨键可选择其它量程的零值。 （3）再次按动“清零”键，开始对各量程逐一清零，清零成功显示“PASS”字样。清零失败时显示”FAIL”(当零值大于1mV时清零失败，主要原因应为未开路或测试线不标准造成，检查后重试)。 （4）清零完毕后各量程的零值自动保存，并返回放电状态。 4.进入测试：请按照图示方法连接被测件（带极性的被测件一定要按照 正负极连接） 5.按动“测试”键即进入测试状态或在测试类别――阻抗或电流间切 换。

四探针电阻率测试仪检定规程

四探针电阻率测试仪检定规程 Verification Regulation of Resistivity Measuring Instruments with FourPorope Array Method 本检定规程经国家计量局于1987年7月6日批准，并自1988年5月6日起施行。 归口单位：中国计量科学研究院 起草单位：中国计量科学研究院 本规程技术条文由起草单位负责解释。 本规程主要起草人： 鲁效明(中国计量科学研究院) 参加起草人： 张鸿祥(中国计量科学研究院) 李利保(中国计量科学研究院) 四探针电阻率测试仪检定规程 本规程适用于新生产、使用中和修理后的接触式测量范围在0.001～103Ω·cm的电阻率测试仪的检定。对某些多功能的测试或只能测方块电阻的测试仪也同样适用，方块电阻的测量范围在0.01～104Ω/□。本规程不适用于二探针、三探针和六探针以及方形探头电阻率测试仪。 一概述 电阻率测试仪是用来测量半导体材料及工艺硅片的电阻率，或扩散层及外延层方块电阻的测量 仪器。它主要由电气部分和探头部分组成，电气部分一般包括稳流源、数字电压表或电位差计、换向开关等仪器。探头部分一般包括探针架、探针头和样品台。其原理图及外形结构如图1和图2所示。

图1 1-稳流源；2-换向开关；3-标准电阻；4-探针接线；5-无热电势开关；6-数字电压表；7-被测样品 图2 1-微型计算机部分；2-电气箱部分；3-手动升降机构、探针架、探针头及样品台部分 二技术要求 1 整体方法检定电阻率测试仪的标准样片，表面应没有任何脏物，长期使用应注意定期清洗(按标准样片使用说明中规定的方法清洗)，以保持样片表面的清洁。 表1

误码仪校准指导书

1目的 根据误码仪在生产工艺中的重要性，通过定期对误码仪进行检定和校准，保证其在使用过程中的准确性和有效性，特制定此文件。 2范围 本规范适用于N4903，81250设备。 3校准条件 温度：20℃～25℃ 湿度：45％～75％RH 电压：220V 4校准所使用的的计量标准器具及辅助器具 4.1标准设备 设备名称：误码仪 设备型号：MP1570A 出厂编号：6100149757 器具要求：具有法定校准合格证书，且在有效期内。 4.2辅助设备 4.3其他辅助 模块测试板：一块 同轴线：4根 光纤跳线：4根（FC、SC视使用情况而定） 5校准周期 根据《测量设备校准检定周期确定标准》规定其校准周期为一年。 6校准程序 7.1检查主机 7.1.1打开Setup菜单，将光标移到Mapping,按Set键确认，选择Self test菜单。 7.1.2移动光标至“Type”并按下Set键。 7.1.3屏幕出现选择项窗口，选择“Maiframe test”，按下Set键确认，按屏幕提示（见图1） 连接所有连线。 7.1.4按下Start/Stop键开始测试。 7.1.5所有测试完成后系统将自动停止测试, 蜂鸣器响。

PASS 指示自检正常。 FAIL 指示自检不正常。 图1 7.1.7如果自检不通过，将显示错误代码，代码指示信息请参照本手册 英文版的附录Appendix G。 7.1.8当On/Off灯亮时，内置打印机将自动打印测试结果。 7.2检查接口单元 7.2.1打开Setup菜单，将光标移到Mapping,按Set键确认，选择Self test菜单。 7.2.2移动光标至“Type”并按下Set键。 7.2.3屏幕出现选择项窗口，选择“MPxxxx Interface test”，按下Set键确认，按 屏幕提示连接所有连线, 当对MP0111A，MP0112A，MP0113A进行自检时，用单模光纤直接连 接输入和输出。 7.2.4按下Start/Stop键开始测试。 7.2.5所有测试完成后系统将自动停止测试, 蜂鸣器响。 7.2.6检查测试结果: PASS 指示自检正常。 FAIL 指示自检不正常。 7.2.7 如果自检不通过，将显示错误代码，代码指示信息请参照本手册 英文版的附录Appendix G。 7.2.8 当On/Off灯亮时，内置打印机将自动打印测试结果。 7.3 灵敏度比对校准 7.3.1选择一个模块作为标准件。 7.3.2按图2完成灵敏度测试系统的连接。

ZC29型接地电阻测试仪使用说明

ZC29型接地电阻测试仪使用说明 一、用途： ZC29型接地电阻测试仪专供测量各种电力系统，电气设备，避雷针等接地装置的接地电阻值。 亦可测量低电阻导体的电阻值；还可测量土壤电阻率。 二、规格及性能： 1.规格 型号测量范围最小分度值辅助探棒接地电阻值 ZC29B—1型0~10Ω 0.1Ω ≤1000Ω 0~100Ω 1Ω ≤2000Ω 0~1000Ω 10Ω ≤5000Ω ZC29B—2型0~1Ω 0.01Ω ≤500Ω 0~10Ω 0.1Ω ≤1000Ω 0~100Ω 1Ω ≤2000Ω 2.使用温度：—20℃至+50℃ 3.相对湿度：85%（+25℃） 4.准确度：在额定值的30%以下为额定值的±1.5%，在额定值的30%以上至额定值为指示值的±5%。 5.摇把转速：每分钟150转。 6.倾斜影响：向任一方向倾斜10°，指示值改变不越出准确度。 7.温度影响：周围温度对标准温度每变化±10℃时，仪表指示值的改变不超过±1.2% 8.外磁场的影响：对外界磁场强度为5奥斯特时，仪表指示值的改变不超过±2.5% 9.绝缘电阻：在温度为室温，相对湿度不大于85%情况下，不小于20MΩ。 10.绝缘强度：线路与外壳间的绝缘能承受50赫的正弦波交流电压0.5KV历时一分钟。 11.(1)连续冲击试验:加速度:10±1g;相应脉冲持续时间:11±2ms; 脉冲重复 频率:60～100次/分；连续冲击次数：1000±10次；脉冲波形：近似半正弦波；试验时间：3～10分钟后不损坏。 （2）跌落试验：250mm高度自由跌落4次，不损坏。 12.外形尺寸：约172×116×135毫米。 13.重量：约2.4公斤。 三、结构和工作原理： 1.结构： ZC29型接地电阻测试仪由手摇发电机、电流互感器、滑线电阻及检流计等组成。全部机构装在塑料壳内，外有皮壳便于携带。附件有辅助探棒导线等，装于附件袋内。 2.工作原理： 当发电机摇柄以每分钟150转的速度转动时，产生105～115周的交流电，测试仪的两个E端经过5米导线接到被测物，P端钮和C端钮接到相应的两根辅助探棒上。电流I1由发电机出发经过R5电流探棒Cˊ至大地，被测物和电流

四探针测试仪测量薄膜的电阻率题库

四探针测试仪测量薄膜的电阻率 一、 实验目的 1、掌握四探针法测量电阻率和薄层电阻的原理及测量方法； 2、了解影响电阻率测量的各种因素及改进措施。 二、实验仪器 采用SDY-5型双电测四探针测试仪（含：直流数字电压表、恒流源、电源、 DC-DC 电源变换器）。 三、实验原理 电阻率的测量是半导体材料常规参数测量项目之一。测量电阻率的方法很 多，如三探针法、电容---电压法、扩展电阻法等。四探针法则是一种广泛采用的标准方法，在半导体工艺中最为常用。 1、半导体材料体电阻率测量原理 在半无穷大样品上的点电流源， 若样品的电阻率ρ均匀， 引入点电流源的 探针其电流强度为I ，则所产生的电场具有球面的对称性， 即等位面为一系列以点电流为中心的半球面，如图1所示。在以ｒ为半径的半球面上，电流密度ｊ的分布是均匀的： 若E 为ｒ处的电场强度， 则： 由电场强度和电位梯度以及球面对称关系， 则： 取ｒ为无穷远处的电位为零， 则： （1） dr d E ψ -=dr r I Edr d 22πρψ-=-=???∞∞I -=-=)(022r r r r dr Edr d ψπρ ψ r l r πρψ2)(=

图3 四探针法测量原理图 上式就是半无穷大均匀样品上离开点电流源距离为ｒ的点的电位与探针流 过的电流和样品电阻率的关系式，它代表了一个点电流源对距离ｒ处的点的电势 的贡献。 对图2所示的情形，四根探针位于样品中央，电流从探针1流入，从探针4 流出， 则可将1和4探针认为是点电流源，由1式可知，2和3探针的电位为： 2、3探针的电位差为： 此可得出样品的电阻率为： 上式就是利用直流四探针法测量电阻率的普遍公式。 我们只需测出流过1、 4 探针的电流I 以及2、3 探针间的电位差V 23，代入四根探针的间距， 就可以 求出该样品的电阻率ρ。实际测量中， 最常用的是直线型四探针（如图3所示）， 即四根探针的针尖位于同一直线上，并且间距相 等， 设r 12=r 23=r 34=S ，则有：S I V πρ223= 需要指出的是： 这一公式是在半无限大样 品的基础上导出的，实用中必需满足样品厚度及 边缘与探针之间的最近距离大于四倍探针间距， 这样才能使该式具有足够的精确度。 如果被测样品不是半无穷大，而是厚度，横向尺寸一定，进一步的分析表明， 在四探针法中只要对公式引入适当的修正系数B O 即可，此时： (223I V πρ=134132412)1111-+--r r r r )11(224122r r I -=πρψ)11(234 133r r I -=πρψ)1111(234 1324123223r r r r I V +--=-=πρψψS IB V πρ20 23=

RTS8型四探针测试仪用户手册1

文档来源为:从网络收集整理.word版本可编辑.欢迎下载支持. 目录 1.概述 (1) 2.技术指标 (1) 3.测量原理简介 (2) 4.仪器面板说明 (4) 5.使用方法 (6) 6.关于低阻测量 (8) 7.关于高阻测量 (8) 8.附录A：脱机测量样品基本操作流程 (9) 9.附表B：直径修正系数F(D/S)与D/S值的关系 (10) 10.附表C：厚度修正系数F(W/S)与W/S值的关系 (11) 11.附录D：S-2A探针台探头更换指导 (12) 感谢您使用我们的产品！ 如您是首次使用本仪器，请先详读本说明书，并妥善保留之以备查阅之用。 如有问题，欢迎致电：或登陆:http//

1.概述 RTS-8型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。 仪器由主机、探针测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由四探针测试仪主机直接显示，亦可与计算机相连接通过四探针软件测试系统控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析。 仪器采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。 本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。 2. 技术指标 2.1 测量范围 电阻率：10-4～105Ω.cm； 方块电阻：10-3～106Ω/□； 电阻：10-4～105Ω； 电导率：10-5～104s/cm； 可测晶片直径：140mmX150mm (配S-2A型测试台)； 200mmX200mm (配S-2B型测试台)； 400mmX500mm (配S-2C型测试台)； 2.2 恒流源 电流量程分为 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六档，各档电流连续可调； 2.3 数字电压表 量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 输入阻抗：＞1000MΩ； 精度：±0.1%； 显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示； 2.4 四探针探头基本指标 间距：1±0.01mm； 针间绝缘电阻: ≥1000MΩ； 机械游移率: ≤0.3％； 探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径Ф0.5mm； 探针压力：5～16 牛顿(总力)； 2.5 四探针探头应用参数 见探头附带的合格证，合格证含三参数项： C：探针系数； F：探针间距修正因子； S：探针平均间距； 2.6 模拟电阻测量相对误差（按 JJG508-87 进行）

2M测试仪说明书

目录 1. 概述...................................... 错误!未定义书签。 2. 主菜单.................................... 错误!未定义书签。 菜单选择................................. 错误!未定义书签。 3. 测试设置.................................. 错误!未定义书签。 Tx/Rx1/DATA端口设置 ..................... 错误!未定义书签。 CLK/RX2端口设置........................... 错误!未定义书签。 其它设置................................. 错误!未定义书签。 4. 专业设置.................................. 错误!未定义书签。 帧信息设置............................... 错误!未定义书签。 同步信息设置............................. 错误!未定义书签。 ABCD设置................................. 错误!未定义书签。 5. 测试结果.................................. 错误!未定义书签。 常规测试结果............................. 错误!未定义书签。 直方图.................................... 错误!未定义书签。 时隙分析结果............................. 错误!未定义书签。 6. 档案管理.................................. 错误!未定义书签。 测试设置存取............................. 错误!未定义书签。 测试结果存取............................. 错误! 未定义书签。 7. 仪表设置.................................. 错误!未定义书签。 显示设置................................. 错误!未定义书签。 打印设置................................. 错误!未定义书签。 时间设置................................. 错误!未定义书签。 8. 应用举例.................................. 错误!未定义书签。 2Mbit/s 通道停业务误码测试。............... 错误!未定义书签。 2M/s 通道开业务误码测试.................. 错误!未定义书签。9. 主要技术指标.............................. 错误!未定义书签。

接地电阻测试仪的使用方法(图解)

接地电阻测试仪的使用方法（图解） 接地电阻是指埋入地下的接地体电阻和土壤散流 电阻，通常采用ZC 型接地电阻测量仪 (或称接地 电阻摇表)进行测量。 ZC-8 型测量仪其外形与普通绝缘摇表差不多，也 就按习惯称为接地电阻摇表。ZC 型摇表的外形结 构随型号的不同稍有变化，但使用方法基本相同。ZC-8 型接地电阻测量仪的结构如图20 所示，测量仪还随表附带接地探测棒两支、导线三根。 一、接地电阻测试要求： a. 交流工作接地，接地电阻不应大于4Ω； b. 安全工作接地，接地电阻不应大于4Ω； c. 直流工作接地，接地电阻应按计算机系统具体要求确定； d. 防雷保护地的接地电阻不应大于10Ω； e. 对于屏蔽系统如果采用联合接地时，接地电阻不应大于1Ω。 二、接地电阻测试仪 ZC-8型接地电阻测试仪适用于测量各种电力系统，电气设备，避雷针等接地装置的电阻值。亦可测量低电阻导体的电阻值和土壤电阻率。 本仪表工作由手摇发电机、电流互感器、滑线电阻及检流计等组成，全部机构装在塑料壳内，外有皮壳便于携带。附件有辅助探棒导线等，装于附件袋内。其工作原理采用基准电压比较式。 三、使用前检查测试仪是否完整，测试仪包括如下器件。 1、ZC-8型接地电阻测试仪一台 2、辅助接地棒二根 3、导线5m、20m、40m各一根 四、使用与操作 1、测量接地电阻值时接线方式的规定 仪表上的E端钮接5m导线，P端钮接20m线，C端钮接40m线，导线的另一端分别接被测物接地极Eˊ，电位探棒Pˊ和电流探棒Cˊ，且Eˊ、Pˊ、C ˊ应保持直线，其间距为20m 1.1测量大于等于1Ω接地电阻时接线图见图1 将仪表上2个E端钮连结在一起。