GXS干式螺杆真空泵-EdwardsVacuum

干式真空泵介绍及发展现状

干式真空泵介绍及发展现状 干式真空泵式指泵能从大气压下开始抽气，又能将气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或接近的机械真空泵。 目前，大多数机械真空泵都是用油、水或其他流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科技发展及真空应用领域的扩大，原有的真空泵出现了两个急需解决的问题：一是泵的工作解释返流污染被抽容器，在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本;其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，是泵不能正常工作。这时就要用到干式真空泵。 干式真空泵的应用主要有以下几个方面： 1.低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺 2.半导体刻蚀工艺，在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。 3.除半导体工艺外某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式真空泵可以满足要求。 4.在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵。 5.用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。 随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。 为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。 真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。 水环式真空泵/液环真空泵的工作原理： 水环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2

干式螺杆真空泵质量及工作原理

干式螺杆真空泵质量及工作原理 干式螺杆泵属于新型的真空泵型，其开发出来主要是为了替换传统水环真空泵、油环真空泵等其他泵型的。因其独特的设计原理，可做到无油无水，可做耐腐蚀涂层，优良的密封设计，除了价格稍贵一点外，无论从哪一方面都将远远超过传统真空泵的性能。 如何判断干式螺杆真空泵是否合格，可以从以下几个方面判断： 1、极限真空度:当然极限真空度越低越好，目前国产一般在5Pa左右，进口的在1Pa 左右。 2、震动及噪音：震动一定要小，噪音一定要小80分贝内为好。 3、若是有易腐蚀性环境中使用，最好能向厂家要一点同样涂层的样片，拿到厂里放介质溶济里做下试验，每个厂家使用的涂层或镀层配比不一样，它的性能当然也会有较大差异。 4、密封性：这个也很重要，但也只能从厂家推介说明上了解，最直接还是接入系统后通介质测定是不是有泄漏。 基本上就是以上几点来判断，第一和第二点决定了真空泵机加工水平和设计技术的水平如何，这个也将真接影响泵的使用寿命，第三和第四点也会影响其寿命，但也需要实验证明。 总的来说目前螺杆泵因为成本较高，建议还是选用进口的，欧美日韩的相对较贵，台系的其实也是不错的选择。 干式螺杆真空泵是技术含量非常高的科技产品，主要应用于高纯净的真空工艺过程, 真空度极高，可适应恶劣工况，具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力，特别适宜于洁净环境，且易做防腐处理，特别适用于电子，化工，生物医药，金属加工，食品加工等领域。

1、工作腔内无任何介质，可获得清洁真空 2、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况 3、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体 4、单台泵可从大气抽至1Pa，真空系统可大大简化。 5、水温对真空影响小，节水达90%以上,甚至可以不耗水。 6、不耗油,无滴漏 7、旋转部件间无摩擦,可高速运转,整机体积小 8、结构简单，维护方便。 9、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收更便捷。

LZG-30单头螺杆型干式真空泵的建模与仿真

摘要 本文的研究对象,螺杆型干式真空泵,吸入腔没有任何工作液,保证了空间用泵无污染;没有油蒸汽排放,保证清洁的外部环境。由于转子齿面之间有间隙,因而可以抽除含有灰尘或腐蚀性的有毒气体。本课题主要集中在以下几个方面:基本原理的干式螺杆真空泵,阴阳转子螺杆型线的研究,螺旋型面线是单边等螺距型线,演绎数学的计算,建立几何模型面型线方程推导,然后螺旋齿面方程推导。几何特征研究等。 设计完成后应用solidworks软件做运动仿真对真空泵转子做三维建模,并且模拟转子运动展示其工作过程. 关键词:干式螺杆真空泵转子型线三维建模运动仿真

Modeling and Simulation of LGZ-30 single screw dry vacuum pump Abstract The research object of this paper, Dry screw vacuum pump, The suction chamber with no working fluid, ensure the space is pumped from pollution; No oil vapor emissions, guarantee the clean of the external environment. Due to the gaps between the rotor tooth surface of Yin and Yang, thus it can be pumped in addition to containing dust, or corrosive, poisonous gases. The author studies mainly focus on the following aspects: the basic principles of dry screw vacuum pump. Yin and Yang screw type line of research. Screw type face line made bilateral symmetric circular arc line, deduce the mathematical expressions of meshing principle, establish geometric model face type line equation is deduced, and then screw tooth surface equation is deduced. Geometric characteristics research, etc. After the design is completed using SolidWorks software to do motion simulation to do 3D modeling of vacuum pump rotor.And the simulation of rotor motion display their works. Keywords: dry screw vacuum pump rotor type line Three-dimensional modeling Motion simulation

sihidry干式真空泵说明手册范本

中石化高桥分公司SIHIdry螺杆干式真空泵 说明手册 SIHIdry螺杆干式真空泵

第一部分安全说明 安全说明部分描述了SIHIdry干式真空泵的操作和维护过程中需要了解和遵守的指示和警告。泵的操作和维护人员务必掌握有关安全知识，提高自身防护以及设备防护能力。 1.1前言 1、在阅读说明手册之前请不要操作设备； 2 1.2注意 以上安全说明标签贴在你所购买的设备上，请勿移除、覆盖或弄脏； 如果不正确遵守以上警告，有可能会导致操作人员的人身伤害。 1.3安全 1.个人培训及上岗认证 必须明确操作此设备人员的职责。如果不具备必须的专业知识，必须经过卖方的培训以保证机器的安全操作。 2.不遵守安全指令的风险 不遵守安全指令会对个人、环境、系统都面临一定的风险，更会导致损失。举例来说，可能会面临如下风险： 导致系统产生重大故障 一些特定的维护和修复程序产生损坏 让操作人员面临电气、机械以及化学危害的风险 向环境释放危险物质的风险 3.操作运行安全指南 当吸入自燃气体时，尤其含有氧气时，需引入惰性气体。 当进料介质为化学性质不稳定的气体或蒸汽时，这些被认为是可能的危险源，额外的安全措施是需要的，以阻止聚合或过氧化氢物的形成。 当易燃、易爆、有毒和高温的气体或水蒸气作为进料介质时，要确保对环境和人没有危害。 真空系统中流量、温度、压力的参数的设置是为了安全操作，改变时需要咨询真空泵厂家系统在运行时，避免拆除部件，比如说拆除冷却液输送泵的联轴器。 泄漏的危险介质必须立即处理以避免对人员、环境造成伤害。相应的法律法规必须遵守。 由于电气造成的风险已经排除.(详情如下：通过地方企业认证、VDE认证). 4.维护、检查和安装时安全指南 在开关泵时，严格安装操作守则中的条目进行。 泵系统输送危险介质时要及时进行排出。 5.所有安全保护装置必须重新安装，在完成安装后，必须进行一次操作调试。 当重新调试设备时，要遵循操作手中的相关条款。 如需对泵进行拆卸等工作，泵需要先停机，必须完全停下时，在与电气单元脱开连接后方可进行拆卸。 6未经过授权的改变和使用非原厂备件

干式真空泵装置

（自主）研究开发项目计划书 项目名称VD炉上的干式真空泵组装置 企业名称无锡东雄重型电炉有限公司 企业法人（签名） 项目负责人高建华电话0510-8 项目联系人谢立民电话0510-8 项目起止时间2014 年3月至2014 年8 月填报日期2014年10月20日

一、立项依据 1.国内外现状、水平和发展趋势： 真空脱气处理工艺，作为炉外精炼的一种，在冶金工业得到广泛使用。其原理利用对真空室进行抽真空，在真空状态下 对钢水进行脱气，降低钢水中的[H]、[N]，同时利用钢渣界面 反应进行脱硫处理。在大型现代化冶金生产中，VD钢包真空 精炼已成为现代二次冶金的基本手段。在世界钢铁冶炼技术 中，VD钢包真空精炼炉作为钢铁企业生产高洁净度钢水的必 备精炼装置，其应用可直接影响产品结构和钢材品质的优化提 升；而在全球VD精炼工艺100多年的发展应用中，尤其是国 内的近二十年，全部采用的是成熟的湿法（以蒸汽为动力的蒸 汽喷射泵）抽真空技术。 钢水真空脱气（VD）及真空氧脱碳（VOD）是两个主要二次炼钢法。处理时钢水中会逸出大量溶解杂质气体并产生金属细粉及氧化物粉尘，因而需采用坚固、抽力极大的真空抽吸设备。目前面世的最新干式机械真空抽吸设备之所以比先前所用同类用途设备优越，就在于新设备能更有效地排除粉尘、提高抽吸速度、降低生产成本及维护费用。干式（机械）真空泵与蒸汽喷射泵的最大区别在于驱动能源，前者采用电能，而后者则采用蒸汽。然而，炼钢生产本身就是钢铁流程中最为复杂的工序之一，其中精炼又是炼钢工序中技术最密集的环节，从工艺到技术结构上都有巨大的挑战。 2.项目开发的目的、意义 目前，无论是新建设备，还是已有设备的升级，对真空脱气处理的项目投资都在继续增加，其原因是厂家们看准了这种投资带来的机遇：提高产品质量，推出独具特色的钢就能使钢

干式螺杆真空泵的优点和缺点上传百度文库

北京卓力新航代理爱德华真空包括（GXS系列、EOS系列、EH系列、E系列）、soluvac干式螺杆真空泵WIN系列。 干式螺杆真空泵俗称螺杆泵，主要是利用一对螺杆，其特点是两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间有一定的间隙，所以使得干式螺杆真空泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高。但是在我国使用的螺杆泵主要依靠进口，进口的主要泵是韩国的soluvac、英国的爱德华、美国的希赫，其中韩国性价比比较符合国内大多数医药化工企业，爱德华属于在全球属于最受欢迎的品牌，有适用于各种工况的成品和机组。 干式螺杆真空泵，它利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。它的优势弥补了油封式真空泵的不足，我们都称之为油封式真空泵的升级版。但是干式螺杆真空泵的造价也是它的不足之处。接下来主要介绍它的优点和缺点： 干式螺杆真空泵的优点： 1、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况 2、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体 3、不耗油，无滴漏 4、结构简单，维护方便。 5、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收更便捷。 干式螺杆真空泵的缺点：

1、由于螺杆泵加工难度大，我国使用的螺杆泵主要依靠进口，价格非常昂贵。 2、不适于抽除含有爆炸性的气体。 3、不适于抽除含氧过高的气体。 随着我国工业界的发展，在半导体工业、液晶显示器等工艺制造中，对清洁真空环境的要求越来越高，而传统的有油真空泵已经达不到这样的要求了。螺杆型干式真空泵以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点，得到越来越多制造和应用单位的重视，在干式真空泵市场中占有重要的地位。在欧美和日本等发达国家，螺杆型干式真空泵在很多领域已经越来越多的代替了传统的有油泵。

干式螺杆真空泵研究现状与展望(1)

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟 干式螺杆真空泵研究现状与展望(1) 目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，通常的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大, 真空获得产品已经出现更新换代的局面, 大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵, 是20 世纪90 年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点, 但其制造技术为国外掌握, 我国尚处于起步阶段,市场对于干式真空泵有迫切的需求。 1、研究现状干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业首选真空获得设备，日本在螺杆压缩机基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研究。螺杆泵的技术关键问题。 （1）转子端面型线螺杆真空泵主要部件是一对旋向相反的螺距螺杆，电机的传动轴连接主动转子，通过一对高精度的同步齿轮带动从动螺杆，两螺杆间留有间隙，通过两转子的啮合达到抽气的目的(如核心技术是螺杆齿形，不同的齿形直接决着泵的极限真空、抽气速率、容积效率、振动和噪声等技术性能指标的差异。目前螺杆真空泵的端面型线主要分为两种，单头转子型线和多头转子型线。如源于螺杆压缩机的多头转子型线起步较早，有的厂家直接用螺杆压缩机的转子型线用在真空泵上使用。日立公司很早就把4－6 头螺杆转子型线用在真空泵上，韩国LG 公司的真空泵目前也使用多头转子型线，由于两啮合

干式螺杆真空泵价格特点与使用条件

干式螺杆真空泵价格特点与使用条件 干式螺杆泵属于新型的真空泵型，其开发出来主要是为了替换传统水环真空泵、油环真空泵等其他泵型的。因其独特的设计原理，可做到无油无水，可做耐腐蚀涂层，优良的密封设计，除了价格稍贵一点外，无论从哪一方面都将远远超过传统真空泵的性能。 如何判断干式螺杆真空泵是否合格，可以从以下几个方面判断： 1、极限真空度:当然极限真空度越低越好，目前国产一般在5Pa左右，进口的在1Pa左右。 2、震动及噪音：震动一定要小，噪音一定要小80分贝内为好。 3、若是有易腐蚀性环境中使用，最好能向厂家要一点同样涂层的样片，拿到厂里放介质溶济里做下试验，每个厂家使用的涂层或镀层配比不一样，它的性能当然也会有较大差异。 4、密封性：这个也很重要，但也只能从厂家推介说明上了解，最直接还是接入系统后通介质测定是不是有泄漏。 基本上就是以上几点来判断，第一和第二点决定了真空泵机加工水平和设计技术的水平如何，这个也将真接影响泵的使用寿命，第三和第四点也会影响其寿命，但也需要实验证明。 总的来说目前螺杆泵因为成本较高，建议还是选用进口的，欧美日韩的相对较贵，台系的其实也是不错的选择。 干式螺杆真空泵是技术含量非常高的科技产品，主要应用于高纯净的真空工艺过程, 真空度极高，可适应恶劣工况，具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力，特别适宜于洁净环境，且易做防腐处理，特别适用于电子，化工，生物医药，金属加工，食品加工等领域。 1、工作腔内无任何介质，可获得清洁真空 2、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况 3、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体 4、单台泵可从大气抽至1Pa，真空系统可大大简化。 5、水温对真空影响小，节水达90%以上,甚至可以不耗水。 6、不耗油,无滴漏 7、旋转部件间无摩擦,可高速运转,整机体积小结构简单，维护方便。 9、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收更便捷。

螺杆真空泵在结晶工艺的应用

干式螺杆真空泵 在原料药生产（结晶工艺）的应用 一、概述 采用溶媒结晶工艺的原料药，通常在结晶后进行过滤(固液分离)、洗涤和真空干燥。常见的真空干燥器有双锥干燥器和过滤洗涤干燥一体机(三合一)。固液分离的工艺不同，物料含湿量不同，含湿量(干基)通常在20%~200%。干燥后原料药成品的含湿量(干基)一般要求低于5%(结晶水除外)。湿物料所带溶媒通常是易燃、易爆、有毒、有害的危险化学品，它们在干燥过程中被真空泵组抽走。 真空泵组有湿式和干式两大类。传统的湿式真空干燥系统由于受使用湿式真空泵工作时需要液体做工作液及湿式真空泵所能达到的极限真空的局限, 不仅能耗高、生产效率低、不能充分回收溶媒，而且产生大量的废水、废气；这不仅对化学制药企业形成成本压力，更对健康、安全和环保带来挑战。采用干式螺杆泵真空系统，不仅可以实现溶剂的全回收, 以及废水和废气的零排放，而且可以做到节能和生产效率的大幅提高。 二、干式螺杆真空泵简介 干式螺杆真空泵是相对液环泵而言，泵的工作腔内不需要密封冷却液 而得名。干式真空泵由于没有密封液，且排气压力大于大气压，就可以在 排气侧对排出的气体进行冷凝。 干式螺杆真空泵具有运行效率高、寿命周期长和成本低的优点，已逐 渐成为应用最广泛的干式真空泵。

图1 干式螺杆真空泵结构图 干式螺杆真空泵的转子是一对间隙很小且互不接触的螺杆，通过同步齿轮变速后，推动气体向出口运动。它的优点是： 1、可以在大气压和极限真空下全速运行； 2、单级可以达到较高的真空度，极限压力3-5Pa； 3、泵工作腔内没有油或水接触工艺气体； 4、转子互不接触，减少了磨损；

5、泵内气体通道短，可以快速排气； 6、既可以单独运行，也可以作为前级泵运行。 7、转子、壳体、过流部件可以采用特氟龙、镀镍磷、哈氏合金等防腐涂层； 8、螺杆真空泵也可选用耐腐蚀材料制造，以满足强腐蚀等苛刻复杂的工艺条件下的应用。 三、在结晶工艺中的应用 结晶是从均一溶液中析出固体晶体的过程，一般包含过饱和溶液的形成、晶核生成、晶种成形三个过程。从目前化学原料药生产看，存在的问题主要有结晶析出不彻底、纯度不够、晶型差或不一致、结晶时间过长、发生粘壁等现象。 工艺介绍：将前道工序制备的青霉素钠盐溶液通过真空上料进入到结晶罐中，在真空状态下通过蒸气加热、搅拌器搅拌、添加丁醇将青霉素溶液中的水分和丁醇抽到冷凝器中冷凝至集液罐，可重复利用。

干式真空泵

干式真空 --个人整理、总结

目录 干式真空泵及现状 1.往复式干泵 (3) 2.爪式干泵 (4) 3.多级罗茨泵 (5) 4.干式螺杆真空泵 (5) 5.涡旋干泵 (7) 6.涡轮式干泵 (8) 7.分子泵 (9)

干式真空泵是清洁真空获得设备的代表，在各类真空泵的市场份额中占23%，年增长率超过15%。干式泵的主要应用领域有半导体、化工、薄膜、仪器、医药、食品等行业。 1.往复式干泵 往复式干泵是往复式真空泵（又称活塞式真空 泵）的一种，依靠气缸内的活塞作往复式运动来吸 入和排出气体。 往复式干泵的主要特点是①结构简单，易于操 作，价格便宜；②工作过程中不产生粉尘；③耐粉 尘，排水蒸气压力强；④流量跨度较大。但这种泵 又具有往复式真空泵易损件多，寿命短，可靠性 差，效率低等特点。往复式干泵最常见的就是活塞 干泵（Dry Piston Vacuum Pump）和无油隔膜泵（Oil-Free Diaphragm Pump）可抽除He，H2，Ar和N2等气体，可作为涡轮分子泵、低温泵的粗抽泵和前级泵使用。 活塞干泵（Dry Piston Vacuum Pump）的典型代表为莱宝（EcoDry系列）和普发（Pfeiffer XtraDry系列）。EcoDry系列泵，流量在11m3/hr至48m3/hr之间，极限真空度为5.5Pa。XtraDry系列泵，两级活塞泵流量为13m3/hr，极限真空度为103Pa(10mbar)，四级活塞泵流量为7.5m3/hr,极限真空度为10Pa。主要作为气体分析泵及高真空泵的前级泵使用。 无油隔膜泵（Oil-Free Diaphragm Pump）主要有普发(Pfeiffer)的MVP系列，凯孚(KNF)的Laboport系列以及莱宝(Leybold)的DiVac系列。此类泵主要应用在实验室及作为分子泵的前级泵使用。实验室应用主要有旋转蒸发器(rotary evaporators)、真空干燥箱(drying chambers)、真空过滤设备(filtration units)、真空蒸馏设备(vacuum distillation configurations)、凝胶干燥(gel drying)、真空升华(sublimation)、疏散真空干燥(evacuating desiccators)、分析仪器(analysis preparation)、流体灭菌(stream sterilization)、小样本真空冷冻干燥(small sample freeze drying)及其他医疗应用。作前级泵主要有质谱分析仪(Mass Spectrum Analysis)、ICP_MS测试仪、清罐仪及电子加速器等。

国产螺杆真空泵

国产螺杆真空泵 一、简介： 威海智德真空科技有限公司主要供应设备： ※ DP系列干式螺杆真空泵、罗茨真空泵、水环真空泵、大型复杂真空机组。 二、原理： 干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。

三、参数 DP系列干式螺杆真空泵 性能特点： 1、工作腔内无任何介质，可获得清洁真空。 2、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况。 3、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体。 4、单台泵可从大气抽至1Pa，真空系统可大大简化。 5、水温对真空影响小，节水达90％以上,甚至可以不耗水。 6、不耗油,无滴漏。 7、旋转部件间无摩擦,可高速运转,整机体积小。

9、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收更便捷。 10、可与罗茨泵、分子泵组成无油机组。 抽速曲线：

JZJD系列干式真空机组 结构及特点： JZJD系列干式真空机组是由常规罗茨真空、干式螺杆真空泵以及阀门、机架、电器控制箱组成的，其中干式螺杆真空泵作为前级真空泵，在达到罗茨真空泵启动压力时，由真空规头及压力变送器控制罗茨真空泵的启停。由于罗茨真空泵及干式螺杆真空泵运转部件均不接触，因此整机具备运转平稳，噪音低，结构紧凑占地面积小等优点。 性能特点： 1：JZJD系列干式真空机组抽气范围广（280-4320m3/h），真空度高（极限压力可达0.01Pa） 2：即使在高真空下依然能保持较大的抽速，满足客户对高真空、大抽速的要求。3：罗茨真空泵与干式螺杆真空泵可根据抽速比，搭配各种组合方案，有效降低能源消耗，达到最佳性价比。

干式真空泵发展现状

成都超迈机械有限公司—专业真空设备技术解决方案供应商 一、国外干式真空泵发展状况 目前国外干式真空泵市场不断增长，主要用于半导体行业、化工、制药和薄膜产业。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替油封式机械泵，目前干式真空泵的主要型式有爪型、罗茨型、涡旋型、螺杆型和往复活塞式、隔膜式等几种。 英国爱德华公司年产爪型和罗茨型干泵8000套，年销售额达1.5亿美元，主要用于半导体、制药和化工等行业；日本的安耐特 Anlet公司年产三叶型罗茨干泵8000套，主要用于化工、塑料、农药等行业，干式真空泵发展空间十分广阔。 德国普旭、莱宝，美国凯尼、日本Ebara荏原、Kashiama (日)、Alcatel (法)等国际真空行业巨头均花去大量资源研发制造干式真空泵。 人们预言：21世纪与高真空相联系的大多数真空泵将是干式真空泵。 二、国内干式真空泵发展状况 据预测，到2010年我国将成为世界第二大半导体集成电路市场，总需求量约1000 亿块，达到1000亿美元以上的市场规模，需建30多条大生产线才能满足需求。所需干式真空泵约15000台，随清洁真空的逐步普及，食品、化工、制药和薄膜行业也急需大量具有优良性价比的干式真空泵，而国内只有少数几家企业从事干式真空泵的研发和制造，如：朗禾-爪型干式真空泵、沈科仪- 涡旋泵、淄博-螺杆干式真空泵等。 三、干式真空泵主要应用领域 1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺，半导体刻蚀工艺。 2、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求； 3、化工、医药、食品中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，防止有机溶剂污染； 4、用作一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

干式螺杆真空泵

DP系列干式螺杆真空泵 威海智德真空科技有限公司主要供应设备： ※ DP系列干式螺杆真空泵、罗茨真空泵、水环真空泵、大型复杂真空机组。公司网址：VV VV VV 。drypumps。net 电①③五六③①贰壹⑧⑨③丛经理欢迎咨询选购。 DP系列干式螺杆真空泵 性能特点： 1、工作腔内无任何介质，可获得清洁真空。 2、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况。 3、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体。 4、单台泵可从大气抽至1Pa，真空系统可大大简化。 5、水温对真空影响小，节水达90％以上,甚至可以不耗水。 6、不耗油,无滴漏。 7、旋转部件间无摩擦,可高速运转,整机体积小。 8、结构简单，维护方便。 9、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收更便捷。 10、可与罗茨泵、分子泵组成无油机组。

抽速曲线： 工作原理： 干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。

JZJD系列干式真空机组 结构及特点： JZJD系列干式真空机组是由常规罗茨真空、干式螺杆真空泵以及阀门、机架、电器控制箱组成的，其中干式螺杆真空泵作为前级真空泵，在达到罗茨真空泵启动压力时，由真空规头及压力变送器控制罗茨真空泵的启停。由于罗茨真空泵及干式螺杆真空泵运转部件均不接触，因此整机具备运转平稳，噪音低，结构紧凑占地面积小等优点。 性能特点： 1：JZJD系列干式真空机组抽气范围广（280-4320m3/h），真空度高（极限压力可达0.01Pa）2：即使在高真空下依然能保持较大的抽速，满足客户对高真空、大抽速的要求。 3：罗茨真空泵与干式螺杆真空泵可根据抽速比，搭配各种组合方案，有效降低能源消耗，达到最佳性价比。

干式真空泵

干式真空泵 一、简介： 无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。 目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。 干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面： 1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中； 2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒； 3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求； 4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵； 5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。 二、分类： 干式真空泵主要有下列几种形式： 1）干式螺杆真空泵 2）无油往复真空泵 3）爪式真空泵 4）无油涡旋真空泵 三、原理： 1）干式螺杆真空泵

干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。 2）无油往复真空泵 靠活塞往复运动使泵腔（气缸）的工作容积周期性地变化来抽气的真空泵，又称活塞真空泵。往复真空泵的结构与往复活塞压缩机相似。工作时，吸气管接被抽真空容器，排气管直通大气。往复真空泵可用于真空蒸馏、真空浓缩、真空结晶、真空过滤、真空干燥和混凝土真空作业等。 3）爪式真空泵 爪式真空泵由多级转子构成，其中每级都有2个转子构成，两个转子反方向旋转，吸气口与泵腔接通，泵腔容积变大而吸气，当转子关闭吸气口时吸气结束，以后泵腔变小而压缩气体，当排气口打开后泵腔排气，排气口关闭时则排气完毕，如此循环工作。 4）无油涡旋真空泵 涡旋无油真空泵的涡旋盘就是一个一端与一个平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成一个涡旋型盘状结构。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘组成的一对涡旋盘付构成了涡旋无油真空的基本抽气机构。例如在双级涡旋无油真空泵中，有两个方向对应的固定涡旋盘，一个位于两个涡旋盘之间的转动涡旋盘。动、静涡旋盘相对运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气体从抽气口吸入、排气口排出、完成排气循环。 四、性能对比： 1）真空度：干式螺杆真空泵、爪式真空泵、无油涡旋真空泵极限真空度都很高，最高极限真空均可达到1-2Pa；无油往复真空泵为粗真空设备，极限真空百度低，需要搭配罗茨真空泵提高极限真空。 2) 抽气量：无油涡旋真空泵由于内部结构问题，抽气量较小，只适用于小抽气量的工艺中；干式螺杆真空泵型号齐全，可适用大抽气量工艺中，配合罗茨真空泵可以满足不同客户的需求。 3）稳定性：干式螺杆真空泵性能稳定，噪音低，故障率低；无油往复真空泵结构简单，噪音较高，需要经常更换滑片。爪式真空泵由于装配复杂，转子与轴不为一体，出现故障需全部重新拆解装配，反复装配从而降低产品性能及稳定性。 4）特殊处理：由于化工、制药等相关工艺气中会不同程度含有易燃、易爆以及腐蚀性气体，所以干式真空泵需要特殊处理。干式螺杆真空泵内部结构简单，两根转子、泵腔均可做防腐处理，可选用镍磷涂层和特氟龙两种涂层。爪式真空泵很难做防腐处理，各级隔板之间几乎无法做表面处理，转子表面的防腐涂层也容易在装配时损伤。无油涡旋真空泵只适合抽洁净的气体，不能抽取易燃、易爆及具有腐蚀性的气体。

真空泵和工作原理介绍

真空泵及其工作原理介绍 真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。 由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。 1、真空泵的种类 随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求。

常用真空泵包括：干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。 2、真空泵的总体结构式与传动方式 真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构：1)、立式结构：进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵；2)、卧式结构：泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。

螺杆型干式真空泵工作原理

螺杆型干式真空泵工作原理 螺杆泵的工作循环可分为吸气、压缩和排气三个过程。随着转子旋转，每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环，现以其中的一对齿来说明。 1. 吸气过程 下图示出螺杆泵的吸气过程，所研究的一对齿用箭头标出。在图中，阳转子按逆时针方向旋转，阴转子按顺时针方向旋转。图中的转子端面是吸气端面。 图a示出吸气过程即将开始时的转子位置。在这一时刻，这一对齿前端的型线完全啮合，且即将与吸气口连接。随着转子开始转动，由于齿的一端逐渐脱离啮合而形成了齿间容积，这个齿间容积的扩大，在其内部形成了一定的真空，而此齿间容积又仅与吸气口连通，因此气体便在压差作用下流入其中，如图b中阴影部分所示。在随后的转子旋转过程中，阳转子齿不断从阴转子齿的齿槽中脱离出来，齿间容积不断扩大，并与吸气孔口保持连通。 吸气过程结束时的转子位置如图c所示，其最显著的特点是齿间容积达到最大值。随着转子的旋转，所研究的齿间容积不会再增加。齿间容积在此位置与吸气孔口断开，吸气过程结束。 2 压缩过程 下图示出螺杆泵的压缩过程。图中的转子端面是排气端面。在这里，阳转子沿顺时针方向旋转，阴转子沿逆时针方向旋转。 图a示出螺杆泵压缩过程即将开始时的转子位置。此时气体被转子齿和机壳包围在一个封闭的空间中，齿间容积由于转子齿的啮合就要开始减小。 随着转子的旋转，齿间容积由于转子齿的啮合而不断减小。被密封在齿间容积中的气体被占据体积也随之减小，导致压力升高，从而实现气体的压缩过程，如图b所示。压缩过程可一直持续到齿间容积即将与排气孔口连通之前。如图c所示。 3 排气过程 下图示出螺杆泵的排气过程。齿间容积与排气孔口连通后，即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出，如图a

S-400螺杆真空泵设计--论文解析

目录 中文摘要 (1) 英文摘要 (2) 1 绪论 (3) 1.1.课题背景及研究意义 (3) 1.2 课题研究方向 (3) 2 螺杆干式真空泵的设计 (5) 2.1 转子的设计 (5) 2.2 转子尺寸计算 (7) 2.3 腔体的设计 (8) 2.4 齿轮的设计 (8) 2.5 气道的设计 (9) 2.6 轴承的设计 (10) 2.7 密封件的设计 (11) 2.8 电机的选择 (11) 3 参数计算 (13) 3.1 排气量 (13) 3.1.1 理论排气量 (13) 3.1.2 实际排气量 (13) 3.2 轴的强度计算 (14) 3.3 极限真空度、功率及冷却水量 (14) 4 转子温度场有限元分析 (16) 4.1 ANSYS中有限元的计算方法 (16) 4.2 转子温度场的有限元计算 (16) 4.2.1 建立数学模型 (16) 4.2.2 实体几何模型 (18) 4.2.3 网格划分 (18) 总结 (22) 致谢 (23) 参考文献 (23)

S-400螺杆真空泵设计 摘要：近年来，随着科技的发展，干泵的需求越来越大。 本文介绍的螺杆干式真空泵具有一系列的优点。 1，抽气腔内无任何工作液，可输送高粘度的物质; 2，无油蒸汽排放，保证了外部环境的清洁; 3，由于转子之间留有间隙，所以能用于烟尘，侵蚀性，有害的气体。 本次干式螺杆泵设计要点是转子，气道结构和密封系统[]1。 关键词：干式真空泵；螺杆；吸气；排气

Abstract:Recently,the growing demand for dry pump with the development of science and technology This article describes the screw dry vacuum pump with a series of advantages 1,There is no operating fluid in the extracting chamber,it can deliver high-viscosity material. 2,There is no oil vapour outlet, it can guarantee out side clean. 3,It can extract gas containing dust ,corrosivity ,and poison ,because it has small gap between tooth face of male and female rotors. The main factors for this dry screw vacuum pump design are rotors,airway stucture and sealing system. Keywords:dry(oil-free)vacuum pump；screw；inlet；outlet

螺杆真空泵与爪式真空泵的区别

螺杆真空泵与爪式真空泵的区别 螺杆真空泵与爪式真空泵同为干式真空泵，但由于各自的工作原理不同，也造成了各自结构上的差异，为获得尽量低的压力，两种泵都做成4级，但爪式泵级与级之间通过隔板分隔，而螺杆真空泵则是通过螺杆的交叉形成级间分隔的，因此两相比较存在较大的差异。 螺杆真空泵与爪式真空泵的区别 一、使用工艺上的不同： 1、中环真空泵螺杆真空泵的气体通道最短，气体在级间的传送位置不变，有利于气体快速排出泵外和固体颗粒状物体的排出。爪式泵由于存在级间隔板，气体通道长且弯曲，气体容易凝结并且易堵塞通道。 2、螺杆真空泵的泵体和转子为单一体，极易进行防腐处理。爪泵的级间隔板几乎无法做表面处理，转子表面的防腐涂层也容易在装配时受损。 二、使用可靠性上的不同： 1、爪式真空泵由于存在级间隔板，转子和泵轴不能成为一体，转子为后装到轴上，为了安装和拆卸方便，配合又不能过紧，所以运转后容易出现滚键和转子松动的现象。螺杆真空泵的轴和转子为整体铸造后加工成型，完全一体化，不存在装配问题。 2、爪式真空泵存在众多的间隙，而且每个间隙都是独立的，只要任意一个间隙出现问题，泵即不能正常工作。中环真空泵螺杆真空泵只有排气端和转子间的间隙决定工作性能，而且转子与转子间的间隙是互相关联的，运转可靠性极高。

三、维修性上的不同： 1、拆卸 爪式泵拆卸困难：由于多级结构，全部拆卸要多级分解，而转子拆卸是真正的难点，同时每拆卸一次，精度就会有不同程度的降低。即使简单的清洗也必须全部拆开，重新装配。 螺杆真空泵拆卸简单：螺杆泵的拆卸只需要拆掉后盖轴承即可将转子从前端抽出，极其简单。如果仅仅是为了清洗拆开，清洗后只需将转子装回泵体内即可，不需做任何调整。 2、安装

干式螺杆真空泵的十大性能特点

干式螺杆真空泵的十大性能特点 1、工作腔内无任何介质，可获得清洁真空。 2、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体。 3、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况。 4、单台泵可从大气抽至1Pa，真空系统可大大简化。 5、不耗油,无滴漏。 6、水温对真空影响小，节水达90%以上,甚至可以不耗水。 7、旋转部件间无摩擦,可高速运转,整机体积小。 8、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收便捷。 9、结构简单，维护方便。 10、可与罗茨泵、分子泵组成无油机组。

干式螺杆真空泵是技术含量非常高的科技产品，主要应用于高纯净的真空工艺过程, 真空度极高，可适应恶劣工况，具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力，特别适宜于电子，化工和生物医药等领域。 干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。 螺杆真空泵的内核部分——螺杆转子，采用三维曲面数学模型设计、求解，通过模型的实体在五坐标联动的数控设备上加工，精度高，质量可靠，性能稳定，保证了产品长时间无故障运行。 本产品的自主创新性，产品质量及价格都具有很强的市场竞争力，可大范围替代进口产品，市场需求量大，将在化工、冶金、电子、石油、航空航天、核能、造纸、包装、食品、医药、医疗器械、以及信息工程、生物工程、微电子等100多个领域全面取代目前技术含量较低的真空设备。