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矽力杰半导体技术(杭州)有限公司_招标190923

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招标投标企业报告

矽力杰半导体技术(杭州)有限公司

本报告于 2019年9月23日 生成

您所看到的报告内容为截至该时间点该公司的数据快照

目录

1. 基本信息:工商信息

2. 招投标情况:招标数量、招标情况、招标行业分布、投标企业排名、中标企业

排名

3. 股东及出资信息

4. 风险信息:经营异常、股权出资、动产抵押、税务信息、行政处罚

5. 企业信息:工程人员、企业资质

* 敬启者:本报告内容是中国比地招标网接收您的委托,查询公开信息所得结果。中国比地招标网不对该查询结果的全面、准确、真实性负责。本报告应仅为您的决策提供参考。

一、基本信息

1. 工商信息

企业名称:矽力杰半导体技术(杭州)有限公司统一社会信用代码:91330100673960735E 工商注册号:330100400019553组织机构代码:673960735

法定代表人:Wei Chen成立日期:2008-04-22

企业类型:有限责任公司(外国法人独资)经营状态:存续

注册资本:6852万美元

注册地址:浙江省杭州市西湖区文三路90号71幢A1501-A1505、A1509-A1511室

营业期限:2008-04-22 至 2028-04-21

营业范围:技术开发、技术服务、成果转让:系统集成,集成电路及模块,半导体,电子产品;生产、测试、安装:高功率密度、高效率单片电源芯片;销售自产产品(国家禁止和限制的项目除外,涉及许可证的凭证经营)。

联系电话:***********

二、招投标分析

2.1 招标数量

企业招标数: 个 (数据统计时间:2017年至报告生成时间)2

2.2 企业招标情况(近一年)

截止2019年9月23日,根据国内相关网站检索以及中国比地招标网数据库分析,未查询到相关信息。不排除因信息公开来源尚未公开、公开形式存在差异等情况导致的信息与客观事实不完全一致的情形。仅供客户参考。

2.3 企业招标行业分布(近一年)

截止2019年9月23日,根据国内相关网站检索以及中国比地招标网数据库分析,未查询到相关信息。不排除因信息公开来源尚未公开、公开形式存在差异等情况导致的信息与客观事实不完全一致的情形。仅供客户参考。

2.4 投标企业前五名(近一年)

1

浙江省三建建设集团有限公司 ()

序号地区日期标题中标情况1浙江2016-04-21矽力杰半导体产业化基地建安工程中标2.5 中标企业前五名(近一年)

1

浙江省三建建设集团有限公司 ()

序号地区日期标题中标情况1浙江2016-04-21矽力杰半导体产业化基地建安工程中标三、股东及出资信息

序号股东持股比例认缴出资额1Silergy Corp.(矽力杰股份有限公司)100.00%6852万美元四、风险信息

4.1 经营异常()

截止2019年9月23日,根据国内相关网站检索以及中国比地招标网数据库分析,未查询到相关信息。不排除因信息公开来源尚未公开、公开形式存在差异等情况导致的信息与客观事实不完全一致的情形。仅供客户参考。

4.2 股权出资()

截止2019年9月23日,根据国内相关网站检索以及中国比地招标网数据库分析,未查询到相关信息。不排除因信息公开来源尚未公开、公开形式存在差异等情况导致的信息与客观事实不完全一致的情形。仅供客户参考。

4.3 动产抵押()

截止2019年9月23日,根据国内相关网站检索以及中国比地招标网数据库分析,未查询到相关信息。不排除因信息公开来源尚未公开、公开形式存在差异等情况导致的信息与客观事实不完全一致的情形。仅供客户参考。

4.4 税务信息()

截止2019年9月23日,根据国内相关网站检索以及中国比地招标网数据库分析,未查询到相关信息。不排除因信息公开来源尚未公开、公开形式存在差异等情况导致的信息与客观事实不完全一致的情形。仅供客户参考。

4.5 行政处罚()

截止2019年9月23日,根据国内相关网站检索以及中国比地招标网数据库分析,未查询到相关信息。不排除因信息公开来源尚未公开、公开形式存在差异等情况导致的信息与客观事实不完全一致的情形。仅供客户参考。

五、企业信息

5.1 工程人员()

截止2019年9月23日,根据国内相关网站检索以及中国比地招标网数据库分析,未查询到相关信息。不排除因信息公开来源尚未公开、公开形式存在差异等情况导致的信息与客观事实不完全一致的情形。仅供客户参考。

5.2 企业资质()

截止2019年9月23日,根据国内相关网站检索以及中国比地招标网数据库分析,未查询到相关信息。不排除因信息公开来源尚未公开、公开形式存在差异等情况导致的信息与客观事实不完全一致的情形。仅供客户参考。

【半导体研磨 精】半导体晶圆的生产工艺流程介绍

?从大的方面来讲,晶圆生产包括晶棒制造和晶片制造两大步骤,它又可细分为以下几道主要工序(其中晶棒制造只包括下面的第一道工序,其余的全部属晶片制造,所以有时又统称它们为晶柱切片后处理工序): 晶棒成长--> 晶棒裁切与检测--> 外径研磨--> 切片--> 圆边--> 表层研磨--> 蚀刻--> 去疵--> 抛光--> 清洗--> 检验--> 包装 1 晶棒成长工序:它又可细分为: 1)融化(Melt Down) 将块状的高纯度复晶硅置于石英坩锅内,加热到其熔点1420°C以上,使其完全融化。 2)颈部成长(Neck Growth) 待硅融浆的温度稳定之后,将〈1.0.0〉方向的晶种慢慢插入其中,接着将晶种慢慢往上提升,使其直径缩小到一定尺寸(一般约6mm左右),维持此直径并拉长 100-200mm,以消除晶种内的晶粒排列取向差异。 3)晶冠成长(Crown Growth) 颈部成长完成后,慢慢降低提升速度和温度,使颈部直径逐渐加大到所需尺寸(如 5、6、8、12吋等)。 4)晶体成长(Body Growth) 不断调整提升速度和融炼温度,维持固定的晶棒直径,只到晶棒长度达到预定值。 5)尾部成长(Tail Growth) 1

当晶棒长度达到预定值后再逐渐加快提升速度并提高融炼温度,使晶棒直径逐渐变小,以避免因热应力造成排差和滑移等现象产生,最终使晶棒与液面完全分离。到此即得到一根完整的晶棒。 2 晶棒裁切与检测(Cutting & Inspection) 将长成的晶棒去掉直径偏小的头、尾部分,并对尺寸进行检测,以决定下步加工的工艺参数。 3 外径研磨(Su rf ace Grinding & Shaping) 由于在晶棒成长过程中,其外径尺寸和圆度均有一定偏差,其外园柱面也凹凸不平,所以必须对外径进行修整、研磨,使其尺寸、形状误差均小于允许偏差。 4 切片(Wire Saw Sl ic ing) 由于硅的硬度非常大,所以在本工序里,采用环状、其内径边缘镶嵌有钻石颗粒的薄片锯片将晶棒切割成一片片薄片。 5 圆边(Edge Profiling) 由于刚切下来的晶片外边缘很锋利,硅单晶又是脆性材料,为避免边角崩裂影响晶片强度、破坏晶片表面光洁和对后工序带来污染颗粒,必须用专用的电脑控制设备自动修整晶片边缘形状和外径尺寸。 ? 6 研磨(Lapping) 研磨的目的在于去掉切割时在晶片表面产生的锯痕和破损,使晶片表面达到所要求的光洁度。 7 蚀刻(Etching) 1

晶圆封装测试工序和半导体制造工艺流程

A.晶圆封装测试工序 一、 IC检测 1. 缺陷检查Defect Inspection 2. DR-SEM(Defect Review Scanning Electron Microscopy) 用来检测出晶圆上是否有瑕疵,主要是微尘粒子、刮痕、残留物等问题。此外,对已印有电路图案的图案晶圆成品而言,则需要进行深次微米范围之瑕疵检测。一般来说,图案晶圆检测系统系以白光或雷射光来照射晶圆表面。再由一或多组侦测器接收自晶圆表面绕射出来的光线,并将该影像交由高功能软件进行底层图案消除,以辨识并发现瑕疵。 3. CD-SEM(Critical Dimensioin Measurement) 对蚀刻后的图案作精确的尺寸检测。 二、 IC封装 1. 构装(Packaging) IC构装依使用材料可分为陶瓷(ceramic)及塑胶(plastic)两种,而目前商业应用上则以塑胶构装为主。以塑胶构装中打线接合为例,其步骤依序为晶片切割(die saw)、黏晶(die mount / die bond)、焊线(wire bond)、封胶(mold)、剪切/成形(trim / form)、印字(mark)、电镀(plating)及检验(inspection)等。 (1) 晶片切割(die saw) 晶片切割之目的为将前制程加工完成之晶圆上一颗颗之晶粒(die)切割分离。举例来说:以0.2微米制程技术生产,每片八寸晶圆上可制作近六百颗以上的64M微量。 欲进行晶片切割,首先必须进行晶圆黏片,而后再送至晶片切割机上进行切割。切割完后之晶粒井然有序排列于胶带上,而框架的支撐避免了胶带的皱褶与晶粒之相互碰撞。 (2) 黏晶(die mount / die bond) 黏晶之目的乃将一颗颗之晶粒置于导线架上并以银胶(epoxy)粘着固定。黏晶完成后之导线架则经由传输设备送至弹匣(magazine)内,以送至下一制程进行焊线。 (3) 焊线(wire bond) IC构装制程(Packaging)则是利用塑胶或陶瓷包装晶粒与配线以成集成电路(Integrated Circuit;简称IC),此制程的目的是为了制造出所生产的电路的保护层,避免电路受到机械性刮伤或是高温破坏。最后整个集成电路的周围会向外拉出脚架(Pin),称之为打线,作为与外界电路板连接之用。

南航电气硕士2013就业情况

电机与电器: 中国船舶重工集团公司第七一六研究所 中国电子科技集团第二十一研究所 中国商飞民用飞机试飞中心 中国商用飞机有限责任公司上海飞机设计研究江苏省电力公司检修分公司扬州检修分部 南京南瑞太阳能科技有限公司 合肥高新技术产业开发区人力资源开发管理中心华为技术有限公司南京研究所 南京埃斯顿自动化股份有限公司 南京埃斯顿自动化股份有限公司 南京埃斯顿自动化股份有限公司 深圳市南方安华电子科技有限公司 无锡小天鹅股份有限公司 英飞特电子股份有限公司 飞利浦(中国)投资有限公司 海拉(上海)管理有限公司南京研发分公司 杭州茂力半导体技术有限公司 杭州茂力半导体技术有限公司 联合汽车电子有限公司 路斯特传动系统(上海)有限公司 梅特勒-托利多(常州)测量技术有限公司 南京迈瑞生物医疗电子有限公司 矽力杰半导体技术(杭州)有限公司 电力电子与电力传动: 成都飞机设计研究所 航天科技集团公司第五研究院通信卫星事业部上海飞机客户服务有限公司 上海空间电源研究所 上海空间电源研究所 上海空间电源研究所 上海空间电源研究所 上海空间电源研究所 中国电子科技集团公司第二十一研究所 中国电子科技集团公司第四十三研究所 中国航天科工集团第二研究院206所 中国商用飞机有限责任公司上海飞机设计研究中航(上海)航空无线电电子技术有限公司 中航工业雷达与电子设备研究院 中航工业洛阳613所 国电南瑞科技股份有限公司 国电南瑞科技股份有限公司 南京南瑞继保电气有限公司

南京南瑞继保电气有限公司 南京苏美达动力产品有限公司 上海市电力公司 宿迁供电公司 阳光电源(上海)有限公司 中电电气太阳能研究院 南京埃斯顿自动化股份有限公司 南京普国科技有限公司 上海联影医疗科技有限公司 苏州汇川技术有限公司 国家知识产权局专利局专利审查协作江苏中心德州仪器半导体技术(上海)有限公司 德州仪器半导体技术(上海)有限公司 德州仪器半导体技术(上海)有限公司 德州仪器半导体技术(上海)有限公司 飞利浦中国照明事业部 飞思卡尔半导体(中国)有限公司上海分公司江森自控空调冷冻设备(无锡)有限公司 西门子数控(南京)有限公司 矽力杰半导体技术(杭州)有限公司 矽力杰半导体技术(杭州)有限公司 电力系统及自动化: 上海飞机制造有限公司 中国电子科技集团公司第四十三研究所 中国航空工业集团公司金城南京机电液压工程中国电子科技集团公司第二十一所 长园深瑞继保自动化有限公司南京办事处 国电南瑞科技股份有限公司 国电南瑞科技股份有限公司 南京南瑞继保电气有限公司 南京南瑞集团公司 阳光电源(上海)有限公司 南京亚派科技实业有限公司 上海科梁信息工程有限公司 苏州汇川技术有限公司 苏州汇川技术有限公司 无锡市硅动力微电子股份有限公司 亚派科技(南京) 正德职业技术学院 杭州茂力半导体技术有限公司 杭州茂力半导体技术有限公司 合肥阳光 江森自控空调冷冻设备(无锡)有限公司

半导体制造基本概念

半导体制造基本概念 晶圆(Wafer) 晶圆(Wafer)的生产由砂即(二氧化硅)开始,经由电弧炉的提炼还原成冶炼级的硅,再经由盐酸氯化,产生三氯化硅,经蒸馏纯化后,透过慢速分解过程,制成棒状或粒状的「多晶硅」。一般晶圆制造厂,将多晶硅融解后,再利用硅晶种慢慢拉出单晶硅晶棒。一支85公分长,重76.6公斤的8?? 硅晶棒,约需2天半时间长成。经研磨、??光、切片后,即成半导体之原料晶圆片。 光学显影 光学显影是在光阻上经过曝光和显影的程序,把光罩上的图形转换到光阻 下面的薄膜层或硅晶上。光学显影主要包含了光阻涂布、烘烤、光罩对准、曝光和显影等程序。小尺寸之显像分辨率,更在IC 制程的进步上,扮演着最关键的角色。由于光学上的需要,此段制程之照明采用偏黄色的可见光。因此俗称此区为黄光区。 干式蚀刻技术 在半导体的制程中,蚀刻被用来将某种材质自晶圆表面上移除。干式蚀刻(又称为电浆蚀刻)是目前最常用的蚀刻方式,其以气体作为主要的蚀刻媒介,并藉由电浆能量来驱动反应。 电浆对蚀刻制程有物理性与化学性两方面的影响。首先,电浆会将蚀刻气体分子分解,产生能够快速蚀去材料的高活性分子。此外,电浆也会把这些化学成份离子化,使其带有电荷。 晶圆系置于带负电的阴极之上,因此当带正电荷的离子被阴极吸引并加速向阴极方向前进时,会以垂直角度撞击到晶圆表面。芯片制造商即是运用此特性来获得绝佳的垂直蚀刻,而后者也是干式蚀刻的重要角色。 基本上,随着所欲去除的材质与所使用的蚀刻化学物质之不同,蚀刻由下列两种模式单独或混会进行:

1. 电浆内部所产生的活性反应离子与自由基在撞击晶圆表面后,将与某特定成份之表面材质起化学反应而使之气化。如此即可将表面材质移出晶圆表面,并透过抽气动作将其排出。 2. 电浆离子可因加速而具有足够的动能来扯断薄膜的化学键,进而将晶圆表面材质分子一个个的打击或溅击(sputtering)出来。 化学气相沉积技术 化学气相沉积是制造微电子组件时,被用来沉积出某种薄膜(film)的技术,所沉积出的薄膜可能是介电材料(绝缘体)(dielectrics)、导体、或半导体。在进行化学气相沉积制程时,包含有被沉积材料之原子的气体,会被导入受到严密控制的制程反应室内。当这些原子在受热的昌圆表面上起化学反应时,会在晶圆表面产生一层固态薄膜。而此一化学反应通常必须使用单一或多种能量源(例如热能或无线电频率功率)。 CVD制程产生的薄膜厚度从低于0.5微米到数微米都有,不过最重要的是其厚度都必须足够均匀。较为常见的CVD薄膜包括有: ■二气化硅(通常直接称为氧化层) ■氮化硅 ■多晶硅 ■耐火金属与这类金属之其硅化物 可作为半导体组件绝缘体的二氧化硅薄膜与电浆氮化物介电层(plasmas nitride dielectrics)是目前CVD技术最广泛的应用。这类薄膜材料可以在芯片内部构成三种主要的介质薄膜:内层介电层(ILD)、内金属介电层(IMD)、以及保护层。此外、金层化学气相沉积(包括钨、铝、氮化钛、以及其它金属等)也是一种热门的CVD应用。 物理气相沉积技术 如其名称所示,物理气相沉积(Physical Vapor Deposition)主要是一种物理制程而非化学制程。此技术一般使用氩等钝气,藉由在高真空中将氩离子加速以撞击溅镀靶材后,可将靶材原子一个个溅击出来,并使被溅击出来的材质(通常为铝、钛或其合金)如雪片般沉积在晶圆表面。制程反应室内部的高温与高真空环境,可使这些金属原子结成晶粒,再透过微影图案化(patterned)与蚀刻,来得到半导体组件所要的导电电路。 解离金属电浆(IMP)物理气相沉积技术

晶圆级封装产业

晶圆级封装产业(WLP) 晶圆级封装产业(WLP),晶圆级封装产业(WLP)是什么意思 一、晶圆级封装(Wafer Level Packaging)简介晶圆级封装(WLP,Wafer Level Package) 的一般定义为直接在晶圆上进行大多数或是全部的封装测试程序,之后再进行切割(singulation)制成单颗组件。而重新分配(redistribution)与凸块(bumping)技术为其I/O绕线的一般选择。WLP 一、晶圆级封装(Wafer Level Packaging)简介 晶圆级封装(WLP,Wafer Level Package) 的一般定义为直接在晶圆上进行大多数或是全部的封装测试程序,之后再进行切割(singulation)制成单颗组件。而重新分配(redistribution)与凸块(bumping)技术为其I/O绕线的一般选择。WLP封装具有较小封装尺寸(CSP)与较佳电性表现的优势,目前多用于低脚数消费性IC的封装应用(轻薄短小)。 晶圆级封装(WLP)简介 常见的WLP封装绕线方式如下:1. Redistribution (Thin film), 2. Encapsulated Glass substrate, 3. Gold stud/Copper post, 4. Flex Tape等。此外,传统的WLP封装多采用Fan-in 型态,但是伴随IC信号输出pin 数目增加,对ball pitch的要求趋于严格,加上部分组件对于封装后尺寸以及信号输出脚位位置的调整需求,因此变化衍生出Fan-out 与Fan-in + Fan-out 等各式新型WLP封装型态,其制程概念甚至跳脱传统WLP 封装,目前德商英飞凌与台商育霈均已经发展相关技术。 二、WLP的主要应用领域 整体而言,WLP的主要应用范围为Analog IC(累比IC)、PA/RF(手机放大器与前端模块)与CIS(CMOS Ima ge Sensor)等各式半导体产品,其需求主要来自于可携式产品(iPod, iPhone)对轻薄短小的特性需求,而部分NOR Flash/SRAM也采用WLP封装。此外,基于电气性能考虑,DDR III考虑采用WLP或FC封装,惟目前JEDEC仍未制定最终规格(注:至目前为止,Hynix, Samsung与Elpida已发表DDR III产品仍采F BGA封装),至于SiP应用则属于长期发展目标。此外,采用塑料封装型态(如PBGA)因其molding compo und 会对MEMS组件的可动部份与光学传感器(optical sensors)造成损害,因此MEMS组件也多采用WLP

半导体材料的发展现状与趋势

半导体材料的发展现状与趋势

半导体材料与器件发展趋势总结 材料是人类社会发展的物质基础与先导。每一种重大新材料的发现和应用都把人类支配自然的能力提高到一个全新的高度。材料已成为人类发晨的里程碑。本世纪中期单晶硅材料和半导体晶体管的发明及其硅集成电路的研究成功,导致了电子工业大革命。使微电子技术和计算机技术得到飞速发展。从20世纪70年代的初期,石英光纤材料和光学纤维的研制成功,以及GaAs 等Ⅲ-Ⅴ族化合物的材料的研制成功与半导体激光器的发明,使光纤通信成为可能,目前光纤已四通八达。我们知道,每一束光纤,可以传输成千上万甚至上百万路电话,这与激光器的发明以及石英光纤材料、光纤技术的发展是密不可分的。超晶格概念的提出MBE、MOCVD先进生长技术发展和完善以及超品格量子阱材料包括一维量子线、零维量子点材料的研制成功。彻底改变了光电器件的设计思想。使半导体器件的设计与制造从过去的杂质工程发展到能带工程。出现了以“电学特性和光学特性的剪裁”为特征的新范畴,使人类跨入到以量子效应为基础和低维结构

的制作过程中,它要发生沉淀,沉淀时的体积要增大,会导致缺陷产生,这将直接影响器件和电路的性能。因此,为了克服这个困难,满足超大规模集成电路的集成度的进一步提高,人们不得不采用硅外延片,就是说在硅的衬底上外延生长的硅薄膜。这样,可以有效地避免氧和碳等杂质的污染,同时也会提高材料的纯度以及掺杂的均匀性。利用外延方法,还可以获得界面非常陡、过渡区非常窄的结,这样对功率器件的研制和集成电路集成度进一步提高都是非常有好处的。这种材料现在的研究现状是6英寸的硅外延片已用于工业的生产,8英寸的硅外延片,也正在从实验室走向工业生产;更大直径的外延设备也正在研制过程中。 除此之外,还有一些大功率器件,一些抗辐照的器件和电路等,也需要高纯区熔硅单晶。区熔硅单晶与直拉硅单晶拉制条件是不一样的,它在生长时,不与石英容器接触,材料的纯度可以很高;利用这种材料,采用中子掺杂的办法,制成N或P型材料,用于大功率器件及电路的研制,特别是在空间用的抗辐照器件和电路方面,

晶圆详细介绍

目录 1.01晶圆 2.01制造过程 3.01著名晶圆厂商 4.01制造工艺 4.02表面清洗 4.03初次氧化 4.04热CVD 4.05热处理 4.06除氮化硅 4.07离子注入 4.08退火处理 4.09去除氮化硅层 4.10去除SIO2层 4.11干法氧化法 4.12湿法氧化 4.13氧化 4.14形成源漏极 4.15沉积 4.16沉积掺杂硼磷的氧化层 4.17深处理 5.01专业术语 1.01晶圆

晶圆(Wafer)是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片,由于其形状为圆形,故称为晶圆。晶圆是生产集成电路所用的载体,一般意义晶圆多指单晶硅圆片。 晶圆是最常用的半导体材料,按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等规格,近来发展出12英寸甚至研发更大规格(14英吋、15英吋、16英吋、……20英吋以上等)。晶圆越大,同一圆片上可生产的IC就越多,可降低成本;但对材料技术和生产技术的要求更高,例如均匀度等等的问题。一般认为硅晶圆的直径越大,代表着这座晶圆厂有更好的技术,在生产晶圆的过程当中,良品率是很重要的条件。 2.01制造过程 二氧化硅矿石经由电弧炉提炼,盐酸氯化并经蒸馏后,制成了高纯度的多晶硅,其纯度高达99.999999999%,因在精密电子元件当中,硅晶圆需要有相当的纯度,不然会产生缺陷。晶圆制造厂再以柴可拉斯基法将此多晶硅熔解,再于溶液内掺入一小粒的硅晶体晶种,然后将其慢慢拉出,以形成圆柱状的单晶硅晶棒,由于硅晶棒是由一颗小晶粒在融熔态的硅原料中逐渐生成,此过程称为“长晶”。硅晶棒再经过切片、研磨、抛光后,即成为集成电路工厂的基本原料——硅晶圆片,这就是“晶圆”。 很简单的说,单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼,经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒,单晶硅棒经过切片、抛光之后,就成为了晶圆。 晶圆经多次光掩模处理,其中每一次的步骤包括感光剂涂布、曝光、显影、腐蚀、渗透、植入、刻蚀或蒸著等等,将其光掩模上的电路复制到层层晶圆上,制成具有多层线路与元件的IC晶圆,再交由后段的测试、切割、封装厂,以制成实体的集成电路成品,从晶圆要加工成为产品需要专业精细的分工。 3.01著名晶圆厂商 只制造硅晶圆基片的厂商 例如合晶(台湾股票代号:6182)、中美晶(台湾股票代号:5483)、信越化学等。 晶圆制造厂 著名晶圆代工厂有台积电、联华电子、格罗方德(Global Fundries)及中芯国际等。英特尔(Intel)等公司则自行设计并制造自己的IC晶圆直至完成并行销其产品。三星电子等则兼有晶圆代工及自制业务。南亚科技、瑞晶科技(现已并入美光科技,更名台湾美光内存)、Hynix、美光科技(Micron)等则专于内存产品。日月光半导体等则为晶圆产业后段的封装、测试厂商。 4.01制造工艺 4.02表面清洗 晶圆表面附着大约2um的Al2O3和甘晶圆,油混合液保护层,在制作前必须进行化学刻蚀和表面清洗。

【CN209496332U】一种电源管理系统【专利】

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201920426318.4 (22)申请日 2019.03.29 (73)专利权人 矽力杰半导体技术(杭州)有限公 司 地址 310051 浙江省杭州市滨江区西兴街 道联慧街6号 (72)发明人 陈建淳 王忠富  (51)Int.Cl. G06F 1/26(2006.01) (54)实用新型名称 一种电源管理系统 (57)摘要 公开了一种电源管理系统,主电源管理单元 通过通信接口与至少一个子电源管理单元连接, 以实现同步控制,从而使得控制方式灵活,可以 方便地增加子电源管理单元而无需改变具体电 路,同时减少引脚的数量, 节省芯片体积与成本。权利要求书1页 说明书3页 附图4页CN 209496332 U 2019.10.15 C N 209496332 U

权 利 要 求 书1/1页CN 209496332 U 1.一种电源管理系统,其特征在于,包括: 至少一个子电源管理单元,以实现功率转换;以及 主电源管理单元,被配置通过通信接口实现与所述至少一个子电源管理单元的同步控制。 2.根据权利要求1所述的电源管理系统,其特征在于,所述电源管理系统还包括: 通用寄存器,用于存储指令信息,从而控制所述至少一个子电源管理单元与所述主电源管理单元的工作状态。 3.根据权利要求2所述的电源管理系统,其特征在于,所述通用寄存器与所述主电源管理单元位于同一封装体中。 4.根据权利要求2所述的电源管理系统,其特征在于,所述主电源管理单元可以访问通用寄存器中的数据并写入所述至少一个子电源管理单元,从而实现同步控制。 5.根据权利要求1所述的电源管理系统,其特征在于,所述至少一个子电源管理单元包括升压拓扑、降压拓扑或升降压拓扑。 6.根据权利要求1所述的电源管理系统,其特征在于,所述至少一个子电源管理单元独立于所述主电源管理单元而封装。 2

光刻和晶圆级键合技术在3D互连中的研究

光刻和晶圆级键合技术在3D互连中的研究 作者:Margarete Zoberbier、Erwin Hell、Kathy Cook、Marc Hennemayer、Dr.-Ing. Barbara Neuber t,SUSS MicroTec 日益增长的消费类电子产品市场正在推动当今半导体技术的不断创新发展。各种应用对增加集成度、降低功耗和减小外形因数的要求不断提高,促使众多结合了不同技术的新结构应运而生,从而又催生出诸多不同的封装方法,因此可在最小的空间内封装最多的功能。正因如此,三维集成被认为是下一代的封装方案。 本文将探讨与三维互连技术相关的一些光刻挑战。还将讨论三维封装使用的晶圆键合技术、所面临的各种挑战、有效的解决方案及未来发展趋势。 多种多样的三维封装技术 为了适应更小引脚、更短互连和更高性能的要求,目前已开发出系统封装(SiP)、系统芯片(SoC)和封装系统(SoP)等许多不同的三维封装方案。SiP即“单封装系统”,它是在一个IC封装中装有多个引线键合或倒装芯片的多功能系统或子系统。无源元件、SAW/BA W滤波器、预封装IC、接头和微机械部件等其他元件都安装在母板上。这一技术造就了一种外形因数相对较小的堆叠式芯片封装方案。 SoC可以将所有不同的功能块,如处理器、嵌入式存储器、逻辑心和模拟电路等以单片集成的方式装在一起。在一块半导体芯片上集成系统设计需要这些功能块来实现。通常,So C设计与之所取代的多芯片系统相比,它的功耗更小,成本更低,可靠性更高。而且由于系统中需要的封装更少,因而组装成本也会有所降低。 SoP采用穿透通孔和高密度布线以实现更高的小型化。它是一种将整个系统安装在一个芯片尺寸封装上的新兴的微电子技术。过去,“系统”往往是一些容纳了数百个元件的笨重的盒子,而SoP可以将系统的计算、通信和消费电子功能全部在一块芯片上完成,从而节约了互连时间,减少了热量的产生。 最近穿透硅通孔(TSV)得到迅速发展,已成为三维集成和晶圆级封装(WLP)的关键技术之一。三维TSV已显现出有朝一日取代引线键合技术的潜力,因此它可以使封装尺寸进

半导体晶圆处理制程

晶圆处理制程 基本晶圆处理步骤通常是晶圆先经过适当的清洗(Cleaning)之后,送到热炉管(Furnace )内,在含氧的环境中,以加热氧化(Oxidation)的方式在晶圆的表面形成一层厚约数百个的二氧化硅层,紧接着厚约1000到2000的氮化硅层将以化学气相沈积Chemical Vapor Deposition;CVP)的方式沈积(Deposition)在刚刚长成的二氧化硅上,然后整个晶圆将进行微影(Lithography)的制程,先在晶圆上上一层光阻(Photoresist),再将光罩上的图案移转到光阻上面。接着利用蚀刻(Etching)技术,将部份未被光阻保护的氮化硅层加以除去,留下的就是所需要的线路图部份。接着以磷为离子源(Ion Source),对整片晶圆进行磷原子的植入(Ion Implantation),然后再把光阻剂去除(Photoresist Scrip)。制程进行至此,我们已将构成集成电路所需的晶体管及部份的字符线(Word Lines),依光罩所提供的设计图案,依次的在晶圆上建立完成,接着进行金属化制程(Metallization),制作金属导线,以便将各个晶体管与组件加以连接,而在每一道步骤加工完后都必须进行一些电性、或是物理特性量测,以检验加工结果是否在规格内(Inspection and Measurement);如此重复步骤制作第一层、第二层...的电路部份,以在硅晶圆上制造晶体管等其它电子组件;最后所加工完成的产品会被送到电性测试区作电性量测。 根据上述制程之需要,FAB厂内通常可分为四大区: 1)黄光本区的作用在于利用照相显微缩小的技术,定义出每一层次所需要的电路图,因为采用感光剂易曝光,得在黄色灯光照明区域内工作,所以叫做「黄光区」。 2)蚀刻经过黄光定义出我们所需要的电路图,把不要的部份去除掉,此去除的步骤就> 称之为蚀刻,因为它好像雕刻,一刀一刀的削去不必要不必要的木屑,完成作品,期间又利用酸液来腐蚀的,所 以叫做「蚀刻区」。 3)扩散本区的制造过程都在高温中进行,又称为「高温区」,利用高温给予物质能量而产生运动,因为本区的机台大都为一根根的炉管,所以也有人称为「炉管区」,每一根炉管都有不同的作用。 4)真空本区机器操作时,机器中都需要抽成真空,所以称之为真空区,真空区的机器多用来作沈积暨离子植入,也就是在Wafer上覆盖一层薄薄的薄膜,所以又称之为「薄膜区」。在真空区中有一站称为 晶圆允收区,可接受芯片的测试,针对我们所制造的芯片,其过程是否有缺陷,电性的流通上是否 有问题,由工程师根据其经验与电子学上知识做一全程的检测,由某一电性量测值的变异判断某一 道相关制程是否发生任何异常。此检测不同于测试区(Wafer Probe)的检测,前者是细部的电子 特性测试与物理特性测试,后者所做的测试是针对产品的电性功能作检测。

晶圆封装测试工序和半导体制造工艺流程0001

盛年不重来,一日难再晨。及时宜自勉,岁月不待人 盛年不重来,一日难再晨。及时宜自勉,岁月不待人 A.晶圆封装测试工序 一、IC检测 1. 缺陷检查Defect Inspection 2. DR-SEM(Defect Review Scanning Electro n Microscopy) 用来检测出晶圆上是否有瑕疵,主要是微尘粒子、刮痕、残留物等问题。此外,对已印有电路图案的图案晶圆成品而言,则需要进行深次微米范围之瑕疵检测。一般来说,图案晶圆检测系统系以白光或雷射光来照射晶圆表面。再由一或多组侦测器接收自晶圆表面绕射出来的光线,并将该影像交由高功能软件进行底层图案消除,以辨识并发现瑕疵。 3. CD-SEM(Critical Dime nsioi n Measureme nt) 对蚀刻后的图案作精确的尺寸检测。 二、IC封装 1. 构装(Packaging) IC构装依使用材料可分为陶瓷(ceramic )及塑胶(plastic )两种,而目前商业应用上则以塑胶构装为主。以塑胶构装中打线接合为例,其步骤依序为晶片切割( die saw)、黏晶(die mount / die bond)、焊线(wire bon d)、圭寸胶(mold )、剪切/ 成形(trim / form )、印字(mark )、电镀(plating )及检验(inspection )等。 (1) 晶片切割(die saw ) 晶片切割之目的为将前制程加工完成之晶圆上一颗颗之晶粒(die )切割分离。举例来说:以 0.2微米制程技术生产,每片八寸晶圆上可制作近六百颗以上的64M微量。 欲进行晶片切割,首先必须进行晶圆黏片,而后再送至晶片切割机上进行切割。切割完后之 晶粒井然有序排列于胶带上,而框架的支撐避免了胶带的皱褶与晶粒之相互碰撞。 (2) 黏晶(die mou nt / die bo nd ) 黏晶之目的乃将一颗颗之晶粒置于导线架上并以银胶(epoxy)粘着固定。黏晶完成后之导线 架则经由传输设备送至弹匣( magazi ne )内,以送至下一制程进行焊线。 ⑶焊线(wire bond ) IC构装制程(Packaging )则是利用塑胶或陶瓷包装晶粒与配线以成集成电路( Integrated Circuit ;简称IC),此制程的目的是为了制造出所生产的电路的保护层,避免电路受到机械

华科电气就业统计

声明:以下数据来源于白云黄鹤,我按时间顺序整理了下。仅做参考,含一定隐私因素,请不要大肆传播。 @13华科电气考研群226529052 【2009届硕士】 电工理论与新技术曾××男统分广东电网公司佛山供电局电工理论与新技术陈××男统分广东省佛山电力设计院有限公司 电工理论与新技术陈××男统分广东天联工程有限公司 电工理论与新技术马××女统分国网电力科学研究院 电工理论与新技术黎××男统分湖南省电力公司超高压管理局 电工理论与新技术张××男统分华中科技大学录博 电工理论与新技术沈××男统分江苏省电力公司常州供电公司 电工理论与新技术叶××男统分南京供电公司 电工理论与新技术李××男统分山特电子(深圳)有限公司电机与电器杨××男统分阿海珐电力自动化有限公司 电机与电器刘××男统分东方电气集团东方电机有限公司 电机与电器肖××男统分东方电气集团东方电机有限公司 电机与电器李××男统分广东省电力工业局试验研究所 电机与电器王××男统分广东省信息技术应用研究所 电机与电器吴××男统分国电南京自动化股份有限公司 电机与电器国××男统分国网电力科学研究院 电机与电器赵××男统分国网电力科学研究院 电机与电器唐××男统分湖北省电力公司宜昌供电公司 电机与电器邓××男统分湖南送变电勘察设计咨询有限公司电机与电器程××男统分华中科技大学录博 电机与电器段××男统分华中科技大学录博 电机与电器刘××男统分华中科技大学录博 电机与电器刘××男统分华中科技大学录博 电机与电器冯××女统分华中科技大学录博 电机与电器曾××男统分华中科技大学录博

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半导体技术-晶圆制备

晶圆制备 硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素。地壳成分中27.8%是硅元素构成的,其次是氧元素,硅是自然界中最丰富的元素。在石英、玛瑙、燧石和普通的滩石中就可以发现硅元素。硅是建筑材料水泥、砖、和玻璃中的主要成分,也是大多数半导体和微电子芯片的主要原料。有意思的是,硅自身的导电性并不是很好。然而,可以通过添加适当的搀杂剂来精确控制它的电阻率。 半导体硅制备 半导体器件和电路在半导体材料晶圆的表层形成,半导体材料通常是硅。这些晶圆的杂质含量水平必须非常低,必须掺杂到指定的电阻率水平,必须是指定的晶体结构,必须是光学的平面,并达到许多机械及清洁度的规格要求。制造IC级的硅晶圆分四个阶段进行: 矿石到高纯气体的转变; 气体到多晶的转变; 多晶到单晶,掺杂晶棒的转变; 晶棒到晶圆的制备。 半导体制造的第一个阶段是从泥土里选取和提纯半导体材料的原料。提纯从化学反应开始。对于硅,化学反应是矿石到硅化物气体,例如四氯化硅或三氯硅烷。杂质,例如其他金属,留在矿石残渣里。硅化物再和氢反应生成半导体级的硅。这样的硅的纯度达99.9999999%,是地球上最纯的物质之一。它有一种称为多晶或多晶硅的晶体结构。 制造半导体前,必须将硅转换为晶圆片。这要从硅锭的生长开始。单晶硅是原子以三维空间模式周期形成的固体,这种模式贯穿整个材料。多晶硅是很多具有不同晶向的小单晶体单独形成的,不能用来做半导体电路。多晶硅必须融化成单晶体,才能加工成半导体应用中使用的晶圆片。 加工硅晶片 生成一个硅锭要花一周到一个月的时间,这取决于很多因素,包括大小、质量和终端用户要求。超过 75%的单晶硅晶圆片都是通过 Czochralski (CZ) 直拉法生长的。CZ 硅锭生长需要大块的纯净多晶硅将这些块状物连同少量的特殊III、V族元素放置在石英坩埚中,这称为搀杂。加入的搀杂剂使那些长大的硅锭表现出所需要的电特性。最普通的搀杂剂是硼、磷、砷和锑。因使用的搀杂剂不同,会成为一个 P 型或N型的硅锭(P 型 / 硼, N 型 / 磷、锑、砷),然后将这些物质加热到硅的熔点--摄氏1420度之上。一旦多晶硅和搀杂剂混合物熔解,便将单晶硅种子放在熔解物的上面,只接触表面。种子与要求的成品硅锭有相同的晶向。为了使搀杂均匀,子晶和用来熔化硅的坩埚要以相反的方向旋转。一旦达到晶体生长的条件,子晶就从熔化物中慢慢被提起。生长过程开始于快速提拉子晶,以便使生长过程初期中子晶内的晶缺陷降到最少。然后降低拖拉速度,使晶体的直径增大。当达到所要求的直径时,生长条件就稳定下来以保持该直径。因为种子是慢慢浮出熔化物的,种子和熔化物间的表面张力在子晶表面上形成一层薄的硅膜,然后冷却。冷却时,已熔化硅中的原子会按照子晶的晶体结构自我定向。

晶圆级封装WLP优势

晶圆级封装W L P优势 The Standardization Office was revised on the afternoon of December 13, 2020

晶圆级封装(WLP)优势 晶圆级封装(WLP)以BGA技术为基础,是一种经过改进和提高的CSP(芯片级封装),充分体现了BGA、CSP的技术优势。它具有许多独特的优点。 晶圆级封装(Wafer Level Package,WLP)采用传统的IC工艺一次性完成后道几乎所有的步骤,包括装片、电连接、封装、测试、老化,所有过程均在晶圆加工过程中完成,之后再划片,划完的单个芯片即是已经封装好的成品;然后利用该芯片成品上的焊球阵列,倒装焊到PCB板上实现组装。WLP的封装面积与芯片面积比为1:1,而且标准工艺封装成本低,便于晶圆级测试和老化。 晶圆级封装以BGA技术为基础,是一种经过改进和提高的CSP,充分体现了BGA、CSP的技术优势。它具有许多独特的优点: (1)封装加工效率高,它以晶圆形式的批量生产工艺进行制造; (2)具有倒装芯片封装的优点,即轻、薄、短、小; 图5 WLP的尺寸优势 (3)晶圆级封装生产设施费用低,可充分利用晶圆的制造设备,无须投资另建封装生产线; (4)晶圆级封装的芯片设计和封装设计可以统一考虑、同时进行,这将提高设计效率,减少设计费用; (5)晶圆级封装从芯片制造、封装到产品发往用户的整个过程中,中间环节大大减少,周期缩短很多,这必将导致成本的降低;

(6)晶圆级封装的成本与每个晶圆上的芯片数量密切相关,晶圆上的芯片数越多,晶圆级封装的成本也越低。晶圆级封装是尺寸最小的低成本封装。晶圆级封装技术是真正意义上的批量生产芯片封装技术。 WLP的优势在于它是一种适用于更小型集成电路的芯片级封装(CSP)技术,由于在晶圆级采用并行封装和电子测试技术,在提高产量的同时显著减少芯片面积。由于在晶圆级采用并行操作进行芯片连接,因此可以大大降低每个I/O 的成本。此外,采用简化的晶圆级测试程序将会进一步降低成本。利用晶圆级封装可以在晶圆级实现芯片的封装与测试。

矽力杰半导体技术(杭州)有限公司_招标190923

招标投标企业报告 矽力杰半导体技术(杭州)有限公司

本报告于 2019年9月23日 生成 您所看到的报告内容为截至该时间点该公司的数据快照 目录 1. 基本信息:工商信息 2. 招投标情况:招标数量、招标情况、招标行业分布、投标企业排名、中标企业 排名 3. 股东及出资信息 4. 风险信息:经营异常、股权出资、动产抵押、税务信息、行政处罚 5. 企业信息:工程人员、企业资质 * 敬启者:本报告内容是中国比地招标网接收您的委托,查询公开信息所得结果。中国比地招标网不对该查询结果的全面、准确、真实性负责。本报告应仅为您的决策提供参考。

一、基本信息 1. 工商信息 企业名称:矽力杰半导体技术(杭州)有限公司统一社会信用代码:91330100673960735E 工商注册号:330100400019553组织机构代码:673960735 法定代表人:Wei Chen成立日期:2008-04-22 企业类型:有限责任公司(外国法人独资)经营状态:存续 注册资本:6852万美元 注册地址:浙江省杭州市西湖区文三路90号71幢A1501-A1505、A1509-A1511室 营业期限:2008-04-22 至 2028-04-21 营业范围:技术开发、技术服务、成果转让:系统集成,集成电路及模块,半导体,电子产品;生产、测试、安装:高功率密度、高效率单片电源芯片;销售自产产品(国家禁止和限制的项目除外,涉及许可证的凭证经营)。 联系电话:*********** 二、招投标分析 2.1 招标数量 企业招标数: 个 (数据统计时间:2017年至报告生成时间)2

半导体材料的发展简史

半导体材料的发展简史 半导体的发现实际上可以追溯到很久以前,1833年,英国巴拉迪最先发现硫化银的电阻随着温度的变化情况不同于一般金属,一般情况下,金属的电阻随温度升高而增加,但巴拉迪发现硫化银材料的电阻是随着温度的上升而降低。这是半导体现象的首次发现。不久,1839年法国的贝克莱尔发现半导体和电解质接触形成的结,在光照下会产生一个电压,这就是后来人们熟知的光生伏特效应,这是被发现的半导体的第二个特征。1873年,英国的史密斯发现硒晶体材料在光照下电导增加的光电导效应,这是半导体又一个特有的性质。半导体的这四个效应,(jianxia霍尔效应的余绩──四个伴生效应的发现)虽在1880年以前就先后被发现了,但半导体这个名词大概到1911年才被考尼白格和维斯首次使用。而总结出半导体的这四个特性一直到1947年12月才由贝尔实验室完成。在1874年,德国的布劳恩观察到某些硫化物的电导与所加电场的方向有关,即它的导电有方向性,在它两端加一个正向电压,它是导通的;如果把电压极性反过来,它就不导电,这就是半导体的整流效应,也是半导体所特有的第三种特性。同年,舒斯特又发现了铜与氧化铜的整流效应。 半导体材料是半导体工业的基础,它的发展对半导体工业的发展具有极大的影响。如果按化学成分及内部结构,半导体材料大致可以分为以下几类:一是元素半导体材料,包括锗(Ge)、硅(Si)、硒(Se)、硼(B)等。20世纪50年代,锗在半导体工业中占主导地位,但锗半导体器件的耐高温和抗辐射性能较差,到20世纪60年代后期逐渐被硅材料取代。用硅制造的半导体器件,耐高温和抗辐射性能较好,特别适宜制作大功率器件。因此,硅已成为应用最多的一种半导体材料,目前的集成电路大多数是用硅材料制造的。二是化合物半导体,它是由两种或两种以上的元素化合而成的半导体材料。它的种类很多,重要的有砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)、锑化铟(InSb)、氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC)、硫化镉(CdS)等。其中砷化镓是除硅之外研究最深入、应用最广泛的半导体材料。由于砷化镓是一种直接带隙的半导体材料,并且具有禁带宽度宽、电子迁移率高的优点,因而砷化镓材料不仅可直接研制光电子器件,如发光二极管、可见光激光器、近红外激光器、量子阱大功率激光器、红外探测器和高效太阳能电池等,而且在微电子方面,以半绝缘砷化镓(Si-GaAs)为基体,用直接离子注入自对准平面工艺研制的砷化镓高速数字电路、微波单片电路、光电集成电路、低噪声及大功率场效应晶体管,具有速度快、频率高、低功耗和抗辐射等特点。碳化硅由于其抗辐射能力强、耐高温和化学稳定性好,在航天技术领域有着广泛的应用。氮化镓材料是近十年才成为研究热点,它是一种宽禁带半导体材料(Eg=3.4eV),具有纤锌矿结构的氮化镓属于直接跃迁型

半导体晶圆切割

By Dianne Shi and Ilan Weisshas 本文介绍,先进圭寸装(advaneed packaging的后端工艺(back-end)之一: xx 圆切片(wafer dicing)。 在过去三十年期间,切片(dieing)系统与刀片(blade)已经不断地改进以对付工艺的挑战和接纳不同类型基板的要求。最新的、对生产率造成最大影响的设备进展包括: 采用两个切割(two cuts)同时进行的、将超程(overtravel)减到最小的双轴(dual-spindle)切片系统,代表性的有日本东精精密的AD3000T和AD2000T;自动心轴扭力监测和自动冷却剂流量调节能力。重大的切片刀片进步包括一些刀片,它们用于很窄条和/或较高芯片尺寸的晶圆、以铜金属化的晶圆、非常薄的晶圆、和在切片之后要求表面抛光的元件用的晶圆。许多今天要求高的应用都要求设备能力和刀片特性两方面都最优化的工艺,以尽可能最低的成本提供尽可能高的效率。 最近,日本东精精密又向市场推出了非接触式的激光切割设备ML200和 ML300 型 切片机制(The Dicing Mechanism) 硅晶圆切片工艺是在“后端”装配工艺中的第一步。该工艺将晶圆分成单个的芯片,用于随后的芯片接合(die bon di ng)、弓I线接合(wire bonding)和测试工序。 一个转动的研磨盘(刀片)完成切片(dicing)。一根心轴以高速, 30,000~60,000rpm (83~175m/sec的线性速度)转动刀片。该刀片由嵌入电镀镍矩 阵黏合剂中的研磨金刚石制成。 在芯片的分割期间,刀片碾碎基础材料(晶圆),同时去掉所产生的碎片。材料的去掉沿着晶方(dice)的有源区域之间的专用切割线(迹道)发生的。冷却剂(通常是去离子水)指到切割缝内,改善切割品质,和通过帮助去掉碎片而延长刀片寿命。每条迹道(street)的宽度(切口)与刀片的厚度成比例。 关键工艺参数 硅圆片切割应用的目的是将产量和合格率最大,同时资产拥有的成本最

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