微热管的灌注抽真空制造技术
微热管的灌注抽真空制造技术
微热管是高热流密度光电芯片领域广泛应用的高效热传导元件，抽真空和灌注是其性能的重要影响工序。通过分析目前微热管制造工艺中常用的抽真空灌注技术，提出灌注抽真空微热管制造技术；分析该技术的工作原理和二次除气理论，建立工质额外充液量、微热管工作死区、二次除气集气段长度等数学模型；对比分析抽真空灌注与灌注抽真空两种制造技术的特点；搭建微热管性能测试平台，对采用灌注抽真空技术制造的铜—水沟槽式微热管进行性能测试；对比研究引入额外充液量前后，灌注抽真空技术制造的微热管传热性能的差异，发现引入额外充液量后，微热管性能提高了12 倍。试验结果表明灌注抽真空技术可以很好地满足微热管的制造需求。
0、前言
高性能电子设备的热流密度已超常规空气强制对流换热能力极限。SAUCIUC 等研究发现通过采用铜材、增加重量、优化翅片结构和提高风速，空气强制对流散热器的传热极限为0.15℃/W。微热管具有热阻低、体积小、重量轻和无需额外动力驱动等优点，VASILIEV研究发现其已成为未来高集成度电子芯片散热的关键元件，其理论被COTTER于1984年提出之后引起广泛关注。SU M A N回顾了20世纪90年代以来微热管的理论模型、性能试验和制造技术，发现大量文献对其传热理论进行了分析。K A NG等研究发现，不同工质充液量的微热管具有很大的差异，真空度和充液量是影响微热管性能的重要因素。已有的微热管制造方面的文献主要集中在毛细吸液芯制造、结构设计等方面，对其中的抽真空和工质灌注技术的研究涉及很少，仅有一些试验性研究。
P ETERSO N指出微热管传统抽真空和灌注技术主要有抽真空灌注技术和灌注工质后蒸发除气技术。微热管工作时，SARRA F等研究发现，空气等不凝性气体将会在冷凝段积聚，该现象是微热管可靠性下降的主要原因。由于完全蒸发除气技术彻底排除不凝性气体困难且真空度难以控制，在微热管制造中已很少使用；目前使用的主要是抽真空灌注技术：将微热管一端封口且壁壳清洁除气后，用高真空泵将其内部抽真空到10–3Pa，最低也要达到10–1 Pa。由于液体在高真空环境下因饱和蒸气压下降而易蒸发，高真空泵对管道内的液体十分敏感。连续生产时，采用该技术生产的微热管，受到设备管道内残余液体的影响而生产效率受到限制。
基于不凝性气体在微热管工作时在冷凝段聚集的现象，以及蒸发除气技术原理，本文提出灌注抽真空微热管制造技术：微热管首先在低真空度环境下预先封装，然后利用加热使不凝性气体在冷凝段的集气段聚集，最后将集气段去除。采用对比研究的方法，通过原理分析和试验研究，对该技术进行论证。该技术的使用，将大为提高微热管生产效率，降低生产设备投资成本。
1、微热管抽真空与灌注制造技术
1.1、微热管的工作死区
微热管是相变传热材料，工作原理如图1。它由相变材料(工质)、壁壳和毛细吸液芯组成。工质在蒸发段加热发生相变，经过绝热段传送到冷凝段释放出热量后重新凝结为液体，最后依靠毛细吸液芯的毛细作用回流到蒸发段，完成一个工作循环。
图1 微热管工作原理
工质在微热管工作前主要以液态形式存在，工作时转变为气态。为了使工质在低温下发生相变，需要提高微热管壁壳内的真空度。微热管制造环境温度θ
1 通常恒定，此时工质的饱和蒸气压为p
s a u1
。封装完后，管内体积为V0 的微热管内的气压为p1，则残余空气分压
p
a ir1=p
1
?p
s a u1
(1)
该微热管如在θ
2温度下工作，此时工质的饱和蒸气压为p
s a u2
，则微热管
内的压力p
2
根据混合气体的道尔顿(D a lton)定律为
微热管正常工作时，如冷却充分，混合气体中的不凝性气体(以空气为主)将会动态的与工质蒸气分离。分离出的不凝性气体，由于传热系数远小于工质的相变，可以认为是热传导的死区。该体积称为微热管的工作死区V de a d，假设所有的气体皆为理想气体，则
1.2、抽真空灌注技术
目前微热管的制造技术普遍采用抽真空灌注技术，即先利用高抽真空设备将壁壳内环境抽离到高真空，然后往内灌注一定量的工质，见图2。为了保持高真空，抽真空后壁壳将不能移动，故高抽真空设备和灌注设备、封口装置必须组合设计。利用针阀等小流量气密性好的阀门来准确控制微热管所需的充液，其精度达到0.1 m L，数值的大小与壁壳容积、毛细吸液芯类型和几何参量q
l
数、使用环境等有关，P O P OVA 等提出以毛细吸液芯孔隙体积和壁壳内工质蒸气量之和计算。
图2 热管抽真空灌注系统原理图
抽真空灌注方式制作的微热管，其真空度与真空泵的抽速v和时间t 有关。灌注工质前，对于管内体积为V0 的微热管，假设气体为理想气体，经过时间t，微热管内的气压将由标准大气压p0 下降到p(t)，经过时间Δt，根据波义耳(B o y le R)定律
该技术制作的微热管性能稳定，不凝性气体少，工作死区可以忽略。然而由于工质灌注和抽真空联动装置的复杂性、高真空设备对液体的敏感性，造成设备价格高、生产效率较低，在实际生产中成本高。
1.3、灌注抽真空技术
先在微热管壁壳内灌注一定量的液态工质，然后进行抽真空(一次除气，真空度较低)。由于液态工质会随着真空度的提高而发生相变，此时很难达到高真空。为了防止工作死区过大，需要额外引入不依靠真空泵而去除空气的二次除气方法，其装置原理如图3所示。对工作段有效长度为l1、中径为d1 的微热管，在封口段预留长度为长l2、中径为d2的集气段。低真空泵一次除气后，在集气段顶端预先封口。二次除气时，加热微热管蒸发段到θ3，此时工质的饱和蒸气压为ps a u3。冷凝集气段，使液态工质发生相变后推动壁壳内不凝性气体向集气段流动。气态工质凝结后依靠毛细和重力作用重新返回蒸发段，而残余空气等不凝性气体则在集气段积聚。一段时间后，不凝性气体在密封壁壳集气段内偏析，达到与气态工质动态的分离。最后，利用封口模将微热管集气段从工作段去除。
图3微热管二次除气原理图
采用灌注抽真空方式制作微热管，为了节省成本，应尽量升高二次除气温度
θ3 以提高饱和蒸气压，且使集气段容积与不凝性气体体积相等，由式(3)可得集气段长度
采用灌注抽真空方法制作微热管，为防止工质在封口之前完全蒸发，通常
，以补充在一次除气过程需要对充液量为ql的微热管增加工质额外充液量Δq
l
中，随着空气被抽离的部分。该体积可以通过考察一次除气过程中两个极端情况来确定其范围。
(1)不考虑热量传递。假设微热管由环境吸取的热量能满足液态工质相变所需要的热量，即液态工质能在恒定温度下发生相变，则在工质全部蒸发之前，工质的饱和蒸气压仅与温度有关；同时假设液态工质蒸发速度高于真空泵抽离气态工质的速度。则工质在壁壳内的蒸气分压恒定不变。时间Δt内，蒸发的工质与被真空泵抽离的体积相等。根据理想气体状态方程此时蒸发的液态工质体积
(0)=0 可得需要的额外充液量
由式(8)和初始条件Δq
l1
式(8)、(9)中，ρl 为液体工质的密度，M 为摩尔质量，R 为摩尔气体常数。
(2)仅考虑热量传递。蒸发过程中，液体需要吸收热量以补充与气体焓值的不同。微热管在制造过程中，热量主要通过管壁依靠热传导和自然对流得到。其速度往往达不到蒸发的要求，从而导致微热管内部温度降低到工质熔点而停止蒸发。假设通过热传导所获得的热量全部转化为液态工质的汽化潜热，在忽略气体温度变化所引起热量变化的情况下，环境向微热管内部传递的最大热流量为
式中，λ 为微热管壁壳材料的导热系数，θ0 为工质的熔点，d 为微热管工作段外径。该部分热流量在时间t内蒸发的工质
式中，γ 为工质汽化潜热。由于式(9)、(11)考虑的是两种极限情况，为额外充液量的两个极值。综合考虑，需要的额外充液量
在微热管制造过程中，额外充液量还和毛细吸液芯的性能、气体的扩散速度、集气段尺寸、工质物理性质等多种因素有关，需要在公式前乘以修正系数k，见式(13)。该数值要比式(12)要小，具体取值有待今后进一步研究。
1.4、两种制造技术对比分析
抽真空灌注技术需要高抽真空设备，如图4，一般包括低真空部分和高真空部分。低真空部分采用机械泵作为预抽泵对微热管进行粗抽；高真空部分采用机械泵作前级泵的分子泵或者扩散泵进行精抽。为了加快抽真空速率，在其中预留主抽室和预抽室，该方法的真空度达到10–5～10–3Pa。但由于高真空泵对液体的高度敏感性，在内部需要安装干燥器、冷阱等液体去除装置。由于设备有着较长的过度管道，灌注工质时会在其中存在该温度下饱和蒸气压的液体，在设备下一工作循环时吸入真空泵，严重影响着设备的性能，故设备运行一段时间后，需要充入干燥空气，以去除管道中残留的液体。
图4微热管抽真空设备原理图
灌注抽真空技术，一次除气对真空度要求较低，一般为制造环境温度下工质饱和蒸气压之上50～200 Pa。此时液体蒸发较少，故抽真空设备结构相对简单，仅需图4 低真空部分，对液体的敏感性小。
目前，高抽真空设备的价格一般为低抽真空备的10 倍，高真空计为低真空计价格的5 倍左右，且高真空设备的冷阱工作时需要消耗大量的电能或干燥剂。故抽真空灌注设备的综合成本一般3 倍左右于灌注抽真空设备，而维护成本则2 倍左右于灌注抽真空设备。但是，由于集气段的存在，灌注抽真空设备的材料成本则相较抽真空灌注设备要增加5%～10%，且二次除气的存在，其生产工序比抽真空灌注有一定的延长，人力成本有所增加。为此，微热管制造工序的选择可以根据当时的能源和材料价格进行确定。
2、试验测试与分析
2.1、微热管制造
利用灌注抽真空方式制造外径为6mm的沟槽式铜—水微热管，利用J S M-5910 扫描电子显微镜观察毛细吸液芯微沟槽截面，如图5 所示。图5 中，h
为齿槽深，b 为齿槽宽度，δ 为壁壳厚度，具体寸参数如表1 所示。壁壳材料为纯铜T P2，λ 为383.8W/(m·K)，工质为去离子水。制造时，环境温度控制在20 ℃。表2 为水在不同温度下的饱和蒸气压，表3 为制造参数。采用抽真空灌注方式，由表1 计算需要的工质灌注量为0.47m L，其性能可以达到30 W 以上。
图5 微热管沟槽截面SE M图×90
将上述各项参数代入式(1)～(13)，可得表4 结果。根据图4 低真空部分，采用德国TRIVAC 机械真空泵D8C 搭建一次除气系统；根据图3 原理搭建二次除气系统。通过p1 值控制一次除气时间，试验表明该时间比单纯利用式(6)理论计算的时间跨度要长，一般在0.5 s。这主要是由于气体的扩散速度小于真空泵的抽速所引起，为此有必要引入修正系数k。制作的微热管集气段和成品如图6 所示。
表4微热管集气段长度和额外灌注量图6灌注抽真空法制作的热管
2.2、微热管性能测试平台
如图7，测试系统主要由三部分组成：加热部分，在微热管蒸发段缠绕电
阻丝加热的方法模拟芯片发热，该段长度为50 mm，通过调整T P R-12003D数字显示直流稳压电源参数来实现热流量变化，其大小利用W M-02 瓦特计测量；冷却部分利用T HY D-0506数控低温恒温槽产生低温恒温循环水实现微热管冷却，水温为23 ℃±0.05 ℃，该段长度为80 mm；温度测量部分利用O M E G A-K型热电偶测量，安捷伦数据采集仪34970A 采集数据到个人P C，然后进行相应的处理。为了保证数据的稳定与准确性，每改变一个热流量，测试时间为3～5
min，直到数据稳定后才记录相关热流量。图7中，θc 为冷凝段温度，θe 为蒸发段温度。
图7微热管传热性能测试系统
2.3、微热管性能分析
通常情况下，根据微热管的等温特性和热阻来评判热管的传热功率是否在允许范围之内，C H RISTI N E 等认为如果微热管蒸发段和冷凝段两段的温差超过5 ℃，则该微热管失效。SAUCIUC等认为如果系统的热阻超过传统空气强制对流的极限(0.15 ℃/W)时，则需要微热管进行热传导。采用灌注抽真空技术，图8显示充液量为0.47m L时微热管的性能。试验发现，输入热流量为5 W 时，微热管蒸发段和冷凝段之间的温差小于0.5 ℃。当输入热流量增加到10 W 时，微热管的加热段和冷凝段的温差迅速扩大到2 ℃以上，热阻超过
0.2 ℃/W，且出现很大的波动，温差随着时间的推移不停的扩大，无法达到一个稳定的状态，热管失效。
图8充液量0.47m L 时灌注抽真空技术制造的微热管性能图9充液量为1 m L 时灌注抽真空技术制造的微热管性
能
图9 为工质灌注量增加到1.0 m L 时的微热管性能，可以看出其最大热流量达到65 W。对比图8和图9，可以看出，增加额外充液量0.53m L 后，微热管的性能提高了12 倍。这主要是由于充液量为0.47m L 时，采用灌注抽真空工艺，大量的工质被抽离，微热管工作时因工质不足而出现了干涸。
上述试验结果表明，采用灌注抽真空技术制作微热管时，需要考虑额外灌注量，此时制造的微热管与抽真空灌注技术性能相当，从而证实了采用灌注抽真空方式制作微热管的可行性。
3、结论
(1) 采用灌注抽真空技术制造微热管，需要预先在壁壳尾端预留集气段。为了防止工质完全被抽离，一次抽真空时的压强为该温度下工质饱和蒸气压之上50～200 Pa。在一次除气后引入二次除气，加热蒸发段，充分冷却冷凝段，经过一段时间，利用封口装置将集气段从微热管工作段去除。利用该方法制作的微热管性能可以满足微热管制造技术的需求。
(2)灌注抽真空技术制造微热管使用的设备抽真空灌注技术相比，仅需要低真空部分，设备结构简单，制造速度快，然而原材料成本有一定程度的增加。
(3)灌注抽真空技术制造微热管，工质相比抽真空灌注技术需要引入额外充液量，其数值的大小主要与真空泵抽速、制造环境温度、微热管尺寸、工质的物理性质等有关。
(4) 采用灌注抽真空技术，引入额外充液量制造的铜—水沟槽式微热管性能相比未引入额外充液量的提高了12倍。
微热管的灌注抽真空制造技术
微热管是高热流密度光电芯片领域广泛应用的高效热传导元件，抽真空和灌注是其性能的重要影响工序。通过分析目前微热管制造工艺中常用的抽真空灌注技术，提出灌注抽真空微热管制造技术；分析该技术的工作原理和二次除气理论，建立工质额外充液量、微热管工作死区、二次除气集气段长度等数学模型；对比分析抽真空灌注与灌注抽真空两种制造技术的特点；搭建微热管性能测试平台，对采用灌注抽真空技术制造的铜—水沟槽式微热管进行性能测试；对比研究引入额外充液量前后，灌注抽真空技术制造的微热管传热性能的差异，发现引入额外充液量后，微热管性能提高了12 倍。试验结果表明灌注抽真空技术可以很好地满足微热管的制造需求。
0、前言
高性能电子设备的热流密度已超常规空气强制对流换热能力极限。SAUCIUC 等研究发现通过采用铜材、增加重量、优化翅片结构和提高风速，空气强制对流散热器的传热极限为0.15℃/W。微热管具有热阻低、体积小、重量轻和无需额外动力驱动等优点，VASILIEV研究发现其已成为未来高集成度电子芯片散热的关键元件，其理论被COTTER于1984年提出之后引起广泛关注。SUMAN回顾了20世纪90年代以来微热管的理论模型、性能试验和制造技术，发现大量文献对其传热理论进行了分析。KANG 等研究发现，不同工质充液量的微热管具有很大的差异，真空度和充液量是影响微热管性能的重要因素。已有的微热管制造方面的文献主要集中在毛细吸液芯制造、结构设计等方面，对其中的抽真空和工质灌注技术的研究涉及很少，仅有一些试验性研究。
PETERSON指出微热管传统抽真空和灌注技术主要有抽真空灌注技术和灌注工质后蒸发除气技术。微热管工作时，SARRAF 等研究发现，空气等不凝性气体将会在冷凝段积聚，该现象是微热管可靠性下降的主要原因。由于完全蒸发除气技术彻底排除不凝性气体困难且真空度难以控制，在微热管制造中已很少使用；目前使用的主要是抽真空灌注技术：将微热管一端封口且壁壳清洁除气后，用高真空泵将其内部抽真空到10–3 Pa，最低也要达到10–1 Pa。由于液体在高真空环境下因饱和蒸气压下降而易蒸发，高真空泵对管道内的液体十分敏感。连续生产时，采用该技术生产的微热管，受到设备管道内残余液体的影响而生产效率受到限制。
基于不凝性气体在微热管工作时在冷凝段聚集的现象，以及蒸发除气技术原理，本文提出灌注抽真空微热管制造技术：微热管首先在低真空度环境下预先封装，然后利用加热使不凝性气体在冷凝段的集气段聚集，最后将集气段去除。采用对比研究的方法，通过原理分析和试验研究，对该技术进行论证。该技术的使用，将大为提高微热管生产效率，降低生产设备投资成本。
1、微热管抽真空与灌注制造技术
1.1、微热管的工作死区
微热管是相变传热材料，工作原理如图1。它由相变材料(工质)、壁壳和毛细吸液芯组成。工质在蒸发段加热发生相变，经过绝热段传送到冷凝段释放出热量后重新凝结为液体，最后依靠毛细吸液芯的毛细作用回流到蒸发段，完成一个工作循环。
图1 微热管工作原理
工质在微热管工作前主要以液态形式存在，工作时转变为气态。为了使工质在低温下发生相变，需要提高微热管壁壳内的真空度。微热管制造环境温度θ
1 通常恒定，此时工质的饱和蒸气压为p
sau1
。封装完后，管内体积为V0 的微热管内的气压为p1，则残余空气分压
p
air1 = p
1
? p
sau1
(1)
该微热管如在θ
2温度下工作，此时工质的饱和蒸气压为p
sau2
，则微热管
内的压力p
2
根据混合气体的道尔顿(Dalton)定律为
微热管正常工作时，如冷却充分，混合气体中的不凝性气体(以空气为主)将会动态的与工质蒸气分离。分离出的不凝性气体，由于传热系数远小于工质的相变，可以认为是热传导的死区。该体积称为微热管的工作死区Vdead，假设所有的气体皆为理想气体，则
1.2、抽真空灌注技术
目前微热管的制造技术普遍采用抽真空灌注技术，即先利用高抽真空设备将壁壳内环境抽离到高真空，然后往内灌注一定量的工质，见图2。为了保持高真空，抽真空后壁壳将不能移动，故高抽真空设备和灌注设备、封口装置必须组合设计。利用针阀等小流量气密性好的阀门来准确控制微热管所需的充液，其精度达到0.1 mL，数值的大小与壁壳容积、毛细吸液芯类型和几何参量q
l
数、使用环境等有关，POPOVA 等提出以毛细吸液芯孔隙体积和壁壳内工质蒸气量之和计算。
图2 热管抽真空灌注系统原理图
抽真空灌注方式制作的微热管，其真空度与真空泵的抽速v 和时间t 有关。灌注工质前，对于管内体积为V0 的微热管，假设气体为理想气体，经过时间t，微热管内的气压将由标准大气压p0 下降到p(t)，经过时间Δt，根据波义耳(Boyle R)定律
该技术制作的微热管性能稳定，不凝性气体少，工作死区可以忽略。然而由于工质灌注和抽真空联动装置的复杂性、高真空设备对液体的敏感性，造成设备价格高、生产效率较低，在实际生产中成本高。
1.3、灌注抽真空技术
先在微热管壁壳内灌注一定量的液态工质，然后进行抽真空(一次除气，真空度较低)。由于液态工质会随着真空度的提高而发生相变，此时很难达到高真空。为了防止工作死区过大，需要额外引入不依靠真空泵而去除空气的二次除气方法，其装置原理如图3 所示。对工作段有效长度为l1、中径为d1 的微热管，在封口段预留长度为长l2、中径为d2的集气段。低真空泵一次除气后，在集气段顶端预先封口。二次除气时，加热微热管蒸发段到θ3，此时工质的饱和蒸气压为psau3。冷凝集气段，使液态工质发生相变后推动壁壳内不凝性气体向集气段流动。气态工质凝结后依靠毛细和重力作用重新返回蒸发段，而残余空气等不凝性气体则在集气段积聚。一段时间后，不凝性气体在密封壁壳集气段内偏析，达到与气态工质动态的分离。最后，利用封口模将微热管集气段从工作段去除。
图3 微热管二次除气原理图
采用灌注抽真空方式制作微热管，为了节省成本，应尽量升高二次除气温度
θ3 以提高饱和蒸气压，且使集气段容积与不凝性气体体积相等，由式(3)可得集气段长度
采用灌注抽真空方法制作微热管，为防止工质在封口之前完全蒸发，通常
，以补充在一次除气过程需要对充液量为ql的微热管增加工质额外充液量Δq
l
中，随着空气被抽离的部分。该体积可以通过考察一次除气过程中两个极端情况来确定其范围。
(1) 不考虑热量传递。假设微热管由环境吸取的热量能满足液态工质相变所需要的热量，即液态工质能在恒定温度下发生相变，则在工质全部蒸发之前，工质的饱和蒸气压仅与温度有关；同时假设液态工质蒸发速度高于真空泵抽离气态工质的速度。则工质在壁壳内的蒸气分压恒定不变。时间Δt内，蒸发的工质与被真空泵抽离的体积相等。根据理想气体状态方程此时蒸发的液态工质体积
(0)=0 可得需要的额外充液量
由式(8)和初始条件Δq
l1
式(8)、(9)中，ρl 为液体工质的密度，M 为摩尔质量，R 为摩尔气体常数。
(2) 仅考虑热量传递。蒸发过程中，液体需要吸收热量以补充与气体焓值的不同。微热管在制造过程中，热量主要通过管壁依靠热传导和自然对流得到。其速度往往达不到蒸发的要求，从而导致微热管内部温度降低到工质熔点而停止蒸发。假设通过热传导所获得的热量全部转化为液态工质的汽化潜热，在忽略气体温度变化所引起热量变化的情况下，环境向微热管内部传递的最大热流量为
式中，λ为微热管壁壳材料的导热系数，θ0 为工质的熔点，d 为微热管工作段外径。该部分热流量在时间t 内蒸发的工质
式中，γ为工质汽化潜热。由于式(9)、(11)考虑的是两种极限情况，为额外充液量的两个极值。综合考虑，需要的额外充液量
在微热管制造过程中，额外充液量还和毛细吸液芯的性能、气体的扩散速度、集气段尺寸、工质物理性质等多种因素有关，需要在公式前乘以修正系数k ，见式(13)。该数值要比式(12)要小，具体取值有待今后进一步研究。
1.4、两种制造技术对比分析
抽真空灌注技术需要高抽真空设备，如图4，一般包括低真空部分和高真空部分。低真空部分采用机械泵作为预抽泵对微热管进行粗抽；高真空部分采用机械泵作前级泵的分子泵或者扩散泵进行精抽。为了加快抽真空速率，在其中预留主抽室和预抽室，该方法的真空度达到10–5～10–3 Pa。但由于高真空泵对液体的高度敏感性，在内部需要安装干燥器、冷阱等液体去除装置。由于设备有着较长的过度管道，灌注工质时会在其中存在该温度下饱和蒸气压的液体，在设备下一工作循环时吸入真空泵，严重影响着设备的性能，故设备运行一段时间后，需要充入干燥空气，以去除管道中残留的液体。
图4 微热管抽真空设备原理图
灌注抽真空技术，一次除气对真空度要求较低，一般为制造环境温度下工质饱和蒸气压之上50～200 Pa。此时液体蒸发较少，故抽真空设备结构相对简单，仅需图4 低真空部分，对液体的敏感性小。
目前，高抽真空设备的价格一般为低抽真空备的10 倍，高真空计为低真空计价格的5 倍左右，且高真空设备的冷阱工作时需要消耗大量的电能或干燥剂。故抽真空灌注设备的综合成本一般3 倍左右于灌注抽真空设备，而维护成本则2 倍左右于灌注抽真空设备。但是，由于集气段的存在，灌注抽真空设备的材料成本则相较抽真空灌注设备要增加5%～10%，且二次除气的存在，其生产工序比抽真空灌注有一定的延长，人力成本有所增加。为此，微热管制造工序的选择可以根据当时的能源和材料价格进行确定。
2、试验测试与分析
2.1、微热管制造
利用灌注抽真空方式制造外径为6 mm 的沟槽式铜—水微热管，利用JSM-5910 扫描电子显微镜观察毛细吸液芯微沟槽截面，如图5 所示。图5 中，h 为齿槽深，b 为齿槽宽度，δ为壁壳厚度，具体寸参数如表1 所示。壁壳材料为纯铜TP2，λ为383.8W/(m·K)，工质为去离子水。制造时，环境温度控制在20 ℃。表2 为水在不同温度下的饱和蒸气压，表3 为制造参数。采用抽真空灌注方式，由表1 计算需要的工质灌注量为0.47 mL，其性能可以达到30 W 以上。
图5 微热管沟槽截面SEM 图×90
将上述各项参数代入式(1)～(13)，可得表4 结果。根据图4 低真空部分，采用德国TRIVAC 机械真空泵D8C 搭建一次除气系统；根据图3 原理搭建二次除气系统。通过p1 值控制一次除气时间，试验表明该时间比单纯利用式(6)理论计算的时间跨度要长，一般在0.5 s。这主要是由于气体的扩散速度小于真空泵的抽速所引起，为此有必要引入修正系数k 。制作的微热管集气段和成品如图6 所示。
表4 微热管集气段长度和额外灌注量图6 灌注抽真空法制作的热管
2.2、微热管性能测试平台
如图7，测试系统主要由三部分组成：加热部分，在微热管蒸发段缠绕电
阻丝加热的方法模拟芯片发热，该段长度为50 mm，通过调整TPR-12003D数字显示直流稳压电源参数来实现热流量变化，其大小利用WM-02 瓦特计测量；冷却部分利用THYD-0506 数控低温恒温槽产生低温恒温循环水实现微热管冷却，水温为23 ℃±0.05 ℃，该段长度为80 mm；温度测量部分利用OMEGA-K 型热电偶测量，安捷伦数据采集仪34970A 采集数据到个人PC，然后进行相应的处理。为了保证数据的稳定与准确性，每改变一个热流量，测试时间为3～5
min，直到数据稳定后才记录相关热流量。图7 中，θc 为冷凝段温度，θe 为蒸发段温度。
图7 微热管传热性能测试系统
2.3、微热管性能分析
通常情况下，根据微热管的等温特性和热阻来评判热管的传热功率是否在允许范围之内，CHRISTINE 等认为如果微热管蒸发段和冷凝段两段的温差超过5 ℃，则该微热管失效。SAUCIUC等认为如果系统的热阻超过传统空气强制对流的极限(0.15 ℃/W)时，则需要微热管进行热传导。采用灌注抽真空技术，图8 显示充液量为0.47 mL时微热管的性能。试验发现，输入热流量为5 W 时，微热管蒸发段和冷凝段之间的温差小于0.5 ℃。当输入热流量增加到10 W 时，微热管的加热段和冷凝段的温差迅速扩大到2 ℃以上，热阻超过
0.2 ℃/W，且出现很大的波动，温差随着时间的推移不停的扩大，无法达到一个稳定的状态，热管失效。
图8 充液量0.47 mL 时灌注抽真空技术制造的微热管性能图9 充液量为1 mL 时灌注抽真空技术制造的微热管性
能
图9 为工质灌注量增加到1.0 mL 时的微热管性能，可以看出其最大热流量达到65 W。对比图8 和图9，可以看出，增加额外充液量0.53 mL 后，微热管的性能提高了12 倍。这主要是由于充液量为0.47 mL 时，采用灌注抽真空工艺，大量的工质被抽离，微热管工作时因工质不足而出现了干涸。
上述试验结果表明，采用灌注抽真空技术制作微热管时，需要考虑额外灌注量，此时制造的微热管与抽真空灌注技术性能相当，从而证实了采用灌注抽真空方式制作微热管的可行性。
3、结论
(1) 采用灌注抽真空技术制造微热管，需要预先在壁壳尾端预留集气段。为了防止工质完全被抽离，一次抽真空时的压强为该温度下工质饱和蒸气压之上50～200 Pa。在一次除气后引入二次除气，加热蒸发段，充分冷却冷凝段，经过一段时间，利用封口装置将集气段从微热管工作段去除。利用该方法制作的微热管性能可以满足微热管制造技术的需求。
(2) 灌注抽真空技术制造微热管使用的设备抽真空灌注技术相比，仅需要低真空部分，设备结构简单，制造速度快，然而原材料成本有一定程度的增加。
(3) 灌注抽真空技术制造微热管，工质相比抽真空灌注技术需要引入额外充液量，其数值的大小主要与真空泵抽速、制造环境温度、微热管尺寸、工质的物理性质等有关。
(4) 采用灌注抽真空技术，引入额外充液量制造的铜—水沟槽式微热管性能相比未引入额外充液量的提高了12倍。
高温箱式电阻炉使用说明书
高温箱式电阻炉使用说明书
SX2系列 1300℃ 高温箱式电阻炉 使 用 说 明 书 一、概述 本系列1000℃中温箱式电阻炉为周期作业式电炉。以镍铬铝电阻丝为加热元件，炉膛额定温度为1000℃。供实验室、工矿企业、科研等单位作合金钢的热处理及金属烧结、熔解、分析等高温加热之用。
本系列电阻炉需与KSY 型或ZK-3型温度控制器及铂铑－铂热电偶配套使用，由此进行电炉温度的测量、指示及自动控制。 电炉型号 SX 2-4-1000 SX 2-6-1000 SX 2-8-1000 SX 2-10-1000 额定功率（KW ） 4 6 8 10 额定电压（V ） 0～220 0～380 0～380 0～380 相数 1 3 3 3 额定温度℃ 1000 1000 1000 1000 升温时间（分） ≤200 ≤150 ≤350 ≤180 空损功率（KW ） ≤3.6 ≤3.6 ≤5.5 ≤5.5 炉膛尺寸 L ×B ×H （mm ） 250× 150×100 250×150×100 500×200×180 400×200×160 外形尺寸 L ×B ×H （mm ） 670×520×500 665×605×600 800×550×650 840×660×675 重量（kg ） 130 100 230 150 价格 2900 5600 5600 6400 备注 程序控制的另加1400元/台 三、结构简介 本系列电阻炉炉壳用薄钢板经折边焊接制成。炉膛由一高铝耐火材料制成的箱形整体炉衬构成。加热元件－硅碳棒插入炉膛内部，两边并有保护罩，以确保安全SX2-6/10-13炉膛底部装有可拆卸的碳化硅炉底板，便于维修、更换。炉衬与炉壳之间砌筑是用硅酸铝纤维毡和高铝泡沫砖等作保温层。
台车式电阻炉使用说明书
台车式电阻炉使用说明书 1.1 使用说明 1.1.1 概述 本产品按GB10966标准制造，台车式炉体为活动式炉底，实行间断加热，具有结构简单、通用性强等特点，适用于小批量、较大型工件热处理加热。 RT3系列台车式炉与相应的感温元件和控制柜配套使用，实现炉温自动控制。 1.1.2 主要技术参数 参数名称单位数据 额定功率KW 200 额定电压V 380 额定温度℃950 频率Hz 50 相数 3 加热元件接法Y;Y 台车炉工作尺寸（长×宽）mm 1800×1000 通过高度mm 1000 炉温均匀性℃≤±7 加热区数 2 最大一次装载量kg 8000 外形尺寸（长×宽×高）mm 4100X3350X3850 重量kg 7200 1.1.3 结构简介 本系列台车式炉炉体由炉衬、炉壳、台车、加热器和炉用机械组成。 炉衬是用耐火材料砌筑成炉膛，相对台车面用耐火砖砌筑，炉墙及炉顶采用全纤维结构,使其在加热过程中能承受高温热负荷，减少散热损失。炉衬具有一定的结构强度，以保证炉内热交换过程的正常进行。 炉壳是炉体的钢结构部份，由支柱、炉墙钢板及固定构件的各种型钢构成。炉壳的作用是固定炉衬并承受其重量，前支柱则用以承受炉门、龙门架等构件的重量。
台车是炉体的活动式炉底，由车架、炉衬、加热器、炉底板、行走牵引机构和铜插刀等组成的一个独立体，以方便较大型工件在炉外通过起吊设备装卸工件。台车上的加热器是通过铜插刀接触炉壳后部的插座供电的。台车密封是由沙封槽和砂封刀组成，借小车行走机构的动力自行实现密封，可防止冷空气吸入炉内；当炉膛为正压时，则防止高温炉气外逸。此外，还可隔绝炉内热辐射，保护台车金属构件不被烧坏和防止炉内轨道受热变形。 加热器采用铁铬铝高温合金丝带绕成螺旋状和波纹状,悬挂于炉膛内壁和平置于台车上。. 炉用机械有炉门升降机构和台车牵引机构，均采用链轮减速传动，分别通过电动葫芦和电动减速机带动实现炉门升降和台车移动。由于设置有制动器，消除了到位时的位置误差。在炉门关闭行程终点设置有限位开关，当炉门一旦开启时，加热器电源自动切断，确保操作人员安全作业。同时有台车与炉门联锁装置，当炉门在关闭状态时，台车牵引机构电源不能接通，防止由于误操作造成事故。 1.1.4 使用及维修 ①电炉操作人员必须了解电炉及其辅助设备（包括控制柜、仪表等）的构造及其特性，使用前必须对减速机加入润滑油，同时应了解电气线路的铺设情况。 ②在接通电源以前，必须仔细检查设备情况是否已达到安装、烘炉说明中的要求。 ③炉门一经开启时，设备自动切断加热电源，特殊工艺如切断电源会影响工件质量，用户应采取其它可靠的安全措施，以确保操作人员的安全，同时应经常检查各电器间的联锁动作，以防失灵。 ④台车上的炉底板严禁冲击，工件应稳定放在上面，不得使其滚动和跨踏，其堆码工件的几何尺寸应规范在工作区尺寸内。 ⑤严禁将带有腐蚀性、挥发性、爆炸性气体的工件放入炉内加热，也不能向炉内直接滴入或通入可燃性液体或气体，以免影响加热元件及耐火材料的寿命或发生爆炸等意外事故。 ⑥定期揭开炉底板，每使用一段时间后吹扫底板下部氧化皮等杂物。特别在新炉底板投入使用2炉后更应立即清扫底板下部氧化皮等杂物，以防氧化铁太多引起炉底加热器短路或引弧。砂封槽内应经常增添和更换干河砂。 ⑦炉膛内纤维钉如有断损，应及时更换，若炉衬严重损坏应及时重新砌筑。 ⑧加热元件如经短期使用尚未发生严重腐蚀而折断时，可用CHS402或CHS407高温不锈钢焊条，用直流电焊机进行焊接。 ⑨控制系统说明详见控制柜技术文件。 1.2 安装、烘炉说明 1.2.1 安装及冷态检查 ①安装前应参考基础图做好基础并检查所有配套部件应完好、齐全。 ②检查基础，同时考虑铺设电线管路的位置。 ③吊装炉体就位铺设轨道后按接线图接线。 ④按炉体上接地铭牌指示将炉体外壳可靠接地，接地线的截面积应不小于主回路线径的 1/3，最小不得小于6mm2。 ⑤检测加热元件相与相、相与地之间有无短路现象。同时测量各相加热器电阻值，应与加热器图上所标阻值基本一致。 ⑥插入热电偶，其插入炉膛深度不得小于150毫米，并用补偿导线联接至仪表。 1.2.2 烘炉说明 ①电炉安装完毕，在开始使用之前必须对炉衬进行烘烤，除去炉衬中的水份，提高绝缘性
管式炉点火操作
7.1管式炉开工操作 7.1.1检查煤气系统、蒸汽系统及油系统各阀门、旋塞及烟道翻板是否具备开工条件。 7.1.2仪表确保完好。 7.1.3炉膛通蒸汽清扫，至炉体上部冒出蒸汽为止。 7.1.4确认洗油已正常循环，炉内蒸汽管已经通入蒸汽。 7.1.5打开烟囱翻板至1/2处。 7.1.6先将专用点火煤气管点燃，放在煤气喷嘴处，然后开煤气喷嘴阀门，确认煤气已点燃后，再依次点燃其它喷嘴。 7.1.7调节加热煤气量、风量和翻板开度，使管式炉以10-20℃/h的速度升温，炉膛温度超过250℃，以30-40℃/h的速度升温。 7.1.8炉膛温度稳步升温，逐渐提高富油温度达到技术规定。 7.2管式炉停工操作 7.2.1关闭煤气旋塞、总阀门、气动调节阀门和支管阀门，必要时煤气堵盲板。 7.2.2将烟囱翻板和通风口稍开，使炉温缓慢下降，自然冷却。 7.2.3停炉时间不超过3天可不放油，否则，应将油放入地下槽，并用蒸汽扫净。 第二个： 2.9 管式炉开工 2.9.1 检查管式炉各部良好，煤气供给正常。 2.9.2 将煤气管道内存水放净，若第一次或煤气管道检修后开工，则用蒸汽吹扫煤气管道后，再用煤气赶蒸汽至做爆发试验合格。 2.9.3 打开烟囱翻板，使炉膛处于负压状态。 2.9.4 打开蒸汽清扫截门，清扫炉膛至烟囱冒大量蒸汽后关闭。 2.9.5 先给火种，再送煤气，确认点燃后调节烟囱翻板开度和煤气量，使管式炉逐渐升温至规定值。 2.9.6 管式炉首次开工或停工时间较长，在开启之前用临时煤气管道（或开一组火嘴）小火烘烤，待炉膛温度缓慢（2—4小时）升至150℃后，方可正式点火开工。 2.10 管式炉的停工 2.10.1 接到停工通知后，逐渐关闭管式炉煤气入口截门和总截门，停止加热。 2.10.2 炉膛温度降至300℃以下时，全开烟囱翻板。 2.10.3 长时间停用，油管用蒸汽吹净，煤气管道用蒸汽吹扫。
RX3-65-12箱式电阻热处理炉说明书
使用说明书 RX3-65-12箱式电阻热处理炉 温度控制柜 CD1119SM
目录 1.用途 2.使用条件 3.结构和工作原理 4.使用和维修 5.随机文件
1. 用途： 1.1产品型号和名称 本产品为RX3-6-12箱式电阻热处理炉温度控制柜。 1.2产品主要用途 本产品与RX3-6-12箱式电阻热处理炉配套使用。 2.工作条件： 2.1 产品在下列条件下允许连续工作 电网电压：AC380V+10% 50HZ; 2.2 环境温度在+5∽40℃范围内; 2.3 使用地区最湿月每日最大相对湿度的月平均值不大于95,同时该月每日最 低温度的月平均值不高于25℃； 2.4 周围没有导电尘埃，爆炸性气体及能严重损坏金属和绝缘的腐蚀性气体； 2.5 没有明显的振动和颠簸。 3.结构及工作原理 1、结构组成： 电气控制柜主要由主回路、二次测量回路和控制回路等部分组成。 主回路由自动空气开关、交流接触器、快速插式熔断器及增强型固态继电器等组成。 二次测量回路由三块交流电流表及一块交流电压表组成。 控制回路主要由加热控制回路及仪表计量回路和超温报警回路组成。 控温回路主要由智能数显PID控温仪表FP93控制，工艺温度在控温表上进行设定。 2、工作原理 该控制系统主要进行炉温控制，整个系统由温度控制仪、交流接触器、中间继电器、交流固态继电器等组成基本控温系统。 首先按照工艺在控温仪上进行温度设定，控温仪内部将设定温度信号与热电偶信号进行PID自适应运算比较，输出电压脉冲信号，经过中间继电器，控制固态继电器，通过主回路的通电及断电，来达到调节加热功率的目地。控温仪控制及显示温度内部温度。
真空高温管式炉操作规程
GSL-1300X、1600X真空高温管式炉操作规程 一、准备工作 1.设计升降温曲线，升温速率不得高于10℃/分钟，降温速率应低于15℃/分钟。 2.清扫环境。 3.每周开始使用管式炉时，检查机械泵油线处于标线以上，拆除两端盖，用吸尘器清洁刚 玉炉管。 4.将样品舟推入刚与管炉膛中部（恒温长度10cm）。 5.塞上两块隔热炉塞，使第二个炉塞的末端与炉体侧面平齐。 6.装上气炉法兰，确认密封垫落入槽中。 二、充工作气体 Ⅰ. 使用氢气作为工作气体时 1.接通氢气气路，对各接头处用肥皂水检漏，确认不漏气。 2.确认各阀门处于关闭状态。 3.逆时针旋转旋钮开氢气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，缓慢打开出口减压阀，使出口气压在 0.1MPa。 4.接通机械泵电源，打开管式炉出口阀和机械泵气路上的两个阀门，抽5分钟。 5.关闭机械泵气路上的两个阀门，关闭管式炉出口阀门，关机械泵。 6.逆顺时针打开上气路控制阀，使箭头指向“开”位置。 7.逆顺时针调节流量计旋钮，使示数在20ml/min。 8.逆时针旋动旋钮，打开管式炉进气阀，直至气压表读数为零。 9.打开管式炉进气阀，打开氢气气路上的红色出口阀门。 10.在通氢气满十分钟后，才能开始加热管式炉。加热前，逆时针调节流量计旋钮，使锥形 瓶中气泡出现的速度为2个/秒钟。 Ⅱ. 使用惰性气体作为工作气体时 1. 接通工作气体气路，将管式炉气体出口端连接机械泵。 2. 打开管式炉进气阀，合上真空泵电源，打开出气阀（注意把住法兰，避免炉管受力过大），抽空刚玉管和气体管路。 3. 当管式炉真空表到-0.1（指针到尽头时），关闭出气阀，关闭进气阀。 4. 逆时针旋动旋钮开气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，缓慢打开出口减压阀，使出口气压在0.004MPa（2小格）。 5. 逆时针旋动旋钮，缓慢打开管式炉进气阀；密切注意管式炉气压表，确认气压在0.08MPa 以下（如气压高于0.08MPa，打开管式炉出气阀放气）。 6. 管式炉气压表当气压稳定时，关闭管式炉进气阀，打开出气阀，抽真空到-0.1，关管式炉出气阀。 7. 重复4、5步两次。 8. 关机械泵，打开管式炉进气阀。 三、开炉 1. 开墙上管式炉总电源，风扇启动。 2. 开面板电源（顺时针转动Lock旋钮），启动面板。 3. 使仪表处于初始状态（即PV显示数值，SV闪烁显示Stop），此时若不处于该状态，则按向上键对仪表清零，使仪表只处在测显状态。 4. 按向左键1秒，进入温度设定状态，通过按向左键移动光标，按向上键和向下键来调节温度的设定数值。 5. 按回车键1秒，进入时间设定状态，通过按向左键移动光标，按向上键和向下键来调节
小型真空管式炉特点是什么
小型真空管式炉特点是什么？ 小型真空管式炉特点是什么？合肥日新高温技术有限公司为您解答。高温真空气氛管式炉专门设计用于高温、中温、低温CVD工艺。 真空炉机械系统组成 1、真空系统：由油扩散泵、罗茨泵、机械泵配电磁压差阀（防止因突然停电、机械泵油倒灌）充气阀、放气阀、真空蝶阀、真空压力表（±Pa）波纹管、真空管路和支架等组成。 2、水冷系统：由各种阀管道相关装置组成且设有断水声光报警自动切断加热源或功能。
3、温控系统：采用可控硅控温，配置有PID功能仪表，数显表，具有超温声光报警功能，也可选用PLC触摸屏自动控制，并保留历史数据，便于分析烧结过程。 4、充气系统：由各种管道及阀门组成，并配有电磁放气阀、压力传感器，当炉内压力高于安全值时会自动放气，充气管路上装有针阀，可控制充气量。 特点： 如ZnO纳米结构的可控生长、氮化硅渡膜、陶瓷基片导电率测试、陶瓷电容器（MLCC）气氛烧结等等。 窑炉采用氧化铝纤维制品隔热、保温，优质硅钼棒加热，优质99刚玉管炉膛，气体采用浮子流量计流量计控制。 进口单回路智能温度控制仪控制，有效的实现温度的控制。 设备具有温度均匀、控制稳定、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点，是理想的科研设备。
合肥日新高温技术有限公司成立之初，就确定了依托技术开拓市场空间的经营策略，在秉承传统工艺的基础上，不断引进新技术，消化再吸收新工艺，持续发展，开拓创新。以专业品质科技创新的产品价值观，以日新盛德笃志笃行的企业精神，精心打造中国窑炉一流品牌日新窑炉。逢此民族产业迅速发展之盛世，合肥日新高温技术有限公司全体同仁热忱希望能广交业内有识之士，以致力于热能技术、工程提供一流的解决方案为企业核心使命，为携手振兴中国的窑炉事业而贡献力量。
箱式电阻炉使用说明书
箱式电阻炉使用说明书文件管理序列号：[K8UY-K9IO69-O6M243-OL889-F88688]
箱式电阻炉 使用说明书 上海实研电炉有限公司（原上海实验电炉厂） 目录 一．概述 (1) 二．主要技术参数................................1-2 三．结构简介 (2) 四．电阻炉与温度控制器电气联接接线示意图 (3) 五．安装与使用 (4) 六．维护与注意事项 (4) 上海 实研电炉有限公司 一、概述 SX2系列1000℃、1200℃箱式电阻炉为周期作业式电炉，可供工矿企业、科研等单位实验室作化学分析、物理测定和一般小型钢件热处理时加热之用。
本系列电阻炉配有KSG型温度控制器及镍铬--镍热电偶，能对炉膛温度进行测量，指示和自动控制及程序控温。 本系列产品执行标准编号为：JB4311.7-87 二、主要参数 1、SX2系列1000℃
1 上海实研电炉有限公司 2、SX2系列1200℃ 三、结构简介 本系列电阻炉炉壳用薄钢板经折边焊接制成。内炉衬为高铝质耐火材料制成的矩形整体炉衬。由铁铬铝合金丝绕制成螺旋状的加热元件穿
于内炉衬上、下、左、右的丝槽中。为了能有效地加快炉膛升温速度，提高温度控制精度，炉衬采用敞开式结构。电炉的炉口砖，炉门砖选用轻质耐火材料，内炉衬与炉壳之间用耐火纤维，炉门转动灵活。关闭时，压下手把，扣住门钩，炉门就能紧贴于炉口上。开启时，只需往上稍提手把，脱钩后，将炉门置于左侧即可。 为了减少炉口的热损失，提高炉膛内温度的均匀性，在炉口靠近炉门处安放有一块档热板（该板在送取工件时需先取出）。炉口下端装有炉门联锁的行程开关。当炉门开启时，电炉电源便自动切断，从而保证操作安全。 测温用热电偶通过在开炉后的热电偶孔插入，并由固定座固定。 2 上海 实研电炉有限公司 四、电阻炉与温度控制器 1、单相箱式电阻炉与温度控制器电气联接接线示意图 2、三相型箱式电阻炉与温度控制器电气联接接线示意图 3 上海实研电炉有限公司 四、安装与使用 1、本系列电阻炉不需要特殊安装，室内平整的地面或工作台（架）上均可安放。但配套之温度控制器应避免受震动，且放置位置与电炉不宜太近，防止过热而影响控制部分的正常工作。
18#121 管式炉操作说明
天津理工大学电子信息工程学院——天津市薄膜电子与通信器件重点实验室 倾斜体加粗为注意事项管式炉操作说明 厂家及型号：洛阳西格马仪器公司SGM6812DE型双温区管式炉 1.打开电源开关，确保加热及热偶线无连接问题； 2.进行升温设定： 1）按一下AT键，进入设定程序第一步； 2）首先设定第一步起始温度，利用方向键设定目标温度； 3）按一下の键，进入保持起始温度的时间设定； 4）按一下の键，进入第二步温度设定，接着是第二步时间设定； 5）当需要设定停止时，把该步时间设定为-121即可； 6）长按の或停止操作15s即可退出程序设定阶段； 3.程序设定好，按住2s RUN键，程序自动运行，如想突然终止操作，可按2s STOP键； 4.在程序运行过程中，按の键可观察正在运行的程序段和运行时间； 5.在程序运行过程中，可按AT键随时修改尚未执行步骤的温度和时间； 6.程序设定参考（假设设备处于30℃室温）： 1）Step 1 30℃10min（首先在30℃保持10min）； 2）Step 2 30℃7min（经过7min从30℃升至100℃）； 3）Step 3 100℃15min（在100℃保持15min）； 4）Step 4 100℃40min（经过40min从100℃升至800℃）； 5）Step 5 800℃15min（在800℃保持15min）； 6）Step 6 800℃-121min（在800℃保持15min后退出程序，设备停止运行）； 7.如在Step 1设定的温度高于室温，则炉子首先会以最大功率升至目标温度，停留至设定 的时间结束，再执行下一阶段程序。 整理实验台收拾好自己工具及样品做好实验设备使用记录
5-12箱式电阻炉使用说明书
SX2系列 箱式电阻炉 ━━━使用说明书━━ INSTRUCTIONS 宁波凯诺仪器有限公司
目录 一概述 二主要技术参数 三工作环境 四结构说明 五操作步骤 六注意事项
一、概述 箱式电阻炉SX2-5-12型，适用于工业产品的烘干及加热，亦可作各种产品的表面处理，陪烧、烘干及加热固化等。 二、主要技术参数 工作尺寸：300×200×120mm（深×宽×高） 工作温度：室温～1200℃ 加热功率：5KW 加热元件：电阻丝 加热方式：电加热 控温方式：XMTA3301指针仪表 调功方式：接触器 工作电源：220V/380V 50Hz 三、工作环境 1.环境温度：-10-40℃ 2.相对湿度：≤85%RH 3.无易燃、易爆、腐蚀性气体尘埃，避免有振动和冲击力的场合。 四、结构说明 1.电阻炉炉膛采用耐高温砖制作，外壳采用Q235A制作，钢材均经防锈处理，箱体表面喷有硝基喷漆； 2.本设备为电热管加热，接触器调控； 五、操作步骤 1.按电阻炉功率配装负荷开关，接妥电源线和接地线，并检查电气线路；
2.打开干燥箱门，将工件或试件放入电阻炉，关闭箱门； 3.设定产品烘烤温度： a:开启电源开关、电源指示灯亮； b:扭动XMTA3301指针仪表器上的指针，使指针显示为产品所需烘烤温度值；c:仔细观察XMTA3301指针仪表上显示器显示的温度是否有过冲和欠调现象；d:使XMTA3301指针仪表器显示的数字到产品所需烘烤温度; （等温度到达后,仪表动作几次再设置到所需烘烤温度值）； 4.使用完毕，切断电源开关，关闭总电源； 注意：使用电阻炉时温度升到200℃时需保温，再升400℃时也需要保温，按照此方法操作使用，电阻炉不易损坏。 六、注意事项 1.箱体必须经可靠接地。 2.请详阅各种仪表、仪器使用说明书再操作使用电阻炉。 3.工件或试件不可放置过密，以保证热风顺循环。 4.电阻炉恒温时，避免开门，以减少工作室温度波动的可能。 5.本电阻炉出厂时已经技术调整，所有结构不得随易更改。 6.本设备勿需特殊维护，但用户应定期检电气元件和传动部件，及时更换 易老化元件，传动部件应定期加润滑油；设备在长久未使用后重新使用时，应全面检查后才能投入使用。 7.设备出现故障时，请及时找专业人员排除，或与生产厂家联系。 注意:此烘箱属非防爆型烘箱，严禁带有易燃、易爆、易挥发的产品放入箱内，以免发生爆炸，造成不必要的损失！
管式炉操作规程
管式炉操作规程 Prepared on 24 November 2020
双温区真空管式炉操作规程 一、开机 1. 打开电源。 2. 打开控气柜电源开关，预热15min，将流量显示仪调零。 二炼气 1. 放置四个管堵，安装法兰。 2. 左右温区均以3o C/min升温至150 o C，保温30min，加热的同时抽真空，抽真空时，法兰将抽气针阀打开一点，待真空压力表降至 MPa时，分三个阶段完全打开（约3圈）针阀，至 MPa保持30min。 三、气体置换 1. 关闭抽气口法兰上的针阀，打开气瓶约至以下，打开气柜上进气阀 Tv1orTv2，同时观察气柜上的P1orP2压力，打开排气阀Tv3，再打开进气口法兰上的针阀 2. 打开MFC1or2至阀控位置，缓慢调节“设定”旋钮至最大（1000ml/min），当法兰真空压力表达到时，关闭其上针阀，调节流量为0，打开抽气口针阀，抽气至，再关闭抽气口针阀。 3. 再二次打开进气口针阀，缓慢开流量至最大，真空压力表至，关闭进气口针阀，调节流量为0，打开抽气口针阀，抽至，再关闭抽气口针阀，完成二次气体置换。 4. 根据需要重复气体置换（步骤3），一般三次，关闭真空泵。 四、实验
1. 充入保护性气体，关闭进气口针阀，等炉温降至室温，打开抽气口法兰，取出两个管堵。 2. 放入样品至热电偶位置，放入两个管堵至要求位置，安装法兰。 3. 确认抽气口针阀为关闭状态，打开真空泵，再缓慢打开针阀，真空压力表降至，分阶段完全打开针阀至，关闭抽气口针阀，关闭真空泵。 4. 打开进气口针阀，调节气柜流量至最大，使真空压力表达，打开抽气口针阀对外排气，根据实验要求调节流量，一般为100ml/min。 5. 两侧同时设定升温程序，温差不能超过300 o C。 6. 工作结束，降至室温，取出样品，再放入管堵，安装法兰。 7. 关闭进气口针阀，打开真空泵，抽至 MPa，充入保护气体，关闭进气口针阀。 五、关机 1. 关闭流量至“设定”。 2. 关闭气瓶，关闭气柜进气口Tv1orTv2阀 3. 关闭气柜电源。 4. 依次关闭Turn off、Lock，关闭总闸。 注意事项 1. 气瓶压力最大不超过（一般） 2. 试样尽量放在热电偶所在截面位置。 3. 安装法兰时，三个螺丝依次均匀拧紧。 4. 升、降温速率最大不超过10 o C/min，一般为3~5 o C/min。
真空管式炉说明书。卓驰
定制真空管式炉SK3-4-5-10 使 用 说 明 书
卓.驰 目录 一：仪器特点 (1) 二：仪器使用................................................1-3 三：技术参数 (3) 四：注意事项 (3) 五：故障及排除 (4)
六：装箱单 (4) 附：LTDE仪表说明书 一、仪器特点 ■石英炉管，结净度高，不锈钢法兰，密封性能好； ■可抽真空，也可通多种混合堕性气体，做气氛保护； ■仪器精确度高，显示精度1度，在恒温状态下，精确度高达正负1度； ■控制系统采用LTDE技术，具有30波段可编程功能，二级超温保护； SK3-4-5-10真空管式炉为定制炉子，采用优质高温石英材料为炉管，低蓄热轻质纤维材料制作发热炉胆，高效节能，优质高温发热丝为发热元件。炉体长度1220MM，配：φ100*1450MM 石英管，密封装置，带阀三通进气管，带阀单头出气管，真空表装置；控制系统按装有调节功率旋钮，具有低温控制精准的特点，使用温度为100-300℃；控制系统为国际先进的LTDE 可编程仪表，可任意设置升温降温，恒温，定时开机，关机等多波段操作。控制器位于炉体下方，一体化制作，炉体和温控器的电气连接出厂前已完成。 二、仪器使用 操作面板功能
普通操作方法： 接通电源，按↑键二秒钟使SV窗口出现STOP（暂停）。设定步骤：按←键PV显示C01。按←↑↓设置所需的温度。按SET键，PV显示t01。按←↑↓设置-1。等到返回菜单（SV显示STOP）。再按↓键二秒钟，SV显示RUN即可。此时PV即显示升温。SV窗口HOLD和设置的温度交替显示。 例如：要仪器到600℃长期保持自动恒温 按←键一下 C01 = 600 按SET键一下 t01 = -1 等到SV返回STOP，再按↓键。SV显示RUN即仪器开始工作。 定时功能操作方法： 接通电源，按↑键二秒钟使PV显示STOP（暂停）。按←键PV显示CO1, 按←↑↓设置起始温度50（起始温度应高于室温）, 按SET键，PV显示t01。按←↑↓设置起始温度到所需用实际温度的时间（时间宜长不宜短）。按SET键PV显示C02。按←↑↓设置工作所需的温度, 按SET键PV显示t02, 按←↑↓设置所需恒温时间, 按SET键PV显示C03, 按←↑↓设置所需用实际温度（即和C02同样的温度）, 按SET键PV显示t03, 按←↑↓设置-121。等到返回菜单（SV显示STOP）。再按↓键二秒即启动。此时PV窗口显示温度上升。SV显示温度上升或时间运营。 例如：要400℃恒温10分钟。 按←键一下 C01 =50 （起始温度为略高于室内温度的值，如50℃。） 按SET键一下 t01 =20 (一般情况下该段升温时间不宜过短，否则容易温度过冲。) 按SET键一下 C02 =400 (工作需要温度) 按SET键一下 t02 =10 (恒温时间) 按SET键一下 C03 =400 (工作用的温度) 按SET键一下 t03 =-121 等到SV显示STOP再按↓键二秒SV显示RUN即启动。此时PV显示实测温度上升。SV 显示设置温度上升或时间运行。 可编程通常操作方法： 接通电源，按↑键二秒钟使SV窗口出现STOP（暂停）。设定步骤：按一下←键，上排PV显示C01，表示需要程控的起始温度，操作←↑↓键，使下排SV达到所需起始温度。再按下SET键，PV显示t01，表示从起始温度达到下一设定温度的时间，操作←↑↓键，使SV 达到所需时间。再按下SET键，PV显示C02，表示刚才设定的起始温度C01，用了t01的时间，所要达到的温度，按←↑↓使SV达到所需温度。（如需恒温，则C01与C02设置同一值），再按下SET键，PV显示t02表示从C02到达下一温度的时间设定，按前面步骤操作…,最后一段T参数设置“-121”即可自动关机，最多达30段,最后结束段将txx设置-121设置完毕等SV返回STOP再按↓键使显示窗口出现RUN仪器自动按照设定的程序开始工作。程序编排采用温度--时间-温度格式，其定义是从当前段设置温度，经过该段设置的时间到达一温度。例示：按下图所示程序曲线设定各段程序值
电阻炉使用说明书
正文： 一，用途 本系列电阻炉均系周期作业式，需与KSW型温度控制器及镍铬-硅镍热电偶配套使用，由此进行电炉温度的测量、指示及自动控制，供实验室、工矿企业、科研等单位作元素分析测定和一般小型钢件淬火、退火、回火等热处理时加热用。 二、结构特点 本系列电阻炉外型均为长方形，互壳系用角钢及优质钢板焊接制成。工作室是由耐火材料制成的整体炉膛，内置式的加热器，穿于丝孔内。炉膛与炉壳之间用特殊耐火材料充填组成，具有良好的保温作用。 电炉炉门通过多级铰链固定于箱体上。炉门开关是利用炉门手把的自重，通过杠杆作用将炉门紧贴于炉口，开启时只需把手把稍往上提脱勾后往外拉开，将炉门置于左侧即可。另外，在炉口下端装有与炉门连锁的安全开关，当炉门开启时，电炉电源便自动切断，以保证操作安全。 控制器由测量、调节控制和电源装置三个部分组成，其中测量和控制由配置的温度指示仪来完成，电炉电源装置由接触器、电流表，电源开关、端子板等元件组成，因此不但能测量温度，而且能在设定范围内自动控制温度。 三、使用说明 1、将电炉安装在室内平整的地面或工作台（架）上均可安放，与电炉配套的温控器放置位置与电炉不宜太近，防止过热而影响电子元件的正常工作。 2、将热电偶固定座的小孔中插入炉膛，孔与热电偶之间的间隙用石棉网填塞，然后固定。 3、打开温度控制器罩壳，按“电阻炉与温度控制器电器连接线示意图”及温度控制器后端接线板标注用导线联接电源、电炉、热电偶、炉门安全开关。 连接电源时，相线和中心线不可反接，否则会影响温度控制器的正常工作，并有触电危险，在电源线的前级，需另安装开关，以便控制总电源。 连接热电偶至温度控制器的导线应用补偿导线，以清除冷端温度变化所引起的影响，连接时正负极不能反接，为保证操作安全，电炉、温度控制器外壳均需可靠接地。
真空管式炉使用说明
真空管式炉使用说明 1.程序设置 1、 按红色按钮，打开电源，红色按钮变亮，仪器面板有示数，红色数字在50内，绿色数 字跳动在数字和END 上。 2、 3、 C-01，设置温度，该温度为起始温度，设置在室温附近 25℃左右，设置完成。 4、 面板显示t-01，设置升温时间，该时间为从设置的C-01温度升高到C-02 所需要的时间。注意，每段升温速率不得超过 10℃每分钟。 5、 面板显示C-02，设置目标温度，该温度为你第一段时间升高的目标温度。 6、 面板显示t-02，设置升温时间，该时间为从设置的C-02温度升高到C-03 所需要的时间。 7、 面板显示C-03，设置目标温度，该温度为你第二段时间升高的目标温度。 8、 依次往下设置。最后一个目标温度设置完成，如果不想人工关闭程序，设置时间t-xx 为-121，程序自动终止。 9、 等待面板跳动到初始状态，从新检查一遍程序，等待面板跳动到初始状态，无 10、 END ，程序进入初始状态，停止运行. 程序实例： 样品需要从室温加热到650℃，升温速率为每分钟10℃，从650℃加热到850℃，升温速率每分钟5℃，850保温2小时，程序自动结束。 1、 确认设置面板在仪器面板有示数，红色数字在50内，绿色数
字跳动在数字和END 上； 2、 C-01，设置为25； 3、 t-01设置为63； 4、 C-02设置为650； 5、 t-02设置为40； 6、 C-03设置为850； 7、 t-03设置为120； 8、 C-04设置为850； 9、 t-04设置为-121； 10、 等待面板跳动到初始状态，从新检查一遍程序，无误后，等待 面板跳动到初始状态，长按 ，程序显示run ，此时程序设置完 成。 11、 完成后,请先将 气路系统设置 1、 将炉子安装好，确认进气和排气控制阀(T 字阀)处于最大， 将排气管路放置在气体指示器中（盛水容器中）。 2、 检查减压阀，保证减压阀处于最大状态，打开气瓶开关， 慢慢紧减压阀，观察排气口有没有气体出来，压力表压力指数是否处于零点。 3、 如果压力表有压力，迅速关闭气瓶，将减压阀开到最大， 检查管路堵塞点，排除后重新通气，按照第2条检查。 4、 气路通畅，请专人至少每15分钟检查一次气路，保证压力
箱式电阻炉操作规程示范文本
箱式电阻炉操作规程示范 文本 In The Actual Work Production Management, In Order To Ensure The Smooth Progress Of The Process, And Consider The Relationship Between Each Link, The Specific Requirements Of Each Link To Achieve Risk Control And Planning 某某管理中心 XX年XX月
箱式电阻炉操作规程示范文本 使用指引：此操作规程资料应用在实际工作生产管理中为了保障过程顺利推进，同时考虑各个环节之间的关系，每个环节实现的具体要求而进行的风险控制与规划，并将危害降低到最小，文档经过下载可进行自定义修改，请根据实际需求进行调整与使用。 1、工作前 查验“交接班记录”。 a.检查炉膛清洁状况，并清扫氧化铁皮。 b.检查炉门开启机构的轮轴与滑轨的润滑情况。 c.检查炉衬、电阻丝和热电偶引出棒的安装紧固情况， 检查仪表是否正常。 d.检查炉底电阻丝、炉底板、活动炉底的传动机构及电 动机引出线实购正常良好。 e.操作人员穿戴好规定的防护用品，并熟悉“安全操作 规程”。 2、工作前 a.新修炉要按“工艺规程”进行烘炉。
b.切断电源，按“工艺规程”进行烘炉。 c.关闭炉门。 d.按“工艺规定”进行保温。 e.通电加热。 3、工作后 a.切断电源。 b.按“工艺规程”进行出炉。 c.重新装炉，按以上程序重复进行。 d.连续作业时，必须认真填写“交接班记录”，同时向接班人当面交接清楚。 e.按“设备维护规程”维护保养设备。 4、注意事项 a.炉膛最高使用温度不超过950℃。 b.操作时应经常观察炉膛实际温度，以免在仪表失灵时
井式电阻炉安全操作规程标准范本
操作规程编号：LX-FS-A16512 井式电阻炉安全操作规程标准范本 In The Daily Work Environment, The Operation Standards Are Restricted, And Relevant Personnel Are Required To Abide By The Corresponding Procedures And Codes Of Conduct, So That The Overall Behavior Can Reach The Specified Standards 编写：_________________________ 审批：_________________________ 时间：________年_____月_____日 A4打印/ 新修订/ 完整/ 内容可编辑
井式电阻炉安全操作规程标准范本 使用说明：本操作规程资料适用于日常工作环境中对既定操作标准、规范进行约束，并要求相关人员共同遵守对应的办事规程与行动准则，使整体行为或活动达到或超越规定的标准。资料内容可按真实状况进行条款调整，套用时请仔细阅读。 1操作规程 1.1设备检查：开炉前应对设备各部分是否正常作一次全面检查。 1.1.1检查液压站油位及管路应正常，然后启动液压泵起、闭炉盖，检查液压升降机构动作是否正常、坩埚应无烧裂或严重变形。 1.1.2电热元件的接线柱、安全防护罩、设备接地装置是否正确有效。 1.1.3风扇运转是否正常、炉子起、闭联锁开关是否安全可靠。 1.1.4测控温装置是否完好、准确。
1.2炉子启动： 1.2.1经全面检查设备确认无任何隐患和问题后，打开控温仪表和启动加热和风扇开关并按工艺卡所规定的工艺参数设定炉温。 1.2.2操作人员要坚持做好升温过程检查，防止仪表跑温或其它事故。1.3装炉： 1.3.1按轴承套圈的大小和工艺文件的规定，将工件摆平、摞直、放稳在专用的工装、吊具上。然后使用行车稳、准地将工件吊入井式炉炉膛中的支承平座架上。 1.3.2若两人装吊，应密切配合，专心操作，防止装炉不稳、防止发生碰坏设备事故。 1.3.3为了防止工件在加热时产生严重氧化脱碳，工件装架入炉前，可浸涂硼酸酒精饱和溶液。或在工件装炉后，待炉温达到800℃时，通入适量比例
管式炉说明书
KSS-1400℃高温节管式炉操作说明 1、按下电源键(power),同时电源指示灯亮；此时仪表盘上面“SV”“PV”显示的读数分别为“OFF”和“炉内温度”(若不是需要按下仪表盘上的“∧”或“∨”键进行设置)； 2、按下加热键(heating)，同时加热指示灯亮，按下仪表盘上的“?设置键”，使得“SV”上面的显示为“1t(时)”，此时通过仪表盘上面的“∠”、“∧”和“∨”键开始设定所要升温度的时间； 3、按仪表盘上的“?设置键”，存入上面设定好的参数，同时使得“PV”上面显示为“2℃(温度)”，通过仪表盘上面的“∠”、“∧”和“∨”键开始设定步骤2中设定的时间内所要升的温度； 4、重复步骤2和3，按仪表盘上的“?设置键”，通过仪表盘上面的“∠”、“∧”和“∨”键可以分别设置达到之前设定的温度之后，需要保持这个温度的时间“2t”、保温时间到后，降低到所需要的温度“3℃”和降到所需要温度的时间“3t”……，程序设定完之后，最后时间(t)为“0”； 5、再按仪表盘上的“?设置键”，检查一遍之前所设定的程序是否有误 6、再按两次仪表盘上的“R”键，使电路开始运行，同时将风机开动运行。 注意事项： 1、在启动电路时，仪表显示为“OFF”之后再按加热键；
2、设定程序从1t开始……，设定完成到最后时间t一定为“0”； 3、炉温降到500度以下再把电源和风机关闭； 4、仪表里面的参数不能乱改； 5、高温降解的时候最好程序降温，降温要求速度慢，以免刚玉承 受不了导致破裂； 6、往炉子中放样品的时候小心高温管； 7、电炉旁边环境卫生、防止潮湿； 8、时常清洁炉体； 9、操作人员最好固定(1-3人)； 10、使用中如果突然停电(来电后电炉将自动运行)；最好把电炉上 的“power”关掉；以免刚来电电压不稳将电器烧坏！
真空高温管式炉操作规程
真空高温管式炉操作规 程 标准化工作室编码[XX968T-XX89628-XJ668-XT689N]
G S L-1300X、1600X真空高温管式炉操作规程 一、准备工作 1.设计升降温曲线，升温速率不得高于10℃/分钟，降温速率应低于15℃/分 钟。 2.清扫环境。 3.每周开始使用管式炉时，检查机械泵油线处于标线以上，拆除两端盖，用吸 尘器清洁刚玉炉管。 4.将样品舟推入刚与管炉膛中部（恒温长度10cm）。 5.塞上两块隔热炉塞，使第二个炉塞的末端与炉体侧面平齐。 6.装上气炉法兰，确认密封垫落入槽中。 二、充工作气体 Ⅰ.使用氢气作为工作气体时 1.接通氢气气路，对各接头处用肥皂水检漏，确认不漏气。 2.确认各阀门处于关闭状态。 3.逆时针旋转旋钮开氢气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，缓慢打开出口减压阀，使 出口气压在0.1MPa。 4.接通机械泵电源，打开管式炉出口阀和机械泵气路上的两个阀门，抽5分 钟。 5.关闭机械泵气路上的两个阀门，关闭管式炉出口阀门，关机械泵。 6.逆顺时针打开上气路控制阀，使箭头指向“开”位置。 7.逆顺时针调节流量计旋钮，使示数在20ml/min。 8.逆时针旋动旋钮，打开管式炉进气阀，直至气压表读数为零。 9.打开管式炉进气阀，打开氢气气路上的红色出口阀门。 10.在通氢气满十分钟后，才能开始加热管式炉。加热前，逆时针调节流量计旋 钮，使锥形瓶中气泡出现的速度为2个/秒钟。 Ⅱ.使用惰性气体作为工作气体时 1.接通工作气体气路，将管式炉气体出口端连接机械泵。 2.打开管式炉进气阀，合上真空泵电源，打开出气阀（注意把住法兰，避免炉管受力过大），抽空刚玉管和气体管路。 3.当管式炉真空表到-0.1（指针到尽头时），关闭出气阀，关闭进气阀。 4.逆时针旋动旋钮开气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，缓慢打开出口减压阀，使出口气压在0.004MPa（2小格）。 5.逆时针旋动旋钮，缓慢打开管式炉进气阀；密切注意管式炉气压表，确认气压在0.08MPa以下（如气压高于0.08MPa，打开管式炉出气阀放气）。 6.管式炉气压表当气压稳定时，关闭管式炉进气阀，打开出气阀，抽真空到-0.1，关管式炉出气阀。 7.重复4、5步两次。 8.关机械泵，打开管式炉进气阀。 三、开炉 1.开墙上管式炉总电源，风扇启动。 2.开面板电源（顺时针转动Lock旋钮），启动面板。
箱式电阻炉使用说明书
箱式电阻炉 使用说明书 上海实研电炉有限公司（原上海实验电炉厂） 目录 一．概述 (1) 二．主要技术参数................................1-2 三．结构简介 (2) 四．电阻炉与温度控制器电气联接接线示意图 (3) 五．安装与使用 (4) 六．维护与注意事项 (4) 上海 实研电炉有限公司 一、概述 SX2系列1000℃、1200℃箱式电阻炉为周期作业式电炉，可供工矿企业、科研等单位实验室作化学分析、物理测定和一般小型钢件热处理时加热之用。
本系列电阻炉配有KSG型温度控制器及镍铬--镍热电偶，能对炉膛温度进行测量，指示和自动控制及程序控温。 本系列产品执行标准编号为：JB4311.7-87 二、主要参数 1、SX2系列1000℃
1 上海实研电炉有限公司 2、SX2系列1200℃
三、结构简介 本系列电阻炉炉壳用薄钢板经折边焊接制成。内炉衬为高铝质耐火材料制成的矩形整体炉衬。由铁铬铝合金丝绕制成螺旋状的加热元件穿于内炉衬上、下、左、右的丝槽中。为了能有效地加快炉膛升温速度，提高温度控制精度，炉衬采用敞开式结构。电炉的炉口砖，炉门砖选用轻质耐火材料，内炉衬与炉壳之间用耐火纤维，炉门转动灵活。关闭时，压下手把，扣住门钩，炉门就能紧贴于炉口上。开启时，只需往上稍提手把，脱钩后，将炉门置于左侧即可。 为了减少炉口的热损失，提高炉膛内温度的均匀性，在炉口靠近炉门处安放有一块档热板（该板在送取工件时需先取出）。炉口下端装有炉门联锁的行程开关。当炉门开启时，电炉电源便自动切断，从而保证操作安全。 测温用热电偶通过在开炉后的热电偶孔插入，并由固定座固定。
管式加热炉操作方法
管式加热炉操作方法 管式加热炉是采用超轻质的耐火纤维制造而成的，是一种节能电炉。下面乔氏管式加热炉就为大家简单介绍下管式加热炉操作方法： 1、在开炉之前一定要仔细检查水冷却系统、电气设备以及感应器铜管是不是完好，如果有问题，那么禁止开炉。 2、如果炉膛的绒损超过了规定，那么要及时的进行修补。一定不能在熔损过深的坩埚内进行熔炼。 3、要有专人负责开炉以及送电，送电之后不能接触感应器和电缆。值班的人不能擅自离开岗位，要随时注意坩埚以及感应器外部的情况。 4、在装料的时候，要检查炉料里面有没有混入易燃易爆等物品，如果有，要及时除去，严禁冷料和湿料直接加到钢液里面，当熔化液充满上部以后不能加入大块料，避免结盖。 5、在补炉和捣制的时候坩埚里面不能混入氧化铁以及铁屑等物品，捣制坩埚一定要密实。 6、浇注场地和炉前不能有障碍物，没有积水，防止钢水落地发生爆炸。 7、钢水里面不能盛的太满，手抬包浇注的时候，工作人员要配合一致，不能急走急停，浇注之后的余钢要倒入指定的地点，不能乱倒。 8、中频发电机房里面要保持清洁，不能将易燃易爆等物品以及其他的杂物带到室内，室内严禁吸烟。 管式真空炉维修 1、管式真空炉气动挡板阀不能打开 如果是管式真空炉前级阀打不开，原因可能是粗抽阀没有关好或者是真空计设定没到上限；如果是粗抽阀打不开，原因可能是前级阀没有关好或者是主阀没有关好；如果是主阀打不开， 原因可能是粗抽阀没有没有关好或者是前级阀没开。另外还要检查一下真空炉动力气源压力是否足够、气缸机械是否卡住、按钮是否坏掉以及机前阀气缸开关坏掉。
2、管式真空炉抽真空时，抽不上去低真空 首先检查一下管式真空炉机械泵，查看泵油是否足够以及是否被污染，气镇阀是否关严，泵本身抽速是否足够；然后检查一下真空管路，查看电磁放气阀、波纹管、粗抽阀密封套、各法兰接口胶圈是否有问题；接着检查一下炉体，查看放气隔膜阀、真空规管裂、风机接线柱、各法兰接口胶圈是否有问题；再检查一下真空炉的真空计是否准确；最后检查一下罗茨泵旁通阀是否打开。 3、管式真空炉抽真空时，抽不上去高真空 首先检查一下管式真空炉扩散泵，查看油量是否正好，油温是否正常，泵油是否被污染；然后检查一下真空管路，查看主阀密封套、粗抽阀盖胶圈脱落、前级阀侧口、冷阱放油嘴是否有问题；接着检查一下炉体，查看电极、热电偶、炉门胶圈是否有问题；再检查一下真空炉的风冷系统，查看进风口、下回风、风机罩、风机接线柱、换热器进出水压帽是否有问题；最后检查一下真空计显示是否准确。