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详解纯硅制取

详解纯硅制取
详解纯硅制取

详解纯硅制取

1.首先工业上在电炉内,用硅石和碳反应得粗硅和一氧化碳,然后用粗硅和氯气反应得四氯化硅,再用四氯化硅和氢气反应的纯硅和氯化氢,这样就完成硅的制造。(第一步完全相同,第二部有三种方法,工业上用的的是西门子的方法,其他两种不常见。)

反应方程式

A, 石英制硅(冶金级),这一步是粗硅制取

硅商业上是由高纯度的石英砂和木头,焦炭和煤使用碳棒电极在电弧炉中制得。在高于1900 °C的温度下,依照下列方程式碳把石英砂还原成硅:

SiO2 + C →Si + CO2.

SiO2 + 2C →Si + 2CO.

这一过程所的硅称为冶金级硅。纯度为98%-99%。该种2000年0.8美元/公斤,2005年1.7美元/公斤。世界每年制造冶金硅400万吨。

另外,硅制备办法还有熔盐电解法,即电解熔解的二氧化硅。但该研究也只是在2000年才见报道,目前还没有工业化。该方法是不释放二氧化碳。

这种硅的耗能:14千瓦时/公斤硅

B, 高纯硅的制备

1,改进的西门子法

在制备高纯硅之前,需要把粗硅转化成三氯化氢硅(300°C):

Si + 3HCl →HSiCl3 + H2

接着,通过精馏使SiHC13与其它氯化物分离,经过精馏的SiHCl3,其杂质水平可低于10-10%的电子级硅要求。

然后,提纯后的SiHC13通过CVD原理在1150°C下制备出多晶硅粉。

2 HSiCl

3 →Si + 2 HCl + SiCl4.

这个过程的能耗是:150千瓦时/公斤。

2,杜邦法

在950°C下,用锌还原四氯化硅:

SiCl4 + 2 Zn ? Si + 2 ZnCl2

但是, 因为副产品氯化锌经常阻赛生产线而被西门子法取代。

3,REC法

据报道,2006 REC宣布建设一个基于下列反应制备硅的厂:

3SiCl4 + Si + 2H2 ? 4HSiCl3

4HSiCl3 ? 3SiCl4 + SiH4

SiH4 ? Si + 2H2

但是,没有细节的报道。

2.主要用于生产有机硅、制取高纯度的半导体材料以及配制有特殊用途的合金等。

硅炭素属于吸附和离子交换过滤方式。吸附功能主要体现在吸附离子半径小于硅炭素孔穴半径的离子类似于活性炭的功能;其离子交换能量和范围高于树脂40倍。

工作原理如下:

硅炭素滤料是硅、铝、氧晶格状四面体。三价铝,四价硅,硅与铝交换形成电位差,需要带正电荷的离子补充。当水与硅炭素接触时,水中带正电荷的离子恰好补充了硅炭素的电位差,水中的离子便被硅炭素吸附,固定在硅炭素的骨架上,有效达到过滤效果。

工业硅工艺流程资料讲解

.1项目主要建设内容 主要建设内容为:建设生产厂房8000平方米,供水系统、环保系统等配套设施用房10000平方米,厂区道路及停车场等4800平方米,厂区绿化3400平方米。购置和制作生产所需的冶炼炉、精炼炉、除尘系统等生产设备326台(套),监测、化验及其他设备9台套。 1.2.2产品规模 年产高纯工业硅5万吨,其中:1101级高纯工业硅4万吨,3N级高纯工业硅6000吨, 4N 级高纯工业硅4000吨。 1.2.3生产方案 1、产品方案 目前,国内外工业硅市场1101级以下(不包括1101级)产品基本处于供大于求的状况,且短时期内不会有很大变化。结合全油焦生产工艺产品产出比例,本项目产品方案为:年产高纯工业硅5万吨,其中:1101级高纯工业硅4万吨,3N级高纯工业硅6000吨, 4N级高纯工业硅4000吨。 2、技术方案 1)国内外现状和技术发展趋势 冶金级工业硅由于生产技术简单,全世界生产企业众多,产量较大,供需基本保持平衡,且耗能高、附加值低,属国家限制类行业。目前国外有工业硅生产厂家30多家,主要集中在美国、巴西和挪威三国,占世界生产能力的65%,最大生产厂家主要有挪威的埃肯、巴西的莱阿沙、美国的全球冶金,电炉变压器容量大多在10000KVA—60000KVA,通用炉型为3000 0KVA,小于10000KVA的电炉基本停用。其发展趋势是矿热炉大容量化,由敞开式的固定炉体向旋转、封闭炉体发展,自焙电极的应用、炉气净化处理、新型还原剂的开发与应用、炉外精炼技术的发展和应用、生产过程中的计算机管理和控制。其特点是电炉容量大、劳动生产率高、单位产品投资少、有利于机械化、自动化生产和控制环境污染。我国工业硅生产起步于上世纪的50年代,目前仍在生产的厂家约有300多家,电炉400多台,产能约为90—120万吨/年,产量约为70—90万吨。且大部分分布在福建和云、贵、川等小水电资源丰富的地区,受季节性影响较大。其突出特点是电炉容量小、台数多,厂家多而分散,操作机械化水平低、劳动生产率低,产品质量不稳,化学级工业硅产量低(不到产量的1/8),且能源消耗、原材料消耗和生产成本偏高(行业内称为“三高”)。从电炉变压器容量看,我国以3200Kva至6300kVA的电炉为主要炉型,2006年国内已建成的10000kVA工业硅电炉仅有

双向可控硅及触发电路

双向可控硅及其触发电路 双向可控硅是一种功率半导体器件,也称双向晶闸管,在单片机控制系统中,可作为功率驱动器件,由于双向可控硅没有反向耐压问题,控制电路简单,因此特别适合做交流无触点开关使用。双向可控硅接通的一般都是一些功率较大的用电器,且连接在强电网络中,其触发电路的抗干扰问题很重要,通常都是通过光电耦合器将单片机控制系统中的触发信号加载到可控硅的控制极。为减小驱动功率和可控硅触发时产生的干扰,交流电路双向可控硅的触发常采用过零触发电路。(过零触发是指在电压为零或零附近的瞬间接通,由于采用过零触发,因此需要正弦交流电过零检测电路) 双向可控硅分为三象限、四象限可控硅,四象限可控硅其导通条件如下图: 总的来说导通的条件就是:G极与T1之间存在一个足够的电压时并能够提供足够的导通电流就可以使可控硅导通,这个电压可以是正、负,和T1、T2之间的电流方向也没有关系。因为双向可控硅可以双向导通,所以没有正极负极,但是有T1、T2之分 再看看BT134-600E的简介:(飞利浦公司的,双向四象限可控硅,最大电流4A)

推荐电路: 为了提高效率,使触发脉冲与交流电压同步,要求每隔半个交流电的周期输出一个触发脉冲,且触发脉冲电压应大于4V ,脉冲宽度应大于20us.图中BT 为变压器,TPL521 - 2 为光电耦合器,起隔离作用。当正弦交流电压接近零时,光电耦合器的两个发光二极管截止,三极管T1基极的偏置电阻电位使之导通,产生负脉冲信号,T1的输出端接到单片机80C51 的外部中断0 的输入引脚,以引起中断。在中断服务子程序中使用定时器累计移相时间,然后发出双向可控硅的同步触发信号。过零检测电路A、B 两点电压输出波形如图2 所示。

硅的提纯

第二章硅的提纯 2.1 硅的化学提纯与多晶硅的制备 半导体硅是元素半导体,半导体的基本特征是掺入微量电活性杂质将明显改变其电学性能。最 纯净的本征硅单晶的电阻率在室温下理论值大于200kΩ·cm。而若在单晶中掺入百万分之一磷杂质原子,就能使单品电阻率下降到大约0.2Ω·cm,即下降了约一百万倍。杂质对于半导体的性能是如此 的敏感,因此在用半导体制造固体器件时必须控制所用的半导体材料基本上不存在有害杂质。虽然 有些杂质影响显著,而有些杂质影响器件性能较少,但为了控制硅单晶的性能,我们不可能采用某种 技术有选择地只去除有害杂质而又保留若干无害杂质。所以最实际的办法是将硅的纯度提高到足 够的高度,去除各种杂质,然后再根据应用的需要有控制地掺入特定的杂质。作为生长硅单晶的原 始材料,在半导体工业中需要很纯的多晶硅。一般要求纯度达到小数点后面7个“9”至8 个“9”的范围(n个9表示纯度为99·99…9%)。 硅是由石英砂(二氧化硅)在电炉中用碳还原而得,其反应式为 所得硅纯度约为95%~99%,称为粗硅,又称冶金级硅,其中含有各种杂质,如Fe、C、B、P等。 为了将粗硅提纯到半导体器件所需的纯度,硅必须经过化学提纯。所谓硅的化学提纯是把硅用化学方法转化为中间化合物,再将中间化合物提纯至所需的高纯度,然后再还原成为高纯硅。中间化合物一般选择易于被提纯的化合物。曾被研究过的中间化合物有四氯化硅、四碘化硅、甲硅烷等。中间化合物提纯到高纯度后,在还原过程中如果工艺技术不恰当,还会造成污染而降低产品纯度。因此,还原也是重要的工艺过程。高纯多晶硅的生产方法大多数分为三个步骤:①中间化合物的合成; ②中间化合物的提纯;③还原成纯硅。 历史上,人们研究或应用过各种高纯多晶硅的制造方法。最早实现的是四氯化硅锌还原法,由于在还原时锌的沾污,产品还要经过区域提纯(物理提纯)才能达到电子级的要求,整个过程不经济所以已被淘汰。用四碘化硅作为中间化合物也曾被重视,因为四碘化硅能用各种方法提纯,如精馏、萃取、区域提纯等方法均可用于提纯四碘化硅,但由于结果并不经济,纯度也不优于其他方法而被淘汰。现代大量用于生产的是四氯化硅氢还原法、二氯二氢硅还原法、三氯氢硅氢还原法和甲硅烷热分解法。尤其是后两者,在国际上占主导地位。现分述如下。 2.1.1 三氯氢硅氢还原法 三氯氢硅氢还原法最早由西门子公司研究成功,有的文献上称此法为西门子法。三氯氢硅氢还原法可分为三个重要过程:一是中间化合物三氯氢硅的合成,二是三氯氢硅的提纯,三是用 氢还原三氯氢硅获得高纯硅多晶。

工业硅生产常识问答

1、硅的主要物理化学性质有哪些 答:硅的主要物理化学性质如下: 原子量:28.086 比重:2.34g/cm3 沸点:3427 C 熔点:1413 C 比热:(25 C时)4.89卡/克分子度 比电阻:(25 C时)214000欧姆厘米 纯净结晶硅是一种深灰色、不透明、有金属光泽的晶体物质。它即不是金属,又不是 非金属,介于两者之间的物质。它质硬而脆,是一种良好的半导体材料。硅在常温下很不活 泼,但在高温下很容易和氧、硫、氮、卤素金属化合成相应的硅化物。 硅与氧的化学亲合力很大,硅与氧作用产生大量的热,并形成SiO2: Si+ O2= SiO2 △ H298=-21O.2千克/克分子 二氧化硅在自然界中有两种存在形式:结晶态和无定形态。结晶态二氧化硅主要以简 单氧化物及复杂氧化物(硅酸盐)的形式存在于自然界。冶炼硅所用硅石,就是以简单氧化 物形式广泛存在的结晶态二氧化硅。结晶态二氧化硅根据其晶型不同,在自然界存在三种不同的形态:石英、鳞石英、方石英。这几种形态的二氧化硅又各有高温型和低温型两种变体。 因而结晶态二氧化硅实际上有六种不同的晶体,各种不同的晶型存在范围、转化情况,随压 力温度的变化二氧化硅的晶型转化不同,不仅晶型发生变化,而且晶体体积也随着自发生变 化。特别是从石英转化成鳞石英时,体积发生明显的膨胀,这就是硅石在冶炼过程中发生爆 裂的主要原因。 结晶的二氧化硅是一种硬、较脆,难熔的固体。二氧化硅的熔点为1713C 、沸点为2590C 。二氧化硅的化学性质很不活泼,是一种很稳定的氧化物。除氢氟酸外、二氧化硅不溶于任何 一种酸。在低温下比电阻很高(1.0 to3Q?Cm但温度升高时,二氧化硅的比电阻急剧下降,

Proteus的用法详解分解

Proteus 的用法详解 一、用Proteus的步骤: 1、建模板 点File→New Design,新建模板并选择模板大小。 点File→Save Design,保存模板。 点Design→Edit Design Properties,,编辑模板的标题和作者等。 点Template→Edit Design Defaults,编辑模板的背景颜色和栅格颜色。 点Template→Set Graphics Styles,编辑线的颜色、总线颜色等颜色。也可以编辑元件的颜色,如下图: 点Template→Set Text Styles,编辑文本的颜色,包括总线标号的颜色。 2、在库中选择所有要用的元器件。 3、画图。 4、点Tools→Global Annotator可以对整个或局部的元件自动编号 5、如何把当要把Proteus中的图复制到word中时,需要背景色和元件的颜色都是黑白色。 方法:点File→Export Graphics→Export Bitmap,在颜色选项中选中“D isplay”或“Mono”,然后点Filename 按钮,选择输出路径,然后点OK,输出BMP格式的图片。然后打开word,点插入→图片→来自文件,就可以了。 注:如果在颜色选项中选中“D isplay”,则输出的图片,只背景色和元件的颜色是黑白的,其他的颜色不变;如果在颜色选项中选中“Mono”,则输出的图片中,所有的颜色都是黑白的。

6、如何隐藏元件的内容,如下图: 方法:选择“Templa te→Set Design Defaults” 在弹出的“Edit Design Defaults”窗口中左下角的“Hidden Objects”栏下,将“Show hidden text?”右边的选择框里的钩去掉就OK啦!如下图: 7、仿真 注: 总线的用法: ①总线按钮后,开始画总线,画完总线后双击鼠标,就完成了画总线。

双向可控硅选型表要点

双向可控硅为什么称为“TRIAC”? 三端:TRIode(取前三个字母) 交流半导体开关:AC-semiconductor switch(取前两个字母) 以上两组名词组合成“TRIAC”,或“TRIACs”中文译意“三端双向可控硅开关”。 由此可见“TRIAC”是双向可控硅的统称。 另: 双向:Bi-directional(取第一个字母) 控制:Controlled (取第一个字母) 整流器:Rectifier (取第一个字母) 再由这三组英文名词的首个字母组合而成:“BCR”,中文译意:双向可控硅。 以“BCR”来命名双向可控硅的典型厂家如日本三菱,如:BCR1AM-12、BCR8KM、BCR08AM 等等。 -------------- 双向:Bi-directional (取第一个字母) 三端:Triode (取第一个字母) 由以上两组单词组合成“BT”,也是对双向可控硅产品的型号命名,典型的生产商如:意法ST公司、荷兰飞利浦-Philips公司,均以此来命名双向可控硅. 代表型号如:PHILIPS 的BT131-600D、BT134-600E、BT136-600E、BT138-600E、BT139-600E、、等。这些都是四象限/非绝缘型/双向可控硅;Philips公司的产品型号前缀为“BTA”字头的,通常是指 三象限的双向可控硅。三象限的品种主要应用于电机电路、三相市电输入的电路、承受的瞬间浪涌电流高。 ------------------- 而意法ST公司,则以“BT”字母为前缀来命名元件的型号,并且在“BT”后加“A”或“B”来表示绝缘与非绝缘。组成:“BTA”、“BTB”系列的双向可控硅型号,如: 四象限、绝缘型、双向可控硅:BTA06-600C、BTA08-600C、BTA10-600B、BTA12-600B、BTA16-600B、BTA41-600、、、等等; 四象限、非绝缘、双向可控硅:BTB06-600C、BTB08-600C、BTB10-600B、BTB12-600B、BTB16-600B、BTB41-600、、、等等; ST公司所有产品型号的后缀字母(型号最后一个字母)带“W”的,均为“三象限双向可控硅”。如“BW”、“CW”、“SW”、“TW”; 代表型号如:BTB12-600BW、BTA26-700CW、BTA08-600SW、、、、等等。 至于型号后缀字母的触发电流,各个厂家的代表含义如下: PHILIPS公司:D=5mA,E=10mA,C=15mA,F=25mA,G=50mA,R=200uA或5mA,型号没有后缀字母之触发电流,通常为25-35mA; PHILIPS公司的触发电流代表字母没有统一的定义,以产品的封装不同而不同。 意法ST公司:TW=5mA,SW=10mA,CW=35mA,BW=50mA,C=25mA,B=50mA,H=15mA,T=15mA, 注意:以上触发电流均有一个上下起始误差范围,产品PDF文件中均有详细说明,一般分为最小值/典型值/最大值,而非“=”一个参数值。 对于产品类别、品种系列的名词国际上通用的命名有:

高纯硅的制备与硅烷法(doc 10页)

高纯硅的制备 硅在地壳中的含量为27%,主要来源是石英砂(SiO2)和硅酸盐(Na2SiO3) 。 1.2.1粗硅的制备方法: 石英砂与焦炭在碳电极的电弧炉中还原,可制得纯度为97%的硅,称为“粗硅”或“工业硅”。 粗硅的制备反应式: SiO2 + 3C ====== SiC + 2 CO (1) 2SiC + SiO2 ====== 3Si + 2 CO (2) 总反应SiO2 + 2C =====Si + 2 CO (1)高纯硅的化学制备方法 1、三氯氢硅还原法: 产率大,质量高,成本低,是目前国内外制备高纯硅的主要方法。 2、硅烷法 优点:可有效地除去杂质硼和其它金属杂质,无腐蚀性,不需要还原剂,分解温度低,收率高,是个有前途的方法。 缺点:安全性问题 3、四氯化硅还原法:硅的收率低。 三氯氢硅还原法制备纯硅的工艺过程:(三氯氢硅:室温下为无色透明、油状液体,易挥发和水解。在空气中剧烈发烟,有强烈刺激味。比SiCl4活泼,易分解。沸点低,容易制备,提纯和还原。) 一、三氯氢硅的制备: 原料:粗硅 + 氯化氢 流程:粗硅→ 酸洗 (去杂质) → 粉碎→ 入干燥炉→ 通入热氮气→ 干燥→ 入沸腾炉→ 通干HCl → 三氯氢硅 主反应: Si + 3HCl = SiHCl3 + H2 (副反应生成的杂质1、SiCl4 2、SiH2Cl2 ) 为增加SiHCl3的产率,必须控制好工艺条件,使副产物尽可能的减少。较佳的工艺条件: 1、反应温度280-300℃ 2、向反应炉中通一定量的H2,与HCl气的比值应保持在1:3~5之间。 3、硅粉与HCl在进入反应炉前要充分干燥,并且硅粉粒度要控制在0.18-0.12mm 之间。 4、合成时加入少量铜、银、镁合金作催化剂,可降低合成温度和提高SiHCl3的产率。 二、氯氢硅的提纯 目的:除去SiHCl3中含有的SiCl4和多种杂质的氯化物。 提纯方法:精馏 精馏提纯:是利用混合液中各组分的沸点不同来达到分离各组分的目的。 三、三氯氢硅还原 主反应: SiHCl3 + 3H2 → Si + 3HCl 副反应:4SiHCl3 + 3H2 = Si + 3SiCl4 + 2H2 SiCl4 + H2 = Si + 4HCl 升高温度,有利于SiHCl3的还原反应,还会使生成的硅粒粗大而光亮。但温度过高不利于Si在载体上沉积,并会使BCl3,PCl3被大量的还原,增大B、P的污染。反应中还要控制氢气量,通常H2:SiHCl3 =(10-20):1 (摩尔比)较合适。 硅烷法 主要优点: 1、除硼效果好 2、无腐蚀性 3、分解温度低,不使用还原剂,效率高 有利于提高纯度 4、产物中金属杂质含量低,(在硅烷的沸点-111.8℃下,金属的蒸气压低) 5、外廷生长时,自掺杂低,便于生长薄外廷层。 缺点:安全性

工业硅冶炼操作工艺

工业硅冶炼操作工艺 西安宏信矿热炉有限公司

一、工业硅生产工艺流程图

二、工业硅生产安全管理制度 工业硅生产是铁合金生产中最为精细的一种产业,要求每个操作人员必须经过严格培训,掌握生产个环节的重点和工艺要素,作到心中有数。只有这样才能将生产管理规范化、精细化,生产出高品级的工业硅。 1、冶炼工技术操作职责 ?保证高温冶炼,尽量减少热损失,使SiC的形成和破坏保持相对平衡。 ?炉料混合均匀后加入炉内。 ?正常冶炼的操作程序是沉料—攒热料—加新料—焖扎盖。 ?要垂直于电极加料,不要切线加料。料落点距电极100mm左右,不允许抛散炉料。 ?炉料形状和分布要合理,集中加料后,使料面呈馒头形状,料面要高于炉口200—300mm。 ?每班接时要捣炉,捣出的黏料捣碎后推到炉心。 ?沉料、捣炉时动作要块,不要碰撞电极、铜瓦和水套。 ?根据炉料融化情况加料,尽量做到加料量、用料量和出硅量相适应。 ?保持合理的料层结构,捣松的炉料就地下沉,不要大翻炉膛。 ?使用铁质工具沉料、捣炉时,动作要块,避免融化铁铲和捣炉棒。 ⑴木块等碳质还原剂在加料平台上可单独堆放,沉料结束或处理炉况时先加木块于电极根部凹坑处,然后加混合料盖住。 ⑵ 仔细观察仪表,协调其他人员用计算机控制电极的压放,使三根电极平衡运行。 ⑶ 随时了解电炉电流、电压的变化情况,给予适当的调整。

2、出炉工技术操作职责 ①正常情况下,每班出3—4炉,尽量大流量、快出硅。 ②出炉前先将炉眼、流槽清理干净,准备好出炉工具和材料。 ③用烧穿器前,要先将钢钎清除炉嘴外的结渣硅,使炉眼保持φ150mm左右的喇叭口形状,然后用烧穿器烧开炉眼。能用钢钎捅开时不用烧穿器。 ④当流量小时,要用木棒捅炉眼、拉渣,用烧穿器协助出硅。 ⑤堵炉眼前炉眼四周和内部渣滓扒净,用烧穿器修理炉眼至通畅光滑,然后堵眼,深度超过或达到炉墙厚度。 ⑥堵眼时如果炉气压力过大无法堵塞,要停电堵眼。 ⑦出炉口和硅包附近要保持干燥,禁止积水,防止跑眼爆炸。 ⑧精练产品要按方案进行,不可随意改变供气量、精练时间、造渣剂的比例等。精练时注意安全,防止硅液飞溅、过大氧气回火等事故发生。 ⑨浇注前要修补好锭模,放好挡渣棒,锭模底部可适当放适量合格硅粒,或涂脱模剂,保护锭模。 ⑩浇注时,硅包倾倒至硅液快要流出时,稍停片刻,使硅渣稳定,再使硅液从包嘴慢慢流入缓冲槽。 ⑴工业硅锭冷却到乌红时,用专用吊具从锭模中吊出,转移到冷却间。严禁用水急冷。 3、电工技术操作职责 ①持证上岗,遵守供用电制度,要求与变电站和生产指挥紧密配合。 ②电工作到四会:会原理、会检修、会接线、会操作

单向可控硅与双向可控硅结构电原理图及测试方法

单向可控硅与双向可控硅结构电原理图及测试方法 可控硅的检测 1.单向可控硅的检测 万用表选用电阻R×1档,用红黑两表笔分别测任意两引脚间正反向电阻直至找出读数为数十欧姆的一对引脚,此时黑笔接的引脚为控制极G,红笔接的引脚为阴极K,另一空脚为阳极A。此时将黑表笔接已判断了的阳极A,红表笔仍接阴极K。此时万用表指针应不动。用短接线瞬间短接阳极A和控制极G,此时万用表指针应向右偏转,阻值读数为10欧姆左右。如阳极A接黑表笔,阴极K接红表笔时,万用表指针发生偏转,说明该单向可控硅已击穿损坏

。 2.双向可控硅的检测 用万用表电阻R×1档,用红黑两表笔分别测任意两引脚正反向电阻,结果其中两组读数为无穷大。若一组为数十欧姆时,该组红黑表笔所接的两引脚为第一阳极A1和控制极G,另一空脚即为第二阳极A2。确定A、G极后,再仔细测量A1、G极间正反向电阻,读数相对较小的那次测量的黑表笔所接的引脚为第一阳极A1,红表笔所接引脚为控制极G。将黑表笔接已确定了的第二阳极A2,红表笔接第一阳极A1,此时万用表指针应不发生偏转,阻值为无穷大。再用短接线将A2、G极瞬间短接,给G极加上正向触发电压,A2、A1间阻值约为10欧姆左右。随后断开A2、G极短接线,万用表读数应保持10欧姆左右。互换红黑表笔接线,红表笔接第二阳极A2,黑表笔接第一阳极A1。同样万用表指针应不发生偏转,阻值为无穷大。用短接线将A2、G极间再次瞬间短接,给G极加上负向的触发电

压,A1、A2间阻值也是10欧姆左右。随后断开A2、G极间短接线,万用表读数应不变,保持10欧姆左右。符合以上规律,说明被测双向可控硅管未损坏且三个引脚极性判断正确。 检测较大功率可控硅管是地,需要在万用表黑笔中串接一节1.5V干电池,以提高触发电压。双向可控硅(TRIAC)在控制交流电源控制领域的运用非常广泛,如我们的日光灯调光电路、交流电机转速控制电路等都主要是利用双向可控硅可以双向触发导通的特点来控制交流供电电源的导通相位角,从而达到控制供电电流的大小[1]。然而对其工作原理和结构的描述,以我们可以查悉的资料都只是很浅显地提及,大部分都是对它的外围电路的应用和工作方式、参数的选择等等做了比较多的描述,更进一步的--哪怕是内部方框电路--内容也很难找到。 由于可控硅所有的电子部件是集成在同一硅源之上,我们根本是不可能通过采用类似机械的拆卸手段来观察其内部结构。为了深入了解和运用可控硅,依据现有可查资料所给P 型和N型半导体的分布图,采用分离元器件--三极管、电阻和电容--来设计一款电路,使该电路在PN的连接、分布和履行的功能上完全与双向可控硅类似,从而通过该电路来达到深入解析可控硅和设计实际运用电路的目的。 1 双向可控硅工作原理与特点 从理论上来讲,双向可控硅可以说是有两个反向并列的单向可控硅组成,理解单向可控硅的工作原理是理解双向可控硅工作原理的基础[2-5]。 1.1单向可控硅 单向可控硅也叫晶闸管,其组成结构图如图1-a所示,可以分割成四个硅区P、N、P、N和A、K、G三个接线极。把图一按图1-b 所示切成两半,就很容易理解成如图1-c所示由一个PNP三极管和一个NPN三极管为主组成一个单向可控硅管。

高纯硅提取原理

高纯硅提取原理 高纯硅的制备一般首先由硅石(SiO2)制得工业硅(粗硅),再制成高纯的多晶硅,最后拉制成半导体材料单晶硅。 工业生产中使用硅石(SiO2)和焦炭以一定的比例混合,在电炉中加热至1600~1800℃而制得纯度为95%~99%的粗硅,其反应如下:SiO2+2C=Si+2CO 粗硅中一般含有铁、铝、碳、硼、磷、铜等杂质,这些杂质多以硅化构成硅酸盐的形式存在,为了进一步提高工业粗硅的纯度,可采用酸浸洗法,使杂质大部分溶解(有少数的碳化硅不溶)。其生产工艺过程是:将粗硅粉碎后,依次用盐酸、王水、(HF+H2SO4)混合酸处理,最后用蒸馏水洗至中性,烘干后可得含量为99.9%的工业粗硅。 高纯多晶硅的制备方法很多,据不完全统计有十几种,但所有的方法都是从工业硅(或称硅铁,因为含铁较多)开始,首先制取既易提纯又易分解(即还原)的含硅的中间化合物如SiCl4、SiHCl3、SiH4等,再使这些中间化合物提纯、分解或还原成高纯度的多晶硅。 目前我国制备高纯硅多晶硅主要采用三氯氢硅氢还原法、硅烷热解法和四氯化硅氢还原法。一般说来,由于三氯氢硅还原法具有一定的优点,目前比较被广泛的应用。此外,由于SiH4具有易提纯的特点,因此硅烷热分解法是制备高纯硅的很有发展潜力的方法。下面我们就分别介绍上述三种方法制备高纯硅的化学原理。 1三氯氢硅还原法 (1)三氯氢硅的合成 第一步:由硅石制取粗硅硅石(SiO2)和适量的焦炭混合,并在电炉内加热至1600~1800℃可制得纯度为95%~99%的粗硅。其反应式如下: SiO2+3C=SiC+2CO(g)↑ 2SiC+SiO2=3Si+2CO(g)↑ 总反应式:SiO2+2C=Si+2CO(g)↑ 生成的硅由电炉底部放出,浇铸成锭。用此法生产的粗硅经酸处理后,其纯度可达到99.9%。 第二步:三氯氢硅的合成三氯氢硅是由干燥的氯化氢气体和粗硅粉在合成炉

双向可控硅命名方式

双向可控硅命名方式,晶闸管,整流器 双向可控硅是怎样命名的? 双向可控硅为什么称为“TRIAC”? 三端:TRIode(取前三个字母) 交流半导体开关:ACsemiconductor switch (取前两个字母) 以上两组名词组合成“TRIAC” 中文译意“三端双向可控硅开关”。 由此可见“TRIAC”是双向可控硅的统称。 另: 双向:Bi-directional(取第一个字母) 控制:Controlled (取第一个字母) 整流器:Rectifier (取第一个字母) 再由这三组英文名词的首个字母组合而成:“BCR”,中文译意:双向 可控硅。 以“BCR”来命名双向可控硅的典型厂家如日本三菱 如:BCR1AM-12、BCR8KM、BCR08AM等等。 -------------- 双向:Bi-directional (取第一个字母) 三端:Triode (取第一个字母) 由以上两组单词组合成“BT”,也是对双向可控硅产品的型号命名,典型的生产商如:意法ST公司、荷兰飞利浦-Philips公司,均以此来命名双向可控硅。代表型号如:PHILIPS 的 BT131-600D、BT134-600E、BT136-600E、BT138-600E、BT139- 600E、、等。 这些都是四象限/非绝缘型/双向可控硅;

Philips公司的产品型号前缀为“BTA”字头的,通常是指三象限的双向 可控硅。 三象限的品种主要应用于电机电路、三相市电输入的电路、承受的瞬 间浪涌电流高。 ------------------- 而意法ST公司,则以“BT”字母为前缀来命名元件的型号,并且在“BT”后加“A”或“B”来表示绝缘与非绝缘。 组成:“BTA”、“BTB”系列的双向可控硅型号,如: 四象限、绝缘型、双向可控硅:BTA06-600C、BTA08-600C、BTA10-600B、BTA12-600B、BTA16-600B、BTA41-600、、、等等; 四象限、非绝缘、双向可控硅:BTB06-600C、BTB08-600C、BTB10-600B、BTB12-600B、BTB16-600B、BTB41-600、、、等等; ST公司所有产品型号的后缀字母(型号最后一个字母)带“W”的,均为“三象限双向可控硅”。如“BW”、“CW”、“SW”、“TW”; 代表型号如:BTB12-600BW、BTA26-700CW、BTA08-600SW、、、、 等等。 至于型号后缀字母的触发电流,各个厂家的代表含义如下:PHILIPS公司:D=5mA,E=10mA,C=15mA,F=25mA,G=50mA,R=200uA或5mA,型号没有后缀字母之触发电流,通常为25-35mA;PHILIPS公司的触发电流代表字母没有统一的定义,以产品的封装不 同而不同。 意法 ST公司:TW=5mA,SW=10mA,CW=35mA,BW=50mA,C=25mA,B=50mA,H=15mA,T=15mA, 注意:以上触发电流均有一个上下起始误差范围,产品PDF文件中均有详细说明,一般分为最小值/典型值/最大值,而非“=”一个参数值。

工业硅冶炼及炼硅炉基本知识

工业硅冶炼及炼硅炉基本知识 工业硅消费增产降耗的措施主要有:1.把握炉况及时调整料比,坚持适合的C/SiO2分子比,适合的物料粒度和混匀,避免过多SiC生成。2.选择合理的炉子构造参数和电气参数,保证反响区有足够高的温度,合成消费的碳化硅使反响向有力消费硅的方向。3.及时捣炼硅炉,协助沉料,防止炉内过热,形成硅的挥发,或再氧化成SiO,减少炉料损失,进步Si回收率。4.坚持料层具有良好的透气性,可及时排出反响消费的气体,减少热损失和SiO大量逸出。 一、消费工业硅的原料 冶炼工业硅的原料主要有硅石、碳素复原剂。 (一)硅石硅石要有一定的抗爆性和热稳定性,其中抗爆性对大炉子很重要,对容量小的炉子请求可略为降低。有些硅石很致密,难复原,形成冶炼情况不顺,经济指标差,很少采用。 硅石的粒度视炉子容量的大小不同而异,普通5000KVA以上的炉子,硅石粒度为50-100毫米,且40-60毫米的粒度要占50%以上。 硅石要清洁无杂质,破碎筛分后,要用水冲洗,除掉碎石和泥土。目前对新采用的硅石在化学成分、破碎合格以后,还要在消费中试用。经济指标较好,才干长期运用。 (二)碳质复原剂优选各种不同碳质复原剂,请求固定碳高,灰分低,化学生动性要好,采用多种复原剂搭配运用,以到达最佳冶炼效果。冶炼工业硅所用的碳质复原剂有:石油焦、沥青焦、木炭、木块(木屑)低灰分褐煤,半焦和低灰、低硫烟煤等。

石油焦:其特性是固定碳高,灰分低,价钱低廉,并且能使料面烧结好,但高温比电阻低,影响电极下插,反响才能差。要选择固定碳大于82%,灰分小于0.5%、水份稳定,动摇不许超越1%,以免影响复原剂配入量。粒度请求4-10毫米,粒度配合比例要适宜。粉料多烧损大,下部易缺碳,透气性不好;粒度大数量多比电阻小,电极易上抬。 木块(或木屑):其性质接近木炭,在炉内干馏后,在料下层构成比木炭孔隙度、化学生动性更好的木炭。所运用的木块(或木屑)要清洁无杂物,不许代入泥土等杂质。木块长度不得超越100毫米。 褐煤、烟煤:有比电阻、挥发份高,孔隙度大,化学生动性好,料面烧结性强,价钱低廉的特性。挥发份在料层中挥发利于料面烧结和闷烧,而且能够构成疏松的比外表积大,比电阻极大的焦化碳,对冶炼很有利。请求灰分小于4%,粒度小于25毫米,否则不能运用。褐煤性质接近木炭,可作木炭的代用品。 碳素复原剂品种不同,即便同种但产地不同性质也不相同。可搭配运用,求得更好的经济效益。如运用石油焦60-80%,木炭(或加局部木块)20%;石油焦60-70%,木炭(或木块)20-40%,烟煤5-10%搭配运用,效果比拟好。国外采用石英与复原剂职称团块炉料,先焙烧停止复原,再冶炼工业硅,使电耗降低到9000Kwh/t以下。 二、冶炼原理 在工业硅的消费中,普通以为硅被复原、炼硅炉中的反响式为 SiO2液+2C=Si液+2CO T始1933K(1) 实践消费中硅的复原是比拟复杂的,从冷态下炉内状况动身,对实践消费中炉内物化反响停止讨论。消费过程中的运转表示大致如下:

三象限双向可控硅原理

Philips Semiconductors

Application Note 三象限双向可控硅 - 给初始产品生产厂带来利益 AN10119 Author Nick Ham Number of pages : 6 Date: 2002 Jan 11 ? 2002 Koninklijke Philips Electronics N.V. All rights are reserved. Reproduction in whole or in part is prohibited without the prior written consent of the copyright owner. The information presented in this document does not form part of any quotation or contract, is believed to be accurate and reliable and may be changed without notice. No liability will be accepted by the publisher for any consequence of its use. Publication thereof does not convey nor imply any license under patent- or other industrial or intellectual property rights.

在日常生活中我们已习惯于使用各种电器和电动工具。我们期待这些电器能可靠运行,使我们的生活更方便,或者更舒适。至于是什么使得这些电器能可靠工作,并且使用方便呢,正是电器的电子功率控制装置。作为很多现代电器的核心,精选的控制器件是简单、可靠,但价格不高的双向可控硅。对于带有电动机或其它电感性、电容性负载的电器,采用三象限(3Q)双向可控硅给生产厂和最终用户都带来好处,因为能节约成本,并改善性能。本文的内容就是说明,三象限(3Q)双向可控硅为什么优于传统的四象限(4Q)双向可控硅。 触发象限说明 一个3Q 双向可控硅(亦可称之为Hi-Com 双向可控硅)能在三种方式下触发,而4Q 双向可控硅则能在四种方式下触发。其原理及命名说 明如下。 触发象限有时写作,例如,(T2+,G -),有时用象限1至4表示。后面这种表示法容易和特性曲线的象限相混淆。表1中汇总了各种命名法。 表1: 双向可控硅触发象限 — 通用命名法 普通写法T2+,G + T2+,G- T2-,G-T2-,G + 简化写法1+ 1- 3- 3+ 通用写法 1 Ⅰ 2 Ⅱ 3 Ⅲ 4 Ⅳ 为什么采用三象限双向可控硅? 为了防止假脉冲触发双向可控硅,造成失控导通,引起电机运行不稳定,噪声增大,4Q 双向可控硅的电路中总是包括外加的保护元件。典型电路中,RC 缓冲电路并联在双向可控硅的主端子之间,用来限止电压变化率(dV/dt),有些情况下还需要大容量的电感,以限制切换时的电流变化率(dI com /dt)。这些元件增加电路的成本和尺寸。 甚至,还可能降低长期可靠性。选择不佳的缓冲元件能导致破坏性的峰值电流和电流上升率。假如双向可控硅阻断高电压时被触发,或者缓冲电容通过双向可控硅放电过快,这时就可能发生前述问题。 缓冲电路由串联的电容和碳质电阻构成,两元件都按电源电压选用。元件的典型数值是0.1μF 及≧100Ω。所用碳质电阻应能承受反复的浪涌电流而不烧毁。缓冲电路元件的选择是为了限制dV COM /dt 或dV D /dt 在一定水平下,确保不触发双向可控硅。在这

高纯硅制备的化学原理

高纯硅制备的化学原理(1) 高纯硅的制备一般首先由硅石(SiO2)制得工业硅(粗硅),再制成高纯的多晶硅,最后拉制成半导体材料硅单晶。 工业上是用硅石(SiO2)和焦炭以一定比例混合,在电炉中加热至 1600~1800℃而制得纯度为95%~99%的粗硅,其反应如下:SiO2+2C=Si+2CO 粗硅中一般含有铁、铝、碳、硼、磷、铜等杂质,这些杂质多以硅化构成硅酸盐的形式存在,为了进一步提高工业粗硅的纯度,可采用酸浸洗法,使杂质大部分溶解(有少数的碳化硅不溶)。其生产工艺过程是:将粗硅粉碎后,依次用盐酸、王水、(HF+H2SO4)混合酸处理,最后用蒸馏水洗至中性,烘干后可得含量为99.9%的工业粗硅。 高纯多晶硅的制备方法很多,据布完全统计有十几种,但所有的方法都是从工业硅(或称硅铁,因为含铁较多)开始,首先制取既易提纯又易分解(即还原)的含硅的中间化合物如SiCl4、SiHCl3、SiH4等,再使这些中间化合物提纯、分解或还原成高纯度的多晶硅,其工艺流程大致如图1: 目前我国制备高纯硅多晶硅主要采用三氯氢硅氢还原法、硅烷热解法和四氯化硅氢还原法。一般说来,由于三氯氢硅还原法具有一定优点,目前比较广泛的被应用。此外,由于SiH4具有易提纯的特点,因此硅烷热分解法是制备高纯硅的很有发展潜力的方法。下面我们就分别介绍上述三种方法制备高纯硅的化学原 理。 1. 三氯氢硅还原法 (1)三氯氢硅的合成 第一步:由硅石制取粗硅硅石(SiO2)和适量的焦炭混合,并在电炉内加热至1600~1800℃ 可制得纯度为95%~99%的粗硅。其反应式如下: SiO2+3C=SiC+2CO(g)↑

工业硅安全生产各岗位职责

XXXX硅业有限公司安全生产各岗位职责 第一章总则 为进一步贯彻落实“安全第一,预防为主”的方针,强化各级安全生产责任制,确保安全生产,特制定本制度。 企业法定代表人是本企业安全生产的第一责任人,应贯彻管生产必须管安全,谁主管谁负责的原则。企业的各级领导人员和职能部门,必须在各自工作范围内对实现安全生产负责。 安全生产人人有责,企业的每个职工都必须在自己的岗位上认真履行各自的安全职责,实现全员安全生产责任制。

总经理安全生产职责 1、认真贯彻执行国家安全生产方针、政策、法律和法规,把安全工作列入公司管理的重要议事日程,亲自主持重要的安全生产工作会议,批阅上级有关安全方面的文件,签发有关安全工作的重大决定,对本公司的安全生产工作全面负责。 2、负责建立健全安全生产责任制,督促检查安全生产工作,及时消除生产安全事故隐患。 3、组织制定并实施公司安全规章制度、安全操作规程、重大安全技术措施和生产安全事故应急预案。 4、保证安全生产投入的有效实施,解决安全措施费用。 5、健全安全管理机制,充实专职安全生产管理人员,定期听取安全生产管理部门的工作汇报,及时研究解决或审批有关安全生产中的重大问题。 6、按规定和事故处理的“三不放过”原则,组织对事故的调查处理。 7、加强对各项安全活动的领导,决定安全生产方面的重要奖惩。

副总经理安全生产职责(生产副总) 1、组织开展安全生产技术研究工作,积极引进、采用先进技术和安全生产防护装置,组织研究落实重大事故隐患的整改方案。 2、督促车间主任落实本公司的各项安全生产规章制度、安全技术规程,编制安全生产技术措施计划、并组织实施。 3、每周组织一次安全生产大检查,着重抓好重大隐患的整改工作,坚持每周四次安全例会制度,扎实的做好安全工作。 4、在组织新车间、新设施、新设备以及技术改造项目的设计、施工和投入使用时,做到“三同时”(安全设施与主体工程同设计、同施工、同时投入使用)。 5、审查公司安全技术规程和安全技术措施时,应保证切实可行。 6 负责督促事故的调查处理,并及时上报上一级领导。 7、负责召开公司安全生产专项会议,分析安全生产动态,解决安全生产中存在的问题与隐患。

阻容降压原理设计详解

阻容降压原理设计详解 一、概述 普通的线性直流稳压电源电路效率比较低,电源的变压器体积大,重量重,成本较高。 开关电源电路结构较复杂,成本高,电源纹波大,RFI和EMI干扰是难以解决的。 下文介绍的是一种新颖的电容降压型直流稳压电源电路。 这种电路无电源变压器,结构非常简单,具体有:体积小、重量轻、成本低廉、动态响应快、稳定可靠、高效(可达90%以上)等特点。 二、电容降压原理 当一个正弦交流电源U(如220V AC 50HZ)施加在电容电路上时,电容器两极板上的电荷,极板间的电场都是时间的函数。也就是说:电容器上电压电流的有效值和幅值同样遵循欧姆定律。 即加在电容上的电压幅值一定,频率一定时,就会流过一个稳定的正弦交流电流ic。容抗越小(电容值越大),流过电容器的电流越大,在电容器上串联一个合适的负载,就能得到一个降低的电压源,可经过整流,滤波,稳压输出。 电容在电路中只是吞吐能量,而不消耗能量,所以电容降压型电路的效率很高。 三、原理方框图 电路由降压电容,限流,整流滤波和稳压分流等电路组成。 1.降压电容:相当于普通稳压电路中的降压变压器,直接接入交流电源回路中,几乎承受全部的交流电源U,应选用无极性的金属膜电容(METALLIZED POLYESTER FILM CAPACITOR)。 2.限流电路:在合上电源的瞬间,有可能是U的正或负半周的峰_峰值,此时瞬间电流会很大,因此在回路中需串联一个限流电阻,以保证电路的安全。 3.整流滤波:有半波整流和全波整流,与普通的直流稳压电源电路的设计要求相同。 4.稳压分流:电压降压回路中,电流有效值I是稳定的,不受负载电流大小变化的影响,因此在稳压电路中,要有分流回路,以响应负载电流的大小变化。 四、设计势实例 1.桥式全波整流稳压电路:

最新工业硅电炉生产和word版本

引用】工业硅电炉设计、生产管理专家—朱尔明 2011-12-19 18:23:34| 分类:默认分类| 标签:|字号大中小订阅 本文引用自程士宝《工业硅电炉设计、生产管理专家—朱尔明》 9000—15000KVA工业硅电炉 主体设备设计和生产技术管理 朱尔明 “人类社会的进化和发展一般是以材料为标志,即石器时代、青铜器时代、铁器时代。但随着社会发展和科学的进步,半导体特别是硅的发现和应用使我们的生存条件、社会及生活发生了革命性变化,甚至超过了以前所有材料时代所发生变化的总和,这就是‘硅时代’。我们生活在‘硅时代’仅仅只有半个世纪”。生活中我们的手机、电视机、电脑、数码产品,乘坐的飞机、汽车、轮船,航空领域的卫星、飞船、火箭等等,都与硅有关,还有当前炙手可热的材料名词如光伏材料、单晶硅、多晶硅、硅橡胶、硅油、硅树脂、硅铝合金等等随处可见、不绝于耳。这些与硅有关的材料实际都离不开基础材料?——工业硅(金属硅)。 工业硅从实验室研究到规模化生产,是从1938年苏联建成世界第一台 2000KVA单相单电极电炉工业硅工厂开始的。随后法国、日本、加拿大、美国、挪威和巴西等都相继建设了工业硅厂。 中国工业硅生产始于1957年的抚顺铝厂。70年代中期又在贵州遵义和青海民和建设工业硅厂。到1989年底,工业硅电炉总装机容量已达数十万kVA,最大工业硅厂年产能力为1万t。90年代后期国内开始大量建设6300KVA工业硅炉,进入2000年后建设8000—10000KVA的,最近3年开始大量建设12500—16500KVA的,有几个规模大的硅企业比如云南永昌、河南昇阳分别引进德马克和南非技术,建设了容量为25000KVA和39000KVA的工业硅电炉。纵观国内,虽然工业硅设备技术和生产水平得到了很大促进和发展,但是工业硅行业的总体设计技术和工艺管理水平依然参差不齐,认识上也有很大区别。这也是为什么在同一个地方,有的厂的设备运行非常正常、各项指标好,而另一个厂的设备运行状况和各项指标很不理想的关键原因所在。 工业硅行业有句俗语:“原料是基础,设备是条件,操作是关键,管理是保障。”下面我就比较普遍的9000—15000KVA工业硅炉设备、原料、操作、管理4个方面的一些认识和体会,从设计和生产管理的角度与大家探讨学习,相互交流提高,为中国硅业蓬勃发展而努力。 一、9000—15000KVA工业硅炉的合理设计

高纯硅的制备

高纯硅的制备一般首先由硅石(SiO2)制得工业硅(粗硅),再制成高纯的多晶硅,最后拉制成半导体材料硅单晶。 工业上是用硅石(SiO2)和焦炭以一定比例混合,在电炉中加热至1600~1800C而制 得纯度为95%~99的粗硅,其反应如下:SiO2+2C=Si+2CO 粗硅中一般含有铁、铝、碳、硼、磷、铜等杂质,这些杂质多以硅化构成硅酸盐的形式存在,为了进一步提高工业粗硅的纯度,可采用酸浸洗法,使杂质大部分溶解(有少数的碳化硅不溶)。其生产工艺过程是:将粗硅粉碎后,依次用盐酸、王水、(HF+H2SQ4混合酸处理,最后用蒸馏水洗至中性,烘干后可得含量为99.9%的工业粗硅。 高纯多晶硅的制备方法很多,据布完全统计有十几种,但所有的方法都是从工业硅(或称硅铁,因为含铁较多)开始,首先制取既易提纯又易分解(即还原)的含硅的中间化合物如SiCl4、SiHCl3、SiH4等,再使这些中间化合物提纯、分解或还原成高纯度的多晶硅 目前我国制备高纯硅多晶硅主要采用三氯氢硅氢还原法、硅烷热解法和四氯化硅氢还原法。一般说来,由于三氯氢硅还原法具有一定优点,目前比较广泛的被应用。此外,由于SiH4 具有易提纯的特点,因此硅烷热分解法是制备高纯硅的很有发展潜力的方法。下面我们就分别介绍上述三种方法制备高纯硅的化学原理。 1. 三氯氢硅还原法 (1)三氯氢硅的合成第一步:由硅石制取粗硅硅石(SiO2)和适量的焦炭混合,并在电炉内加

热至1600~1800C 可制得纯度为95%~99的粗硅。其反应式如下: SiO2+3C=SiC+2CO (g)T 2SiC+SiO2=3Si+2CO (g)T 总反应式: SiO2+2C=Si+2CO (g)T 生成的硅由电炉底部放出,浇铸成锭。用此法生产的粗硅经酸处理后,其纯度可达到99.9%. 第二步:三氯氢硅的合成三氯氢硅是由干燥的氯化氢气体和粗硅粉在合成炉中(250C) 进行合成的。其主要反应式如下:Si+3HCI=SiHCI3+H2 (g) (2)三氯氢硅的提纯 由合成炉中得到的三氯氢硅往往混有硼、磷、砷、铝等杂质,并且它们是有害杂质, 对单晶硅质量影响极大,必须设法除去。 近年来三氯氢硅的提纯方法发展很快,但由于精馏法工艺简单、操作方便,所以, 目前工业上主要用精馏法。三氯氢硅精馏是利用三氯氢硅与杂质氯化物的沸点不同而分离 提纯的。

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